ម៉ាស៊ីនបូមធូលី
Single-Wafer ដោយស្វ័យប្រវត្តិ ម៉ាស៊ីនបូមធូលីខ្ពស់
ឧបករណ៍ដុតនំខ្នាតតូច សីតុណ្ហភាពអតិបរមា 250 ℃ ដោយប្រើមុខងារបូមធូលី និងអាសូតរួមបញ្ចូលគ្នាដើម្បីបង្កើតដោយគ្មានអុកស៊ីហ្សែន ដុតនំតែមួយដុំនៃ wafer សមរម្យសម្រាប់កម្មវិធីតូចៗ។ កម្មវិធីធម្មតាសម្រាប់ប្រព័ន្ធនេះរួមមាន SOG annealing, copper annealing, aluminium annealing, low-k dielectric annealing and photoresist baking, dry and so on.
ឡចំហាយសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
ម៉ាស៊ីនបូមធូលីគឺល្អសម្រាប់យកទឹកសំណល់ សារធាតុរំលាយ ឬសមាសធាតុងាយនឹងបង្កជាហេតុផ្សេងទៀតចេញពីផលិតផលដែលងាយនឹងសីតុណ្ហភាព។ គោលការណ៍នៃប្រតិបត្តិការ ជាសំខាន់គឺការដកម៉ូលេគុលដែលមិនចង់បានចេញដោយបន្ថយសម្ពាធនៅក្នុងឡ (បង្កើតម៉ាស៊ីនបូមធូលី)។ នៅពេលដែលសម្ពាធឡចំហាយឈានដល់សម្ពាធចំហាយដែលចង់បាននៃសារធាតុកខ្វក់ ម៉ូលេគុលកខ្វក់ទាំងនេះហួត ប្រែទៅជាចំហាយទឹក ហើយត្រូវបានយកចេញពីគ្រប់តំបន់ទាំងអស់នៃផលិតផល។ ការសម្ងួតនេះត្រូវបានសម្រេចដោយមិនប្រើកំដៅលើស។ នេះធ្វើឱ្យការសម្ងួតដោយខ្វះចន្លោះសមរម្យសម្រាប់សម្ភារៈដែលខូច ឬត្រូវបានផ្លាស់ប្តូរប្រសិនបើប៉ះពាល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ ការសម្ងួតដោយម៉ាស៊ីនបូមធូលីក៏កាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការធ្វើមាត្រដ្ឋាន និងការបង្កើតសំណល់អុកស៊ីតកម្មផងដែរ។ ម៉ាស៊ីនបូមធូលីដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ត្រូវបានប្រើជាធម្មតាសម្រាប់ផលិតផលដែលមិនធន់នឹងកំដៅ និងងាយនឹងសីតុណ្ហភាព។ ប្រភេទនៃឡនេះត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុង semiconductor, MEMS, តំបន់អេឡិចត្រូនិច។
ឡៅតឿខ្ពស់ជ្រុល
High Vacuum Oven មានលក្ខណៈពិសេស ធ្នើដាក់កំដៅដោយផ្ទាល់ ដែលអាចត្រូវបានកម្មវិធីដើម្បីកំដៅរហូតដល់ 300oC ។ បន្ទប់បូមធូលីខ្ពស់អាចបូមចុះក្រោមបានយ៉ាងងាយស្រួលដល់ 10-6 Torr បូមដោយស្នប់ turbo ដែលត្រូវបានគាំទ្រដោយម៉ាស៊ីនបូមរមូរស្ងួត (ដោយមិនមានការចាក់ប្រេងដែលគួរព្រួយបារម្ភ)។ ខណៈពេលដែលវាក្តៅខ្លាំង ដំណើរការត្រជាក់អាចយឺត (ច្រើនម៉ោង)។ ដើម្បីការពារផ្ទៃខាងក្នុងពីការកត់សុីខ្លាំងពេក អង្គជំនុំជម្រះអាចបញ្ចេញខ្យល់បានលុះត្រាតែធ្នើរធ្លាក់ចុះក្រោម 100oC។ បន្ទប់ត្រូវបានបញ្ចេញដោយអាសូត។ រន្ធខ្យល់មួយផ្នែកអាចធ្វើទៅបាន ប្រសិនបើអ្នកត្រូវការអនុញ្ញាតឱ្យសំណាករបស់អ្នកត្រជាក់ទាំងស្រុងទៅសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញ ខណៈពេលដែលនៅក្នុងបរិយាកាសអាសូត។ មានធ្នើរដែលមានទំហំប្រហែល 11" x 11" (280 mm x 280 mm) ចំនួនពីរ និងថាសអាលុយមីញ៉ូមដែលផលិតដោយខ្លួនឯងចំនួនពីរ។ វាអាចដុតនំបានប្រាំបី 4" wafers ក្នុងពេលតែមួយ។ មិនមានបង្អួចទេ ដូច្នេះផ្នែករសើបស្រាលអាចត្រូវបានដុតនំដរាបណាពួកគេត្រូវបានរុំដោយ foil នៅតាមផ្លូវចូលទៅក្នុងបន្ទប់។
ម៉ាស៊ីនសម្ងួតម៉ាស៊ីនបូមធូលី សីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
- ● ការសម្ងួតដោយបូមធូលីដើម្បីយកសំណើម និងសារធាតុរំលាយនៅក្នុងវត្ថុធាតុអេឡិចត្រូត។
- ● អតិបរមា។ សីតុណ្ហភាព 300 ℃ / 400 ℃ គឺស្រេចចិត្ត
- ● ជួរបូមធូលីប្រតិបត្តិការ 101kPa -1Pa● មាន 3 ទំហំ សមត្ថភាពធំ
ម៉ាស៊ីនសម្ងួតម៉ាស៊ីនបូមធូលី សីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
ឡសម្ងួតសុញ្ញកាសធំ រចនាឡើងសម្រាប់គោលបំណងសម្ងួតបូមធូលីគ្រប់ប្រភេទ។
- ● អតិបរមា។ សីតុណ្ហភាព 250 ℃
- ● ចន្លោះទំនេរដំណើរការ 101kPa -0.1kPa
ឡនេះគឺល្អសម្រាប់យកទឹកសំណល់ សារធាតុរំលាយ ឬសមាសធាតុងាយនឹងបង្កជាហេតុផ្សេងទៀតចេញពីផលិតផលដែលងាយនឹងសីតុណ្ហភាព។ ម៉ាស៊ីនបូមធូលីនឹងត្រូវបានដំឡើងនៅផ្នែកខាងក្រោមនៃឡ ដើម្បីសន្សំសំចៃកន្លែងដំឡើងជាមួយនឹងការតភ្ជាប់រហ័សនៃបំពង់ flange ។ ប្រភេទឡនេះត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍ គ្រឿងអេឡិចត្រូនិក MEMS និងតំបន់អេឡិចត្រូនិក។
គណៈរដ្ឋមន្ត្រីផ្ទុកសុញ្ញកាសខ្ពស់។
បន្ទប់ទាំង 9 ត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយឯករាជ្យ និងចែករំលែកប្រព័ន្ធបូមធូលីមួយឈុត។ វាស័ក្តិសមសម្រាប់គ្រប់ប្រភេទនៃសម្ភារៈលោហៈ, anaerobicanaerobic, វត្ថុធាតុដើមគីមី, លោហៈដ៏មានតម្លៃ, ម្សៅដែកនិងរឹងផ្សេងទៀត, ម្សៅ, បិទភ្ជាប់, រាវ, ផលិតផលអេឡិចត្រូនិក
- ● 9- ការគ្រប់គ្រងដោយឯកឯង
- ● រក្សាទុកផលិតផលជាបណ្តោះអាសន្នក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ឧបករណ៍អុបតូអេឡិចត្រូនិច បន្ទះសៀគ្វី semiconductor និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀតដើម្បីការពារការកត់សុី
- ● Min.50 ទៅ 5 * 10-5Pa បូមធូលី
- ● ម៉ាស៊ីនស្កេនបាកូដដើម្បីរក្សាទុកព័ត៌មានផលិតផល