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超高温不活性(嫌気性)ガスオーブン
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超高温不活性(嫌気性)ガスオーブン

半導体ウェハーの硬化(フォトレジストPI、PBO、BCBの硬化)、ガラス基板のベーキング、高精度アニーリング処理などに適しています。

  • 最大動作温度: 360℃、600℃。
  • 酸素濃度が以下より低い場合: 20 ppm

特徴製品

この超高温嫌気性オーブンは、独自のチャンバー構造とシーリング技術を採用しており、優れた温度均一性を実現するとともに、高い安定性と再現性を確保しています。同時に、冷却水循環による外部冷却機構により、炉内の雰囲気に影響を与えることなく迅速に冷却できるため、処理時間を短縮できます。

● アルゴン、二酸化炭素、ヘリウム、窒素の不活性ガスに対応しています。

● 独自の内外殻構造により、冷却液と周囲の空気が不活性ガスで満たされた内殻の周囲を循環します。

●シリコンシーリング付き水冷式ドア。

● 温度は急速に上昇または下降することができ、その上昇または下降速度は調整可能です。

● 全面溶接・密閉構造により、空気漏れを常に低く抑えます。

● 耐腐食性に優れたステンレス鋼(304型)製の内装。

●流量計と供給接続部を含む、調整可能な不活性ガスパージシステム。

● グラスファイバー断熱材を使用し、キャビネット表面の安全な温度を確保します。

●独立した過熱保護機能。

● 地絡保護用の回路ブレーカーが標準装備されています。

●大容量の水平空気循環システムと電気暖房システムにより、性能における温度均一性を最大限に高めます。

●優れた信頼性と性能評価。

パラメータ製品

モデル

GZ-OXY-500C-A

GZ-OXY-500C-B

温度範囲

室温:+100~600℃

制御精度

±1.0℃

温度分布精度

±1.5%℃(空荷時)

温度上昇時間

約60分(室温→550℃)。空のチャンバー

冷却速度

約60分(550℃→80℃)。空のチャンバー

動作機能

固定温度またはプログラム運転時のオプション

内部寸法(高さ×幅×奥行)

500x500x500(mm)

600x600x600(mm)

外形寸法(高さ×幅×奥行)

1840×1200×1000(mm)

1850×1300×1100(mm)

ワークスペース容量

125L

216L

冷却システム

水冷システム

オプション製品

温度記録計(紙式または紙なし)6gj

HEPAフィルター付き
温度記録計(紙式または紙レス式)
真空ポンプ7w6
プログラマブルコントローラ、イーサネット、およびUSB通信
棚737
クリーンルームでの出荷および設置用梱包
イーサネット通信g7f
データロギングとトレンド分析

アプリケーション製品

産業製品

■ 航空宇宙
■自動車
■ 防衛
■ 電子機器
■ 研究開発
■ ゴム・プラスチック
■半導体
■ 通信
■ 光通信

カスタマイズ製品

GMSは、均一性、サイズ、温度範囲など、さまざまなレベルの製品を提供できます。満たさなければならない特定の許容誤差や仕様がある場合は、ご要望をお知らせください。機器の設計、テスト、調整を行い、それらの要件を満たすようにいたします。

カスタマイズ

サービス製品

GMS Industrialは、市場、販売、技術サービス、ネットワークの各チームを擁し、お客様と販売店に包括的な販売前、販売中、販売後のサービスを提供しています。ご質問やご要望がございましたら、お気軽にお問い合わせください。
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