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350Lの大容量縦型クリーンオーブン
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350Lの大容量縦型クリーンオーブン

クリーンオーブンは、半導体ウェハー、液晶、ディスク、その他清浄な空気環境を必要とする部品やデバイスの熱処理や乾燥に広く用いられている。

 

  • ● クラス100
  • ● 350Lの大容量
  • ● 最高温度260℃

    特徴製品

    クリーンルームオーブンは、クリーンルーム環境への設置に対応しています。HEPAフィルターと背面から前面への層流循環システムを採用することで、クラス100の清浄度を実現しています。この高性能オーブンは、加熱時や冷却時でも安定した性能を発揮します。使いやすいPIDマイクロプロセッサによる温度制御により、周囲温度+35℃から260℃までの温度設定を繰り返し行うことができます。流量計と8mm NPT継手により、チャンバー内に不活性ガスまたは新鮮な空気を導入できます。

    ● 完全溶接・密閉構造により、常に低粒子数を維持します。
    ● サポート部とプレナムは簡単に取り外して清掃できます。
    ● 外装には焼き付け白色粉体塗装仕上げを施し、長期間の腐食防止を実現
    ● グラスファイバー断熱材により、キャビネット表面の安全な温度を確保
    ●独立した過熱保護機能
    ● 独自の耐熱性HEPAフィルター搭載空気供給システム
    ● 循環空気は継続的にろ過されます。
    ● 空気圧計はフィルターの交換時期を示します
    ●大容量の水平空気循環システムと電気暖房システムにより、性能における温度均一性を最大限に高めます。

    パラメータ製品

    モデル

    GM-J100-ES-02

    温度範囲

    室温:+35~260℃

    制御精度

    ±1.0℃

    温度分布精度

    ±2%℃(空荷時)

    内部寸法(高さ×幅×奥行)(mm)

    910x620x620

    外形寸法(高さ×幅×奥行)(mm)

    1750x855x1030

    4枚の皿

    ワークスペース容量

    350L

    制御システム

    PLC搭載LCDタッチスクリーン

    安全装置

    ドア検知スイッチ、過熱保護装置、ファン過負荷検知装置、過電流ELBなど。

    電源

    3相交流380V、またはご要望に応じて

    オプション製品

    温度記録計(紙式または紙なし)6gj

    温度記録計(紙式または紙レス式)qx5
    温度記録計(紙式または紙レス式)
    イーサネット通信jri
    イーサネット通信

    アプリケーション製品

    産業製品

    ■ 航空宇宙
    ■自動車
    ■ 防衛
    ■ 電子機器
    ■ 研究開発
    ■ ゴム・プラスチック
    ■半導体
    ■ 通信
    ■ 光通信

    カスタマイズ製品

    GMSは、均一性、サイズ、温度範囲など、さまざまなレベルの製品を提供できます。満たさなければならない特定の許容誤差や仕様がある場合は、ご要望をお知らせください。機器の設計、テスト、調整を行い、それらの要件を満たすようにいたします。

    カスタマイズ

    サービス製品

    GMS Industrialは、市場、販売、技術サービス、ネットワークの各チームを擁し、お客様と販売店に包括的な販売前、販売中、販売後のサービスを提供しています。ご質問やご要望がございましたら、お気軽にお問い合わせください。
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