ម៉ាស៊ីនសម្អាតប្លាស្មា

ឧបករណ៍នេះត្រូវបានផ្សំឡើងជាចម្បងនៃបន្ទប់បូមធូលី និងការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលប្លាស្មាប្រេកង់ខ្ពស់ ប្រព័ន្ធបូមធូលី ប្រព័ន្ធអតិផរណា ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងដោយស្វ័យប្រវត្តិ និងផ្នែកផ្សេងៗទៀត។ គោលការណ៍ជាមូលដ្ឋាននៃការងារគឺស្ថិតនៅក្នុងស្ថានភាពខ្វះចន្លោះ ការប្រើប្រាស់ម៉ាស៊ីនបូមធូលីដើម្បីបូមធូលីស្ទូឌីយោ ដើម្បីសម្រេចបាននូវភាពទំនេរ 0.15-0.3 mbar ហើយបន្ទាប់មកក្នុងតួនាទីរបស់ម៉ាស៊ីនភ្លើងប្រេកង់ខ្ពស់ ឧស្ម័ននឹងត្រូវបាន ionized ការបង្កើតប្លាស្មា (ស្ថានភាពទីបួននៃរូបធាតុ) ហើយបន្ទាប់មកប្រើប្រាស់លើផ្ទៃការងារប្លាស្មា។

• ● ម៉ាស៊ីនប្រគល់ប្រព័ន្ធប្លាស្មា
• ● វាអាចត្រូវបានប្រើជាប់លាប់នៅក្នុងបរិយាកាសផលិតកម្ម ដើម្បីសម្អាត និងធ្វើឱ្យផ្ទៃនៃផ្នែកដែលមានរាងចម្លែក
• ● បន្ទប់បូមធូលី