Leave Your Message
ឡដុតស្វ័យប្រវត្តិបូមធូលីខ្ពស់ប្រភេទនំវ៉ាហ្វឺរតែមួយ
ឡចំហាយខ្យល់
ប្រភេទផលិតផល
ផលិតផលពិសេស

ឡដុតស្វ័យប្រវត្តិបូមធូលីខ្ពស់ប្រភេទនំវ៉ាហ្វឺរតែមួយ

ឧបករណ៍ដុតនំតូចៗ សីតុណ្ហភាពអតិបរមា 250 ℃ ដោយប្រើមុខងារសុញ្ញកាស និងអាសូតរួមបញ្ចូលគ្នា ដើម្បីបង្កើតជាបន្ទះ wafer ដុតនំតែមួយដោយគ្មានអុកស៊ីសែន ស័ក្តិសមសម្រាប់ការប្រើប្រាស់ជាបាច់តូចៗ។ កម្មវិធីធម្មតាសម្រាប់ប្រព័ន្ធនេះរួមមាន ការដុត SOG ការដុតទង់ដែង ការដុតអាលុយមីញ៉ូម ការដុតឌីអេឡិចត្រិចទាប k និងការដុតនំ photoresist ការសម្ងួត និងផ្សេងៗទៀត។

    សេចក្តីផ្តើមសង្ខេបផលិតផល

    ឧបករណ៍ដុតនំតូចៗ សីតុណ្ហភាពអតិបរមា 250 ℃ ដោយប្រើមុខងារសុញ្ញកាស និងអាសូតរួមបញ្ចូលគ្នាដើម្បីបង្កើតជាបន្ទះ wafer ដុតនំតែមួយដោយគ្មានអុកស៊ីសែន សមស្របសម្រាប់កម្មវិធីបាច់តូចៗ។ កម្មវិធីធម្មតាសម្រាប់ប្រព័ន្ធនេះរួមមាន ការដុត SOG ការដុតទង់ដែង ការដុតអាលុយមីញ៉ូម ការដុតឌីអេឡិចត្រិចទាប k និងការដុតនំ photoresist។, ការសម្ងួត និងផ្សេងៗទៀត

    ការគ្រប់គ្រងម៉ាស៊ីនបូមធូលី និងបរិស្ថានដែលឆបគ្នា

    ជួរប្រតិបត្តិការបូមធូលី វែល - ១០-ប៉ា, ម៉ាស៊ីនបូមធូលីចុងក្រោយ 10-៥ល្អ។

    អុកស៊ីសែន​ដែល​នៅ​សេសសល់​ទាប (

    ជួរសីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការ សីតុណ្ហភាពបន្ទប់ +25°C -250°C។

    ប្រតិបត្តិការងាយស្រួល ប្រតិបត្តិការតម្លៃថេរ ប្រតិបត្តិការកម្មវិធី ប្រតិបត្តិការឈប់ដោយស្វ័យប្រវត្តិលឿន ប្រតិបត្តិការឈប់ដោយស្វ័យប្រវត្តិ ប្រតិបត្តិការចាប់ផ្តើមដោយស្វ័យប្រវត្តិ។

    ការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពគឺជាឧបករណ៍អេក្រង់ប៉ះរបៀប PID ប្រភេទចំណុចតែមួយ ឬការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពកម្មវិធី អាចគណនាដោយស្វ័យប្រវត្តិ និងបង្ហាញ PV/SV ក្នុងពេលតែមួយ ការកំណត់ចំណុចប៉ះ ជាមួយនឹងមុខងារចងចាំ (ឧ. សីតុណ្ហភាព ពេលវេលា)។

    កម្មវិធីស្មុគស្មាញអាចត្រូវបានដំណើរការតាមតម្រូវការបច្ចេកទេស។

    ជាមួយនឹងសៀគ្វីវិនិច្ឆ័យដោយខ្លួនឯង (ភាពមិនប្រក្រតីនៃការចាប់សញ្ញាសីតុណ្ហភាព ការផ្តាច់ឧបករណ៍កម្តៅ ការបង្ការការឡើងហួសកម្រិតដោយស្វ័យប្រវត្តិ សៀគ្វីខ្លី SSR) ឧបករណ៍ការពារការឡើងហួសកម្រិត កុងតាក់ការពារការលេចធ្លាយដើម្បីការពារចរន្តលើសកម្រិត ការចាក់សោសោ និងមុខងារសុវត្ថិភាពផ្សេងៗទៀត។

