ಅರೆ-ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಕ್ಷಿಪ್ರ ಉಷ್ಣ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಕುಲುಮೆ

GZ-RTP-SM-12 ಒಂದು ಅರೆ-ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಲಂಬ ಕ್ಷಿಪ್ರ ಉಷ್ಣ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿದೆ. ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ತೀವ್ರತೆಯ ಗೋಚರ ವಿಕಿರಣವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಒಂದೇ 4-12 ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್/ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಅವಧಿಗಳಿಗೆ ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿತ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಬಿಸಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಧಿಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 1-600 ಸೆಕೆಂಡುಗಳು, ಆದಾಗ್ಯೂ 9999 ಸೆಕೆಂಡುಗಳವರೆಗಿನ ಅವಧಿಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬಹುದು. ಈ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು, ತಾಪನ ಕೊಠಡಿಯ ಕೋಲ್ಡ್-ವಾಲ್ ವಿನ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ತಾಪನ ಏಕರೂಪತೆಯೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದ್ದು, ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಕುಲುಮೆ ಸಂಸ್ಕರಣೆಗಿಂತ ಗಮನಾರ್ಹ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ.

1. ವೇಗದ ತಾಪನ ದರಗಳಿಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ತೀವ್ರತೆಯ ಗೋಚರ ವಿಕಿರಣ ಹ್ಯಾಲೊಜೆನ್ ದೀಪ ತಾಪನ
2. ವಿಶೇಷ ಚಿನ್ನದ ಲೇಪಿತ ಅಲ್ ಚೇಂಬರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಿಂದ ಚದುರಿದ ಐಆರ್ ಬೆಳಕು
3. ನೈಜ ಸಮಯ ನಿಯಂತ್ರಣ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳು ಮತ್ತು ಅನೇಕ ಉಪಯುಕ್ತ ಕಾರ್ಯಗಳೊಂದಿಗೆ ಸುಧಾರಿತ ಸಾಫ್ಟ್‌ವೇರ್ ಪ್ಯಾಕೇಜ್
4. ವಾತಾವರಣ ಅಥವಾ ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳು ಮುಚ್ಚಬಹುದಾದವು
5. ಸ್ಟ್ಯಾಂಡರ್ಡ್ ಎರಡು ಗ್ಯಾಸ್ ಲೈನ್‌ಗಳು, MFC ಗಳು ಮತ್ತು ಶಟ್-ಆಫ್ ವಾಲ್ವ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಆರು ಗ್ಯಾಸ್ ಲೈನ್‌ಗಳಿಗೆ ವಿಸ್ತರಿಸಬಹುದು
6. ಕೂಲಿಂಗ್ N2 (ಅಥವಾ CDA) ದೀಪಗಳು ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯ ಕೊಳವೆಯ ಸುತ್ತಲೂ ಹರಿಯುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ವೇಗದ ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆ ದರಗಳು ದೊರೆಯುತ್ತವೆ.
7. ಉಪಕರಣದ ಸುರಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಬಾಗಿಲು ತೆರೆಯುವ ರಕ್ಷಣೆ, ಥರ್ಮೋಸ್ಟಾಟ್ ತೆರೆಯುವ ಪ್ರಾಧಿಕಾರ ರಕ್ಷಣೆ ಮತ್ತು ತುರ್ತು ನಿಲುಗಡೆ ರಕ್ಷಣೆಯ ಟ್ರಿಪಲ್ ಸುರಕ್ಷತಾ ಕ್ರಮಗಳನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
8.ಗರಿಷ್ಠ 12-ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್ (300*300ಮಿಮೀ)

■ ಕ್ಷಿಪ್ರ ಉಷ್ಣ ಅನೀಲಿಂಗ್ (RTA)
■ ಆಕ್ಸೈಡ್, ನೈಟ್ರೈಡ್ ಬೆಳವಣಿಗೆ
■ ಆರ್ಸೆನೈಟೈಸೇಶನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ
■ ಇಂಪ್ಲಾಂಟ್ ಅನೀಲಿಂಗ್
■ ಓಹ್ಮಿಕ್ ಸಂಪರ್ಕ ಅನೀಲಿಂಗ್ (III-V ಮತ್ತು SiC)
■ ತ್ವರಿತ ಉಷ್ಣ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ (RTO)
■ ಕ್ಷಿಪ್ರ ಉಷ್ಣ ನೈಟ್ರಿಡೇಶನ್ (RTN)
■ ಸೆಲೆನೈಸೇಶನ್ (CIGS ಸೌರ ಕೋಶಗಳು)
■ ಗ್ರ್ಯಾಫೀನ್ ಮತ್ತು h-BN (ಷಡ್ಭುಜೀಯ ಬೋರಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್) ನ CVD
■ ಪಾಲಿಮರ್‌ಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳ ಉಷ್ಣ ಅನೀಲಿಂಗ್.