ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್
ಅರೆವಾಹಕ
2024-07-05
ವೇಫರ್ ಟ್ರೀಟ್ಮೆಂಟ್ ಬಿಸಿಬಿ ಕ್ಯೂರಿಂಗ್/ ಪಾಲಿಮೈಡ್ ಪಿಐ ಕ್ಯೂರಿಂಗ್/ಸಾಫ್ಟ್ ಬೇಕ್ ಮತ್ತು ಹಾರ್ಡ್ ಬೇಕ್
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಸಾಫ್ಟ್ ಬೇಕ್, ಪೋಸ್ಟ್-ಅಪ್ಲೈ ಬೇಕ್ (PAB) ಅಥವಾ ಪ್ರಿ-ಎಕ್ಸ್ಪೋಸರ್ ಬೇಕ್ ಎಂದು ಕರೆಯಲ್ಪಡುವ ಉಷ್ಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ವರ್ಗಕ್ಕೆ ಸೇರಿದೆ. ಸಾಫ್ಟ್ ಬೇಕ್ಗಾಗಿ, ಸಂವಹನ ಓವನ್ಗಳು ಅಥವಾ ಬಿಸಿ ಪ್ಲೇಟ್ಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಪದರದಿಂದ ದ್ರಾವಕಗಳನ್ನು ಆವಿಯಾಗಿಸಲು ವೇಫರ್ಗೆ ಸಂವಹನ ಓವನ್ಗಳು ಏಕರೂಪದ ತಾಪನ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ.
ದ್ರಾವಕ ತೆಗೆಯುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯ ವರ್ಧನೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಹಾಟ್ ಪ್ಲೇಟ್ಗಳು ನಿಖರವಾದ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ನೇರ ತಾಪನವನ್ನು ನೀಡುತ್ತವೆ.
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಹಾರ್ಡ್ ಬೇಕ್ ಅನ್ನು ಪೋಸ್ಟ್-ಡೆವಲಪ್ ಬೇಕ್ (PDB) ಅಥವಾ ಪೋಸ್ಟ್-ಬೇಕ್ ವರ್ಗಕ್ಕೆ ಸೇರುವ ಉಷ್ಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಎಂದು ಪರಿಗಣಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಹಾರ್ಡ್ ಬೇಕ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಮೃದುವಾದ ಬೇಕ್ಗೆ ಬಳಸುವ ತಾಪಮಾನಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ತಲುಪಬಹುದಾದ ನಿಯಂತ್ರಿತ ಪರಿಸರದೊಂದಿಗೆ ಮೀಸಲಾದ ಬಿಸಿ ಫಲಕಗಳು ಅಥವಾ ವಿಶೇಷ ಸಂವಹನ ಓವನ್ಗಳನ್ನು ಬಳಸುವುದನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ.
ಸಂಬಂಧಿತ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು:
■ ಹೈ ಟೆಂಪರೇಚರ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಡ್ರೈಯಿಂಗ್ ಓವನ್
■ 360℃-600℃ ಜಡ ಅನಿಲ ಓವನ್
ಭಾಗಗಳನ್ನು ಒಣಗಿಸುವುದು
ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ, ಅನೇಕ ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರಗಳಿಂದ ಕೂಡಿದ ಲೋಹದ ಭಾಗಗಳು, ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯ ನೆಲೆವಸ್ತುಗಳು ಇರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಪಾತ್ರೆಗಳನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಿ ಒಣಗಿಸಬೇಕು. ಒಣಗಿಸುವ ಒಲೆಯಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಪರಿಚಲನೆಯಾಗುವುದರಿಂದ ಓವನ್ಗಳು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿರುತ್ತವೆ. ಎಲ್ಲಾ ಗಾಳಿಯು ವರ್ಗ 100 ಏರ್ ಫಿಲ್ಟರ್ ಮೂಲಕ ಹಾದುಹೋಗುತ್ತದೆ ಆದ್ದರಿಂದ ಶುದ್ಧ, ಬಿಸಿ ಗಾಳಿಯನ್ನು ಮಾತ್ರ ಕೆಲಸದ ತುಣುಕಿನ ಕಡೆಗೆ ನಿರ್ದೇಶಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಸಂಬಂಧಿತ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು:
■ ಲಂಬ ವರ್ಗ 100 ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್ ಓವನ್
ಐಸಿ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್
ಐಸಿ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಡೈ ಬಾಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಅಂಡರ್ಫಿಲ್ ಎನ್ನುವುದು ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ (ಐಸಿ) ಘಟಕಗಳ ದೃಢತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಬಳಸಲಾಗುವ ಎರಡು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಹಂತಗಳಾಗಿವೆ. ಉಷ್ಣ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ನ ಅಂತಿಮ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುವ ಪ್ರಮುಖ ಹಂತವಾಗಿದೆ.
ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ ಓವನ್ಗಳು: ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯ ಏಕರೂಪದ ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನಿಖರವಾದ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣದೊಂದಿಗೆ ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ ಓವನ್ಗಳನ್ನು ಬಳಸಿ.
ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ ಚೇಂಬರ್ಗಳು: ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ, ನಿಯಂತ್ರಿತ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಆರ್ದ್ರತೆಯ ಸೆಟ್ಟಿಂಗ್ಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ ಚೇಂಬರ್ಗಳನ್ನು ಅಂಟುಗಳ ಬ್ಯಾಚ್ ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ಗಾಗಿ ಬಳಸಬಹುದು.
ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಓವನ್: ಐಸಿ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ನಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾತ ಓವನ್ಗಳ ಅನ್ವಯವು ಹಲವಾರು ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ: ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿವಿಧ ಹಂತಗಳಿಗೆ ಐಸಿ ಪ್ಯಾಕೇಜ್ಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟ, ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುವುದು.
ವಾಯು ಶುದ್ಧೀಕರಣ: ನಿರ್ವಾತ ಓವನ್ಗಳನ್ನು ಎನ್ಕ್ಯಾಪ್ಸುಲೇಷನ್ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಗಾಳಿ ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಗುಳ್ಳೆಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು IC ಪ್ಯಾಕೇಜ್ ಅದರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ಶೂನ್ಯಗಳು ಅಥವಾ ದೋಷಗಳಿಂದ ಮುಕ್ತವಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಒಣಗಿಸುವುದು: ಅಂತಿಮ ಸೀಲಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮೊದಲು ಕ್ಯಾಪ್ಸುಲೇಷನ್ ವಸ್ತುವನ್ನು ಒಣಗಿಸಲು ನಿರ್ವಾತ ಓವನ್ಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು. ಡಿಲೀಮಿನೇಷನ್ ಅಥವಾ ಕಳಪೆ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯಂತಹ ಸಮಸ್ಯೆಗಳನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ತೇವಾಂಶವನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವುದು ಬಹಳ ಮುಖ್ಯ.
ಕ್ಯೂರಿಂಗ್: ಕೆಲವು ಕ್ಯಾಪ್ಸುಲೇಷನ್ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ನಿಯಂತ್ರಿತ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ನಿರ್ವಾತ ಓವನ್ಗಳು ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪವಾಗಿ ಸಂಭವಿಸುವ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ.
ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ತಡೆಗಟ್ಟುವಿಕೆ: ನಿರ್ವಾತ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಆಮ್ಲಜನಕದ ಮಟ್ಟಗಳು ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತವೆ, ಇದು ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಘಟಕಗಳ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣವನ್ನು ತಡೆಯಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವುದು: ನಿರ್ವಾತ ಓವನ್ಗಳು ಕಲ್ಮಶಗಳು, ತೇವಾಂಶ ಮತ್ತು ಬಂಧಕ್ಕೆ ಅಡ್ಡಿಯಾಗಬಹುದಾದ ಗಾಳಿಯ ಪಾಕೆಟ್ಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವ ಮೂಲಕ ಸುತ್ತುವರಿಯುವ ವಸ್ತುಗಳ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಬಹುದು.
ಸಂಬಂಧಿತ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು:
■ ಜಡ ಅನಿಲ ಓವನ್
■ ಸ್ಟ್ಯಾಂಡ್ ಪ್ರಕಾರದ ನಿರ್ವಾತ ಓವನ್
■ ಬಹುಕೋಣೆಯ ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ ಓವನ್
■ ಲಂಬ ಬ್ಯಾಚ್ ಓವನ್
■ ಕನ್ವೇಯರ್ ಒಣಗಿಸುವ ಒಲೆ
ಸಂಗ್ರಹಣೆಯನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಿ
ಸಸ್ಟೈನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಕ್ಯಾಬಿನೆಟ್ಗಳು IPC (J-STD-033C) ಬೇಡಿಕೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಕನಿಷ್ಠ 1% RH ವರೆಗೆ ಅತಿ ಕಡಿಮೆ ಆರ್ದ್ರತೆಯನ್ನು ನಿರಂತರವಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸಬಲ್ಲವು ಮತ್ತು ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳು ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳು, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳು ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಉಪಕರಣಗಳ ತೇವಾಂಶ-ನಿರೋಧಕ ಮತ್ತು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ-ವಿರೋಧಿ ಸಂಗ್ರಹಣೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿವೆ. ಎಲ್ಲಾ ಕ್ಯಾಬಿನೆಟ್ಗಳನ್ನು ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ನಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸ್ವಚ್ಛ ಕೊಠಡಿಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳು, ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳು, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಚಿಪ್ಗಳು ಮತ್ತು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಇತರ ಸಾಧನಗಳ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ತಾತ್ಕಾಲಿಕವಾಗಿ ಸಂಗ್ರಹಿಸಬೇಕಾದ ಉತ್ಪನ್ನಗಳಿಗೆ. ನಿರ್ವಾತ ಶೇಖರಣಾ ಕ್ಯಾಬಿನೆಟ್ ಉತ್ತಮ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ.
ಸಂಬಂಧಿತ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು:
■ ಸುಸ್ಥಿರ ಸಾರಜನಕ ಕ್ಯಾಬಿನೆಟ್
■ ನಿರ್ವಾತ ಶೇಖರಣಾ ಕ್ಯಾಬಿನೆಟ್
ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯ ಉತ್ತೇಜನ / ಸಾವಯವ ಪದಾರ್ಥಗಳ ತೆಗೆಯುವಿಕೆ
ಅರೆವಾಹಕ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಲ್ಲಿ, ತಂತಿ ಬಂಧಕ್ಕೆ ಮೊದಲು ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು (ಫ್ಲಕ್ಸ್) ತೆಗೆದುಹಾಕುವುದು ಬಂಧದ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಬಲಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಸಾಧನದ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಾಯುಷ್ಯವನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಸಂಬಂಧಿತ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು:
■ ನಿರ್ವಾತ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಯಂತ್ರ