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超高温不活性（嫌気性）ガスオーブン
不活性ガスオーブン
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超高温不活性（嫌気性）ガスオーブン

半導体ウエハーの硬化（フォトレジストPI、PBO、BCB硬化）、ガラス基板のベーキング、高精度アニール処理などに適しています。

最高使用温度：360℃、600℃。
酸素濃度は20ppm未満です。

    お問い合わせ

    特徴製品

    超高温嫌気炉は、独自のチャンバー構造とシーリング技術を採用し、優れた温度均一性を実現するとともに、高い安定性と再現性を確保しています。同時に、冷却水を循環させる外部冷却機構により、炉内の雰囲気に影響を与えることなく急速に冷却できるため、処理時間を短縮できます。
    、溶接および密閉構造により、継続的に低い空気損失を保証します
    ●耐腐食性ステンレス鋼（304タイプ）の内装
    ●流量計と供給接続を含む調整可能な不活性ガスパージシステム
    ●キャビネット表面温度を安全に確保するグラスファイバー断熱材
    独立した過熱保護
    ●漏電保護用サーキットブレーカーを標準装備
    vv大容量の水平空気再循環システムと電気加熱システムにより、パフォーマンスにおける温度の均一性が最大限に高まります。
    ●優れた信頼性とパフォーマンス評価

    オプション製品

    ●棚
    0

    ●真空ポンプ

    0

    ●HEPAフィルター

    1

    ●温度記録計（紙式またはペーパーレス式）

    2(1)

    ●イーサネット通信

    0

    アプリケーション製品

    ●老化

    ●アニーリング

    ●テスト

    ●硬化

    産業製品

    ●航空宇宙

    ●自動車

    ●防衛

    ●エレクトロニクス

    ●研究開発

    ●ゴム・プラスチック

    ●半導体

    ●通信

    ●光通信

    カスタマイズ製品

    GMS は、さまざまなレベルの均一性、サイズ、温度範囲を提供できます。特定の許容範囲または仕様を満たす必要がある場合は、その要件を当社にご連絡ください。当社は、それらの要件を満たすように機器を設計、テスト、調整します。

    0

    製品パラメータ製品

     

    Mモデル

    GZ-OXY-360C-A

    GZ-OXY-360C-B

    GZ-オキシ-600C-A

    GZ-オキシ-600C-B

    温度範囲

    室温+50〜360°C

    室温+100~600℃

    制御精度

    +/- 1.0°C

    +/- 1.0°C

    温度分布精度

    ±5°C360度°C（空荷）

    ±9°C600円°C（空荷）

    内寸（高さx幅x奥行き）（ミリメートル）

    450×450×450

    600×600x600

    450×450×450

    600×600x600

    外寸高さx幅x奥行き（ミリメートル）

    1540×1090×950

    1720×1240×1100

    1750x1240x1010

    1900x139x1160

    棚

    2枚のプレート

    4枚のプレート

    2枚のプレート

    4枚のプレート

    ワークスペース容量

    91L

    216L

    91L

    216L

    C冷却システム

    水冷システム

    制御システム

    LCDタッチ 画面PLC付き

    安全装置

    		 ドア検出スイッチ、過熱保護装置、酸素含有量モニター、低水圧検出、低ガス圧検出、ファン過負荷検出、過電流ELBなど。

    電源

    3相AC 380Vまたはリクエストに応じて

    ●流量計と供給接続を含む調整可能な不活性ガスパージシステム
    ●キャビネット表面温度を安全に確保するグラスファイバー断熱材
    ●独立した過熱保護
    ●漏電保護用サーキットブレーカーを標準装備
    ●大容量の水平空気循環システムと電気加熱システムにより、最大限の温度均一性を実現します。
    ●優れた信頼性とパフォーマンス評価

    サービス製品

    GMS Industrialは、市場、営業、技術サービス、ネットワークチームを擁し、お客様と販売店の皆様に包括的な販売前、販売中、アフターサービスをご提供いたします。ご質問やご要望がございましたら、お気軽にお問い合わせください。
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