ស្តង់ដារបរិស្ថានការផ្ទុក Wafer
នៅក្នុងការផលិត semiconductor, wafers ដែលផលិតជាចម្បងពី silicon ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់គឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ transistors និងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។ គុណភាពរបស់ពួកគេប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើដំណើរការបន្ទះឈីប និងភាពជឿជាក់។ Wafers ងាយនឹងកត្តាបរិស្ថាន។ ការប៉ះពាល់នឹងខ្យល់បណ្តាលឱ្យអុកស៊ីតកម្ម ផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី។ សំណើមខ្ពស់នាំឱ្យមានការស្រូបយកសំណើមដែលបណ្តាលឱ្យមានបញ្ហាដូចជាសៀគ្វីខ្លី។ ធូលី និងសារធាតុបំពុលអាចរំខានដល់ដំណើរការច្បាស់លាស់ កាត់បន្ថយទិន្នផល។ ការផ្ទុក wafer ត្រឹមត្រូវការពារការកត់សុី ការខូចខាតសំណើម ការចម្លងរោគ និងការខូចខាតមេកានិក ធានានូវដំណើរការ អាយុកាលវែង និងការផលិតបន្ទះឈីបជោគជ័យ។
Ⅰ.ស្តង់ដារបរិស្ថានការផ្ទុក Wafer
- ការត្រួតពិនិត្យសំណើម៖សំណើមដែលទាក់ទងត្រូវតែមានយ៉ាងតឹងរ៉ឹងរវាង 40% ទៅ 60% ឬក្រោម 30% សម្រាប់ wafers ប្រកាន់អក្សរតូចធំ។ សំណើមខ្ពស់បណ្តាលឱ្យខូចខាតសំណើមខណៈពេលដែលសំណើមទាបធ្វើឱ្យ wafers ផុយ។
- ការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាព៖ សីតុណ្ហភាពគួរតែត្រូវបានរក្សានៅ 22 ± 2 ° C (18-24 ° C) ។ សីតុណ្ហភាពខ្ពស់បង្កើនល្បឿននៃភាពចាស់ ហើយសីតុណ្ហភាពទាបបង្កើនភាពតានតឹងខាងក្នុង ទាំងប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការ។
- តម្រូវការអនាម័យ៖កន្លែងផ្ទុកត្រូវតែបំពេញតាមស្តង់ដារ ISO Class 5 ឬខ្ពស់ជាងនេះ។ ធូលី និងភាគល្អិតអាចបណ្តាលឱ្យមានពិការភាព ប៉ះពាល់ដល់ទិន្នផល និងដំណើរការ។
- ភាពបរិសុទ្ធអាសូត៖ ភាពបរិសុទ្ធអាសូតគួរតែលើសពី 99.99% ឬសូម្បីតែ 99.999% សម្រាប់ wafers កម្រិតខ្ពស់។ អាសូតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ មានប្រសិទ្ធភាពកម្ចាត់អុកស៊ីហ្សែន និងសំណើម ការពារការកត់សុី និងការខូចខាតសំណើម។
- ការអនុវត្តការផ្សាភ្ជាប់៖ទូត្រូវតែមានការផ្សាភ្ជាប់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះដើម្បីរក្សាស្ថេរភាពសំណើមទាប អុកស៊ីសែនទាប និងបរិស្ថានខាងក្នុងស្អាត។
Ⅱ.គុណសម្បត្តិនៃដែកអ៊ីណុក គណៈរដ្ឋមន្ត្រីអាសូតសសម្រាប់ការផ្ទុក Wafer
- ការការពារអុកស៊ីតកម្ម៖ អាសូតជាឧស្ម័នអសកម្មផ្លាស់ទីអុកស៊ីសែននៅក្នុងគណៈរដ្ឋមន្ត្រី ការពារការកត់ត្រាអុកស៊ីតកម្ម wafer និងរក្សាភាពរឹងមាំលើផ្ទៃ។
- ការការពារសំណើម៖ទូទាំងនេះគ្រប់គ្រងសំណើមចន្លោះពី 1% ទៅ 60% RH យ៉ាងជាក់លាក់ ដោយការពារបញ្ហាដែលទាក់ទងនឹងសំណើមដូចជាការថយចុះនៃដំណើរការ និងសៀគ្វីខ្លី។
- ការការពារការចម្លងរោគ៖ដែកអ៊ីណុកមានអនាម័យខ្ពស់ និងធន់នឹងច្រេះ។ រចនាសម្ព័ន្ធដ៏រឹងមាំរបស់គណៈរដ្ឋមន្ត្រី និងការផ្សាភ្ជាប់មានប្រសិទ្ធភាពទប់ស្កាត់ការបំពុលពីខាងក្រៅ ដោយធានាបាននូវបរិយាកាសស្តុកទុកស្អាត។
- ប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្ត៖ ជាមួយនឹងការរចនាប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្ត ដូចជាការប្រើប្រាស់សម្ភារប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្ត និងការដំឡើងឧបករណ៍ប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្ត ឧបករណ៍គណៈរដ្ឋមន្ត្រីការពារ wafers ពីអគ្គិសនីឋិតិវន្ត ការពារការចម្លងរោគលើផ្ទៃ និងការខូចខាតអគ្គិសនី។
- ស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាព៖ ខណៈពេលដែលមិនមាននិយ័តកម្មសីតុណ្ហភាពដោយផ្ទាល់ ការផ្សាភ្ជាប់ដ៏ល្អ និងអ៊ីសូឡង់កម្ដៅរបស់គណៈរដ្ឋមន្ត្រីជួយរក្សាសីតុណ្ហភាពខាងក្នុងដែលមានស្ថេរភាព ពង្រីកអាយុកាលរបស់ wafer ។
Ⅲ.ការជ្រើសរើស និងថែទាំដែកអ៊ីណុក ទូអាសូត
- ការពិចារណាលើការជ្រើសរើស៖ ជ្រើសរើសដោយផ្អែកលើទំហំ wafer បរិមាណ និងតម្រូវការផ្ទុក។ ពិចារណាលើមុខងារដូចជាភាពជាក់លាក់នៃការគ្រប់គ្រងសំណើម ជួរលំហូរអាសូត និងដំណើរការប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រង។ សម្ភារៈគណៈរដ្ឋមន្ត្រី រចនាសម្ព័ន្ធ ការផ្សាភ្ជាប់ និងការរចនាប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្តក៏មានផងដែរ។
- ការថែទាំប្រចាំថ្ងៃ៖ ពិនិត្យដំណើរការផ្សាភ្ជាប់ជាទៀងទាត់ ជំនួសតម្រងអាសូត និងឧបករណ៍បន្សុទ្ធ និងពិនិត្យប្រព័ន្ធអគ្គិសនី និងការគ្រប់គ្រង។ រក្សាបន្ទប់ជុំវិញឱ្យស្អាត និងមានខ្យល់ចេញចូលបានល្អ។
ដែកអ៊ីណុក ទូអាសូតផ្តល់នូវបរិយាកាសផ្ទុក wafer ដែលអាចទុកចិត្តបាន ការពារការកត់សុី ការខូចខាតសំណើម និងការចម្លងរោគ។ ពួកគេធានាបាននូវគុណភាព និងដំណើរការរបស់ wafer ដែលគាំទ្រដល់ការអភិវឌ្ឍន៍ស្ថិរភាពនៃឧស្សាហកម្មផលិតបន្ទះឈីប semiconductor ។
