半自動急速熱処理炉

GZ-RTP-SM-12は、半自動垂直型急速熱処理システムです。高強度可視光線を用いて、4～12インチのウェハ／試料を1枚ずつ、正確に制御された温度で短時間加熱します。処理時間は通常1～600秒ですが、最大9999秒まで選択可能です。これらの機能に加え、加熱チャンバーのコールドウォール設計と優れた加熱均一性により、従来の炉処理に比べて大きな利点が得られます。

1. 高速加熱を実現する高強度可視光ハロゲンランプ加熱
2.特殊金メッキAlチャンバー表面による赤外線の散乱
3.リアルタイム制御技術と多くの便利な機能を備えた高度なソフトウェアパッケージ
4.大気または真空状態を閉鎖可能
5.標準2本のガスライン、MFCと遮断弁を使用して最大6本のガスラインまで拡張可能
6.冷却N2（またはCDA）はランプと石英隔離管の周囲を流れ、冷却速度を速める。
7. ドア開放保護、サーモスタット開放権限保護、緊急停止保護の 3 重の安全対策を採用し、機器の安全性を確保します。
8.最大12インチウエハ（300×300mm）

■ 急速熱アニール（RTA）
■ 酸化物、窒化物の成長
■ ヒ素化プロセス
■ インプラントのアニーリング
■ オーミックコンタクトアニール（III-V族およびSiC）
■ 急速熱酸化（RTO）
■ 急速熱窒化処理（RTN）
■セレン化（CIGS太陽電池）
■ グラフェンとh-BN（六方晶窒化ホウ素）のCVD
■ ポリマー等の熱アニール