シングルウェハー自動高真空オーブン

2.1 制御モード：真空引きと窒素充填のサイクルにより無酸素環境を作り出し、加熱部品をオーブンの外壁に配置し、放射加熱によりオーブン内部を加熱して、無酸素・無塵ベーキングの目的を達成する。

2.2 各チャンバーは独立して制御され、独立して動作します。

2.3 本システムの真空システムはドライス​​クロールポンプを採用している。

2.4 チャンバーの数

2.5 真空状態

1) 真空度を制限する:1ええと - 10^-4良い。

2) 排気速度の要件：チャンバーの真空度は10^-4パン 25最小

2.6 暖房システムと防塵等級

1) 温度範囲：常温 +25℃～250℃。

2) 室温から200℃まで30分以内。

3) で水冷式冷却、室温から60℃以内までの冷却速度が40分以下。

4) 温度制御精度 ± 1 ℃、温度均一性 ± 2%℃;

5) 無塵等級：クラス100

2.7 保護対策：デバイスは各チャンバーの温度と真空度をリアルタイムで表示および記録し、履歴データを照会およびエクスポートできます。履歴データは30日以上保存されます。

2.8 ソフトウェア機能：

1) ドアの開閉、加熱および真空機能の制御を行うためのチャンバー。

2) バーコードとキャビティの綴じ性能、綴じ用ベーキングデータへの応答、および保管。

3) バーコードは手動で入力されるか、後日システム通信によって送信されます。

4) 機器の動作状態表示、アラーム情報表示

5) レシピの設定、呼び出しと保存、温度曲線と温度時間記録、真空状態記録、故障記録、操作記録などの確認。

6) 権限階層型管理（3つのレベル：オペレーター、エンジニア、管理者）

2.9 安全構成

SEMI規格に準拠した、電気および機械全体の安全設計。

1) 連動

この電気ボックスは機械的な連動安全設計を採用しており、ボックスを開ける前に電源を切断する必要があります。

2) 緊急停止スイッチEMS

非常停止スイッチはキノコ型の押し込み式スイッチで、赤色、黒色の文字、黄色のガイドリングが付いています。どのような動作モードであっても、非常停止スイッチを最優先してください。この機器の非常停止状態とは、オーブンのドアが開いて圧力が解放され、加熱が停止する状態です。

3) 安全性

ドアの開閉機構はオーブン内部に隠されており、露出する機構を減らすことで機械的なリスクを回避しています。オーブン表面の温度は室温＋5℃以下、ドアの隙間の温度は室温＋15℃以下です。

4) 保護措置

漏電保護、過負荷保護、独立した過熱保護、ガス圧検知および警報、水圧検知および警報など。

制御システムはタッチスクリーン式コントロールパネルとプログラマブルコントローラ（PLC）を採用しており、すべての電気部品を一元的に制御できるほか、手動制御と自動制御の2つの制御モードを備えています。

制御システムは、各チャンバーの真空度と温度情報を監視・制御し、各チャンバーの自動膨張・収縮を実現できます。制御システム全体はメインキャビネット内に設置されているため、操作が容易です。

4.1 床面積：推定1200×1500×1200（幅×高さ×奥行）mm

4.2 電源：380V、50Hz、9kW、三相5線式。

4.3 窒素：入口クイックコネクタ10mm、最小流量40L/分、ガス圧力0.3～0.5Mpa、純度99.999%、清浄な窒素は粒子状物質を含みません。

4.4 冷水：流量20L/分、外径1/2インチのワイヤー、圧力排出なしでスムーズな排水が必要です。

4.5 排気ガス: 高温排気ガス、パイプ径60mm;

4.6 重量推定値：350kg

4.7 接地：シェル保護接地抵抗 ≤ 1おお

4.8 荷降ろし：需要側が荷降ろしを担当し、箱を開梱するための設備も用意する。

4.9 設置環境：クリーンプラント、クリーングレードClass10000、周囲温度：20～30℃ C、周囲の湿度： ≤ 相対湿度85%、周囲に可燃性、爆発性物質がなく、強い振動がなく、強い電磁場がなく、高濃度の粉末やガスがない。腐食性物質、直射日光、その他の直接的な熱放射を避けてください。装置は換気の良い試験室に水平に設置し、メンテナンスのために周囲に少なくとも1.5メートルのスペースを確保してください。

5.1 技術データ：データブックレットの中国語版（紙＋電子ファイル、取扱説明書、日常メンテナンスガイドライン、電気回路図を含む）。

5.2 検査報告書：工場検査報告書（紙媒体、詳細なパラメータ指標および実測データを含む）