    របៀបគ្រប់គ្រងម៉ាស៊ីនបូមធូលី ការគ្រប់គ្រងដោយស្វ័យប្រវត្តិ ឈានដល់កម្រិតបូមធូលីដើម្បីបញ្ឈប់ការបូមធូលី ក្រោមដែនកំណត់ទាបនៃការចាប់ផ្តើមដោយស្វ័យប្រវត្តិ ដូច្នេះវដ្តនៃការងារ ពេលវេលាសីតុណ្ហភាពថេរត្រូវបានបញ្ចប់ ឈប់ដំណើរការ; សម្ពាធដោយដៃតិចជាងការបំប៉ោង ឬការបំពេញអាសូត។


    ១២

    ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធមូលដ្ឋាន និងគោលការណ៍ធ្វើការរបស់ប្រព័ន្ធផលិតផល

    2.1 របៀបត្រួតពិនិត្យ៖ បង្កើតបរិស្ថានដែលគ្មានអុកស៊ីសែនដោយការបូមធូលី និងវដ្តបំពេញដោយអាសូត ហើយរៀបចំសមាសធាតុកំដៅនៅលើជញ្ជាំងខាងក្រៅនៃឡ ហើយកំដៅផ្នែកខាងក្នុងនៃឡដោយកំដៅរស្មីដើម្បីសម្រេចបាននូវគោលបំណងនៃការដុតនំដែលគ្មានអុកស៊ីសែន និងគ្មានធូលី។

    2.2 បន្ទប់ទាំងនេះត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយឯករាជ្យ និងដំណើរការដោយឯករាជ្យ។

    2.3 ប្រព័ន្ធបូមធូលីនៃប្រព័ន្ធនេះប្រើប្រាស់ស្នប់រមូរស្ងួត;

    ២.៤ ចំនួនបន្ទប់

    សមាសភាគ

    លក្ខណៈបច្ចេកទេស

    បរិមាណ

    បន្ទប់បូមធូលី

    ទំហំការងារទទឹង ៤០០មម * កម្ពស់ ៦០មម * ជម្រៅ ៤០០មម

    ២.៥ លក្ខខណ្ឌសុញ្ញកាស

    ១) កំណត់​សម្ពាធ​ខ្យល់​ក្នុង​លំហ៖វែល - ១០-អញ្ចឹង។

    2) តម្រូវការនៃល្បឿនបូម៖ កម្រិតសុញ្ញากาศនៃបន្ទប់គួរតែមាន 10-នំប៉័ង ២៥នាទី

    2.6 ប្រព័ន្ធកំដៅ និងថ្នាក់គ្មានធូលី

    ១) ជួរសីតុណ្ហភាព៖ សីតុណ្ហភាពធម្មតា +២៥℃-២៥០℃។

    2) ក្នុងរយៈពេល 30 នាទីពីសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ដល់ 200 ℃;

    ៣) ចូលត្រជាក់ដោយទឹក អត្រាត្រជាក់ 40 នាទី ឬតិចជាងនេះ ពីសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ចុះដល់ 60 ℃;

    ៤) ភាពត្រឹមត្រូវនៃការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាព ± ១ ℃, ឯកសណ្ឋានសីតុណ្ហភាព ± % ℃;

    ៥) ថ្នាក់គ្មានធូលី៖ ថ្នាក់ទី ១០០;

    2.7 វិធានការការពារ៖ ឧបករណ៍បង្ហាញ និងកត់ត្រាសីតុណ្ហភាព និងកន្លែងទំនេរនៃបន្ទប់នីមួយៗតាមពេលវេលាជាក់ស្តែង ហើយអាចសាកសួរទិន្នន័យប្រវត្តិសាស្ត្រ និងនាំចេញទិន្នន័យ ទិន្នន័យប្រវត្តិសាស្ត្រមិនតិចជាង 30 ថ្ងៃ;

    2.8 មុខងារកម្មវិធី៖

    1) បន្ទប់សម្រាប់បើក និងបិទទ្វារ ការគ្រប់គ្រងមុខងារកំដៅ និងមុខងារបូមធូលី;

    2) ជាមួយនឹងលេខកូដបាកូដ និងដំណើរការចងប្រហោង ការឆ្លើយតបទៅនឹងទិន្នន័យដុតនំសម្រាប់ការចង និងការផ្ទុក;

    ៣) លេខកូដបាកូដត្រូវបានបញ្ចូលដោយដៃ ឬផ្ញើដោយការទំនាក់ទំនងរបស់ប្រព័ន្ធនៅដំណាក់កាលក្រោយ។

