プラズマクリーナー
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プラズマ表面処理装置
2024年6月26日
本装置は主に真空チャンバー、高周波プラズマ電源、真空システム、膨張システム、自動制御システムなどで構成されています。動作の基本原理は、真空状態において真空ポンプを用いて装置内を0.15～0.3ミリバールの真空状態にし、高周波発生器の働きによってガスをイオン化してプラズマ（物質の第4の状態）を生成し、そのプラズマを用いて加工対象物の表面を処理するというものです。
- ● プラズマシステム搬送装置
- ● 製造現場で継続的に使用することで、不規則な形状の部品の表面を洗浄・活性化できます。
- ● 真空チャンバー