高真空オーブンは、最高300℃まで加熱可能な直接加熱式棚を備えています。高真空チャンバーは、ドライスクロールポンプ(オイルの逆流を心配する必要がない)を併用したターボポンプによって10-6 Torrまで容易に排気できます。加熱は非常に速いですが、冷却には時間がかかります(数時間)。チャンバー内部の過度な酸化を防ぐため、棚の温度が100℃を下回った時点でのみチャンバーを排気します。チャンバーは窒素で排気されます。窒素雰囲気下でサンプルを完全に室温まで冷却する必要がある場合は、部分的な排気も可能です。約11インチ×11インチ(280 mm×280 mm)の棚が2枚と、特注のアルミトレイが2枚あります。4インチウエハーを一度に8枚焼成できます。窓がないため、チャンバーに搬入する際にアルミホイルで包んでおけば、光に敏感な部品も焼成できます。