    ៤) ការបង្ហាញស្ថានភាពការងារឧបករណ៍ ការបង្ហាញព័ត៌មានរោទិ៍;

    ៥) ការកំណត់រូបមន្ត ការហៅ និងការរក្សាទុក ការត្រួតពិនិត្យខ្សែកោងសីតុណ្ហភាព និងកំណត់ត្រាពេលវេលាសីតុណ្ហភាព កំណត់ត្រាស្ថានភាពសុញ្ញកាស កំណត់ត្រាកំហុស កំណត់ត្រាប្រតិបត្តិការ។ល។

    ៦) ការគ្រប់គ្រងឋានានុក្រមអាជ្ញាធរ (បីកម្រិត៖ ប្រតិបត្តិករ វិស្វករ អ្នកគ្រប់គ្រង)

    ២.៩ ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធសុវត្ថិភាព

    ការរចនាសុវត្ថិភាពអគ្គិសនី និងមេកានិចជារួម ស្របតាមស្តង់ដារ SEMI។

    ១) ការភ្ជាប់គ្នា

    ប្រអប់អគ្គិសនីប្រើប្រាស់ការរចនាសុវត្ថិភាពតំណភ្ជាប់មេកានិច ហើយថាមពលត្រូវផ្តាច់មុនពេលបើកប្រអប់។

    2) កុងតាក់បញ្ឈប់បន្ទាន់ EMS

    កុងតាក់បញ្ឈប់បន្ទាន់ គឺជាកុងតាក់ចុចរាងដូចផ្សិត ពណ៌ក្រហម ខ្មៅ ចិញ្ចៀនណែនាំមានពណ៌លឿង មិនថាកុងតាក់បញ្ឈប់បន្ទាន់របៀបណាក៏ដោយ គួរតែត្រូវបានផ្តល់អាទិភាព។ ស្ថានភាពឈប់បន្ទាន់នៃឧបករណ៍នេះគឺថាឡបើកទ្វារជាមួយនឹងការបន្ធូរសម្ពាធ ហើយកំដៅឈប់។

    ៣) សុវត្ថិភាព

    យន្តការបើក និងបិទទ្វារត្រូវបានលាក់នៅខាងក្នុងប្រហោងឡ ដែលកាត់បន្ថយយន្តការដែលលាតត្រដាងដើម្បីជៀសវាងហានិភ័យមេកានិច។ សីតុណ្ហភាពផ្ទៃនៃឡមិនខ្ពស់ជាងសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ +5℃ ទេ ហើយសីតុណ្ហភាពនៅចន្លោះទ្វារមិនខ្ពស់ជាងសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ +15℃ ទេ។

    ៤) វិធានការការពារ

    ការការពារការលេចធ្លាយ, ការការពារការផ្ទុកលើសទម្ងន់, ការការពារសីតុណ្ហភាពលើសឯករាជ្យ, ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធឧស្ម័ន និងសំឡេងរោទិ៍, ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធទឹក និងសំឡេងរោទិ៍ជាដើម។


    ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យផលិតផល

    ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យប្រើប្រាស់បន្ទះត្រួតពិនិត្យអេក្រង់ប៉ះ និងឧបករណ៍បញ្ជាដែលអាចសរសេរកម្មវិធីបាន (PLC)។ វាអាចសម្រេចបាននូវការគ្រប់គ្រងរួមបញ្ចូលគ្នាកណ្តាលនៃគ្រឿងបន្លាស់អគ្គិសនីទាំងអស់ ហើយមានរបៀបត្រួតពិនិត្យពីរគឺ ដោយដៃ និងស្វ័យប្រវត្តិ។

    ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យអាចសម្រេចបាននូវការត្រួតពិនិត្យ និងការគ្រប់គ្រងកម្រិតនៃព័ត៌មានសីតុណ្ហភាព និងសីតុណ្ហភាពនៃបន្ទប់នីមួយៗ ព្រមទាំងសម្រេចបាននូវការបំប៉ោង និងបន្ថយសម្ពាធដោយស្វ័យប្រវត្តិនៃបន្ទប់នីមួយៗ។ ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យទាំងមូលត្រូវបានដំឡើងនៅក្នុងទូសំខាន់ ដែលងាយស្រួលសម្រាប់ប្រតិបត្តិការ។

    លក្ខខណ្ឌនៃការដំឡើងឧបករណ៍ផលិតផល

    ៤.១ ទំហំជាន់៖ ប៉ាន់ស្មាន ១២០០*១៥០០*១២០០ (ទទឹង*កម្ពស់*ជម្រៅ) ម.ម

    ៤.២ ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល៖ ៣៨០V, ៥០Hz, ៩Kw, ខ្សែប្រាំបីដំណាក់កាល;

