ចង្ក្រានដំណើរការកំដៅលឿនពាក់កណ្តាលស្វ័យប្រវត្តិ

GZ-RTP-SM-12 គឺជាប្រព័ន្ធដំណើរការកំដៅរហ័សបញ្ឈរពាក់កណ្តាលស្វ័យប្រវត្តិ។ ប្រព័ន្ធនេះប្រើកាំរស្មីដែលអាចមើលឃើញអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់ដើម្បីកំដៅ wafer / គំរូ 4-12 អ៊ីញតែមួយសម្រាប់រយៈពេលខ្លីនៃដំណើរការនៅសីតុណ្ហភាពដែលបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងជាក់លាក់។ រយៈពេលនៃដំណើរការជាធម្មតាមានរយៈពេល 1-600 វិនាទី ទោះបីជារយៈពេលរហូតដល់ 9999 វិនាទីអាចត្រូវបានជ្រើសរើសក៏ដោយ។ សមត្ថភាពទាំងនេះ រួមផ្សំជាមួយនឹងការរចនាជញ្ជាំងត្រជាក់របស់បន្ទប់កំដៅ និងឯកសណ្ឋានកំដៅដ៏ប្រសើរ ផ្តល់នូវគុណសម្បត្តិយ៉ាងសំខាន់លើដំណើរការចង្ក្រានធម្មតា។

1. អាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់កំដៅចង្កៀង halogen វិទ្យុសកម្មដែលអាចមើលឃើញសម្រាប់អត្រាកំដៅលឿន
2. ពន្លឺ IR ខ្ចាត់ខ្ចាយដោយផ្ទៃ Al chamber ពិសេសធ្វើពីមាស
កញ្ចប់កម្មវិធីកម្រិតខ្ពស់ជាមួយនឹងបច្ចេកវិទ្យាគ្រប់គ្រងពេលវេលាពិតប្រាកដ និងមុខងារមានប្រយោជន៍ជាច្រើន។
4.លក្ខខណ្ឌបរិយាកាស ឬកន្លែងទំនេរគឺអាចបិទបាន។
5.ស្ដង់ដារបន្ទាត់ឧស្ម័នពីរ, អាចត្រូវបានពង្រីករហូតដល់ទៅប្រាំមួយបន្ទាត់ឧស្ម័នជាមួយនឹង MFCs និងបិទវ៉ាល់
6.Cooling N2 (ឬ CDA) ហូរជុំវិញចង្កៀង និងបំពង់ដាច់ដោយឡែករ៉ែថ្មខៀវសម្រាប់អត្រាត្រជាក់លឿន
7. ទទួលយកវិធានការសុវត្ថិភាពបីដងនៃការការពារការបើកទ្វារ ការការពារសិទ្ធិអំណាចនៃការបើកកម្តៅ និងការការពារការបញ្ឈប់ពេលមានអាសន្ន ដើម្បីធានាសុវត្ថិភាពនៃឧបករណ៍។
8. អតិបរមា។ 12 អ៊ីញ wafer (300 * 300 មម)

■ ការបញ្ចូលកំដៅរហ័ស (RTA)
■ អុកស៊ីដ នីត្រាត លូតលាស់
■ ដំណើរការ Arsenitization
■ ការផ្សាំផ្សាំ
■ ការបញ្ចូលទំនាក់ទំនង Ohmic (III-V និង SiC)
■ អុកស៊ីតកម្មកំដៅរហ័ស (RTO)
■ នីត្រាតកំដៅរហ័ស (RTN)
■ Selenization (កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ CIGS)
■ CVD នៃ graphene និង h-BN ( hexagonal boron nitride )
■ ការបញ្ចូលកំដៅនៃសារធាតុប៉ូលីម៊ែរ។ល។