350L大容量縦型クリーンオーブン

クリーンオーブンは、半導体ウェハ、液晶、ディスク、およびクリーンな空気条件を必要とするその他の部品やデバイスの熱処理や乾燥に広く使用されています。

● クラス100
● 350Lの大容量
● 最高温度260℃

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特徴製品

クリーンルームオーブンは、クリーンルーム環境への設置が可能です。HEPAフィルターと背面から前面への層流循環システムを採用することで、クラス100の清浄度を実現しています。高性能オーブンは、加熱時および冷却時においても安定した性能を発揮します。ユーザーフレンドリーなPIDマイクロプロセッサ温度制御により、室温+35℃から260℃までの温度設定を繰り返し行うことができます。不活性ガスまたは新鮮な空気をチャンバー内に導入するための流量計と8mm NPTフィッティングが付属しています。

● 溶接・密閉構造により、常に低い粒子数を保証します。
● サポートとプレナムは簡単に取り外して清掃できます。
● 外側は白色の粉体塗装仕上げで、長期間の耐腐食性を実現
● キャビネット表面温度を安全に維持するためのグラスファイバー断熱材
● 独立した過熱保護
● 独自の耐熱HEPAフィルター付き空気供給システム
● 再循環空気は継続的に濾過されます。
● 空気圧計がフィルター交換時期をお知らせします
● 大容量の水平空気再循環システムと電気加熱システムにより、最大限の温度均一性を実現します。

パラメータ製品

モデル	GM-J100-ES-02
温度範囲	室温 +35～260℃
制御精度	+/- 1.0°C
温度分布精度	±2%°C（空荷時）
内寸高さx幅x奥行き(mm)	910x620x620
外形寸法高さx幅x奥行き(mm)	1750x855x1030
棚	4枚のプレート
ワークスペース容量	350L
制御システム	PLC付きLCDタッチスクリーン
安全装置	ドア検出スイッチ、過熱保護装置、ファン過負荷検出、過電流ELBなど。
電源	3相AC 380Vまたはリクエストに応じて

オプション製品

棚

温度記録計（紙またはペーパーレス）

イーサネット通信

アプリケーション製品

エージング

アニーリング

テスト

乾燥

産業製品

■ 航空宇宙

■ 自動車

■ 防衛

■ エレクトロニクス

■ 研究開発

■ ゴム・プラスチック

■ 半導体

■ 通信

■ 光通信

カスタマイズ製品

GMS は、さまざまなレベルの均一性、サイズ、温度範囲を提供できます。特定の許容範囲または仕様を満たす必要がある場合は、その要件を当社にご連絡ください。当社は、それらの要件を満たすように機器を設計、テスト、調整します。

サービス製品

GMS Industrialは、市場、営業、技術サービス、ネットワークチームを擁し、お客様と販売店の皆様に包括的な販売前、販売中、アフターサービスをご提供いたします。ご質問やご要望がございましたら、お気軽にお問い合わせください。
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