    ៤.៣ អាសូត៖ ឧបករណ៍ភ្ជាប់រហ័សចូល ១០ម.ម, អប្បបរមា ៤០លីត្រ/នាទី, សម្ពាធឧស្ម័ន ០.៣-០.៥មេហ្គាប៉ា, ភាពបរិសុទ្ធ ៩៩.៩៩៩%, អាសូតស្អាតមិនមានផ្ទុកភាគល្អិតទេ។

    ៤.៤ ទឹកត្រជាក់៖ លំហូរ ២០លីត្រ/នាទី ខ្សែខាងក្រៅទំហំ ១/២អ៊ីញ ការបង្ហូរទឹកត្រូវរលូនដោយមិនចាំបាច់បញ្ចេញសម្ពាធ។

    ៤.៥ ឧស្ម័នផ្សង៖ ផ្សែងផ្សែងក្តៅដុតនំ អង្កត់ផ្ចិតបំពង់ ៦០មម;

    ៤.៦ ការប៉ាន់ស្មានទម្ងន់៖ ៣៥០គីឡូក្រាម

    ៤.៧ ការ​តោង​ដី៖ ភាពធន់នឹងការតោងដីការពារសំបក អូ

    ៤.៨ ការរុះរើ៖ ភាគីតម្រូវការទទួលខុសត្រូវចំពោះការរុះរើ និងឧបករណ៍ដែលត្រៀមរួចជាស្រេចដើម្បីរុះរើប្រអប់។

    ៤.៩ បរិស្ថានដំឡើង៖ រោងចក្រស្អាត ថ្នាក់ស្អាត Class10000 សីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញ៖ 20 ~ 30 សំណើមព័ទ្ធជុំវិញ៖ សំណើម 85% RH គ្មានសារធាតុងាយឆេះ និងផ្ទុះនៅជុំវិញ គ្មានរំញ័រខ្លាំង គ្មានដែនអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចខ្លាំង គ្មានកំហាប់ម្សៅខ្ពស់ឃ. សារធាតុกัดกร่อน មិនត្រូវពន្លឺព្រះអាទិត្យដោយផ្ទាល់ ឬវិទ្យុសកម្មកំដៅដោយផ្ទាល់ផ្សេងទៀត។ ឧបករណ៍គួរតែត្រូវបានដាក់ផ្ដេកនៅក្នុងបន្ទប់សាកល្បងដែលមានខ្យល់ចេញចូលល្អ ដោយទុកចន្លោះយ៉ាងហោចណាស់ 1.5 ម៉ែត្រសម្រាប់ការថែទាំ។

    ព័ត៌មានបច្ចេកទេសផលិតផល

    ៥.១ ទិន្នន័យបច្ចេកទេស៖ សៀវភៅទិន្នន័យកំណែចិន (ឯកសារក្រដាស + ឯកសារអេឡិចត្រូនិក រួមទាំងសៀវភៅណែនាំ គោលការណ៍ណែនាំថែទាំប្រចាំថ្ងៃ ដ្យាក្រាមគ្រោងការណ៍អគ្គិសនី)។

    ៥.២ របាយការណ៍ត្រួតពិនិត្យ៖ របាយការណ៍ត្រួតពិនិត្យរោងចក្រ (ក្រដាស រួមទាំងសូចនាករប៉ារ៉ាម៉ែត្រលម្អិត និងទិន្នន័យជាក់ស្តែង)

    សេវាកម្មផលិតផល

    ក្រុមហ៊ុន GMS Industrial មានក្រុមការងារផ្នែកទីផ្សារ ផ្នែកលក់ សេវាកម្មបច្ចេកទេស និងបណ្តាញ ដើម្បីផ្តល់ជូនអតិថិជន និងអ្នកចែកចាយនូវសេវាកម្មមុនលក់ សេវាកម្មក្នុងពេលលក់ និងសេវាកម្មក្រោយពេលលក់ដ៏ទូលំទូលាយ។ អ្នកអាចទំនាក់ទំនងជាមួយយើងខ្ញុំបាន ប្រសិនបើអ្នកមានសំណួរ និងតម្រូវការណាមួយ។
    ២៤ ម៉ោងលើអ៊ីនធឺណិត។ សារនឹងត្រូវបានឆ្លើយតបភ្លាមៗនៅពេលដែលពួកគេត្រូវបានទទួល។

    សាកសួរឥឡូវនេះ