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超高真空オーブン
真空オーブン

超高真空オーブン

高真空オーブンは、最高300℃まで加熱可能な直接加熱式棚を備えています。高真空チャンバーは、ドライスクロールポンプ(オイルの逆流を心配する必要がない)を併用したターボポンプによって10-6 Torrまで容易に排気できます。加熱は非常に速いですが、冷却には時間がかかります(数時間)。チャンバー内部の過度な酸化を防ぐため、棚の温度が100℃を下回った時点でのみチャンバーを排気します。チャンバーは窒素で排気されます。窒素雰囲気下でサンプルを完全に室温まで冷却する必要がある場合は、部分的な排気も可能です。約11インチ×11インチ(280 mm×280 mm)の棚が2枚と、特注のアルミトレイが2枚あります。4インチウエハーを一度に8枚焼成できます。窓がないため、チャンバーに搬入する際にアルミホイルで包んでおけば、光に敏感な部品も焼成できます。

    特徴製品

    ●真空環境下で酸素や水蒸気に敏感なポリマーコーティングを焼成する
    ●表面を酸化させずに金属膜を焼き付ける
    ●高真空中での低温金属接点焼鈍
    ●材料の水分を乾燥させる
    ●ウェーハ表面から吸着した水蒸気を除去する
    ●真空下で完全に架橋するポリイミド
    ●他の真空ステーションに組み込むベーキングアセンブリ
    ●フリップチップはんだリフロー

    製品パラメータ製品

    公演

     

     

     

    モデル

    GZ-BDT-VC-01

    温度範囲

    40~300℃

    圧力範囲

    10-6トル

    最高温度到達時間

    約20~30分

    形状

     

     

     

     

     

    温度調節精度

    ±1℃

    内部素材

    1.5mmステンレス鋼板フルアルゴンアーク溶接

    外部素材

    冷間圧延鋼板、表面に耐薬品性コーティング

    耐熱素材

    ガラス繊維

    加熱方法

    圧力タンク壁の直接加熱

    総電力

    8.5kW

    制御方法

     

     

     

     

     

     

     

    プログラムの動作とステータス

    7インチLCDタッチスクリーンコントロール

    温度制御方法

    マルチセグメントPIDアルゴリズム、温度制御精度±0.1℃

    温度設定方法

    専用の操作機能メニューキーと上下キーを使用したデジタルセットアップ

    運用機能

    定値運転、プログラム運転、自動停止運転、自動起動運転

    プログラムモード

    リクエストに応じてカスタマイズ可能

    追加機能

    偏差補正機能、キーロック機能、停電補償機能

    ヒーターループ制御

    SSRドライバー + PIH

    センサー

    PT100熱電対

    安全装備

    自己診断回路(温度感知異常、ヒーター断線、自動オーバーシュート防止、SSR短絡)オーバーシュート防止、過電流用漏電保護スイッチ、キーロック機能

    サイズ

     

     

    内部サイズ(高さ*幅*奥行き/mm)

    320*320*320mm、棚板サイズ(280*280)mm

    電力電流

    AC380V 23A(50Hz/60Hz)

    重さ

    約426kg

    サービス製品

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