ಸಿಂಗಲ್-ವೇಫರ್ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಹೈ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಓವನ್

2.1 ನಿಯಂತ್ರಣ ಮೋಡ್: ನಿರ್ವಾತೀಕರಣ ಮತ್ತು ಸಾರಜನಕ ತುಂಬಿದ ಚಕ್ರದ ಮೂಲಕ ಆಮ್ಲಜನಕ-ಮುಕ್ತ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ರಚಿಸಿ, ಮತ್ತು ಓವನ್‌ನ ಹೊರ ಗೋಡೆಯ ಮೇಲೆ ತಾಪನ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಜೋಡಿಸಿ ಮತ್ತು ಆಮ್ಲಜನಕ-ಮುಕ್ತ ಮತ್ತು ಧೂಳು-ಮುಕ್ತ ಬೇಕಿಂಗ್ ಉದ್ದೇಶವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ವಿಕಿರಣ ತಾಪನದ ಮೂಲಕ ಓವನ್‌ನ ಒಳಭಾಗವನ್ನು ಬಿಸಿ ಮಾಡಿ.

2.2 ಕೋಣೆಗಳು ಸ್ವತಂತ್ರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲ್ಪಡುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಸ್ವತಂತ್ರವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ.

2.3 ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಡ್ರೈ ಸ್ಕ್ರೋಲ್ ಪಂಪ್ ಅನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ;

2.4 ಕೋಣೆಗಳ ಸಂಖ್ಯೆ

೨.೫ ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳು

1) ಮಿತಿ ನಿರ್ವಾತ:1ಸರಿ - 10^-4ಸರಿ.

2) ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗದ ಅವಶ್ಯಕತೆ: ಕೋಣೆಯ ನಿರ್ವಾತ ಪದವಿ 10 ಆಗಿರಬೇಕು^-4ಬ್ರೆಡ್ 25ನಿಮಿಷ.

2.6 ತಾಪನ ವ್ಯವಸ್ಥೆ ಮತ್ತು ಧೂಳು-ಮುಕ್ತ ದರ್ಜೆ

1) ತಾಪಮಾನ ಶ್ರೇಣಿ: ಸಾಮಾನ್ಯ ತಾಪಮಾನ +25℃-250℃.

2) ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದಿಂದ 200 ℃ ಗೆ 30 ನಿಮಿಷಗಳಲ್ಲಿ;

3) ಒಳಗೆಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದಿಂದ 60 ℃ ಒಳಗೆ 40 ನಿಮಿಷ ಅಥವಾ ಅದಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆ ತಂಪಾಗಿಸುವ ದರದೊಂದಿಗೆ ನೀರು-ತಂಪಾಗುವ ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಹಾಡಿ;

4) ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ ನಿಖರತೆ ± 1 ℃, ತಾಪಮಾನ ಏಕರೂಪತೆ ± 2% ℃;

5) ಧೂಳು-ಮುಕ್ತ ದರ್ಜೆ: 100 ನೇ ತರಗತಿ;

2.7 ರಕ್ಷಣಾ ಕ್ರಮಗಳು: ಸಾಧನವು ಪ್ರತಿ ಕೋಣೆಯ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ನೈಜ-ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ದಾಖಲಿಸುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಐತಿಹಾಸಿಕ ಡೇಟಾವನ್ನು ಪ್ರಶ್ನಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು 30 ದಿನಗಳಿಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿಲ್ಲದ ಐತಿಹಾಸಿಕ ಡೇಟಾವನ್ನು ರಫ್ತು ಮಾಡಬಹುದು;

2.8 ಸಾಫ್ಟ್‌ವೇರ್ ಕಾರ್ಯ:

1) ಬಾಗಿಲು ತೆರೆಯುವ ಮತ್ತು ಮುಚ್ಚುವ ಕೋಣೆ, ತಾಪನ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ಕಾರ್ಯ ನಿಯಂತ್ರಣ;

2) ಬಾರ್ ಕೋಡ್ ಮತ್ತು ಕ್ಯಾವಿಟಿ ಬೈಂಡಿಂಗ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯೊಂದಿಗೆ, ಬೈಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಸಂಗ್ರಹಣೆಗಾಗಿ ಬೇಕಿಂಗ್ ಡೇಟಾಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ;

3) ಬಾರ್ ಕೋಡ್ ಅನ್ನು ಹಸ್ತಚಾಲಿತವಾಗಿ ನಮೂದಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಅಥವಾ ನಂತರದ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಸಂವಹನದಿಂದ ಕಳುಹಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ;

4) ಸಲಕರಣೆಗಳ ಕೆಲಸದ ಸ್ಥಿತಿ ಪ್ರದರ್ಶನ, ಎಚ್ಚರಿಕೆಯ ಮಾಹಿತಿ ಪ್ರದರ್ಶನ;

5) ಪಾಕವಿಧಾನ ಸೆಟ್ಟಿಂಗ್, ಕರೆ ಮತ್ತು ಸಂಗ್ರಹಣೆ, ತಾಪಮಾನ ಕರ್ವ್ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನ ಸಮಯದ ದಾಖಲೆಯನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸುವುದು, ನಿರ್ವಾತ ಸ್ಥಿತಿ ದಾಖಲೆ, ದೋಷ ದಾಖಲೆ, ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ದಾಖಲೆ, ಇತ್ಯಾದಿ.

6) ಅಧಿಕಾರ ಶ್ರೇಣಿ ನಿರ್ವಹಣೆ (ಮೂರು ಹಂತಗಳು: ಆಪರೇಟರ್, ಎಂಜಿನಿಯರ್, ನಿರ್ವಾಹಕರು)

2.9 ಸುರಕ್ಷತಾ ಸಂರಚನೆ

ಒಟ್ಟಾರೆ ವಿದ್ಯುತ್ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸುರಕ್ಷತಾ ವಿನ್ಯಾಸ, SEMI ಮಾನದಂಡಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ.

1) ಇಂಟರ್‌ಲಾಕಿಂಗ್

ವಿದ್ಯುತ್ ಪೆಟ್ಟಿಗೆಯು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸಂಪರ್ಕ ಸುರಕ್ಷತಾ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಂಡಿದ್ದು, ಪೆಟ್ಟಿಗೆಯನ್ನು ತೆರೆಯುವ ಮೊದಲು ವಿದ್ಯುತ್ ಸಂಪರ್ಕ ಕಡಿತಗೊಳಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ.

2) ತುರ್ತು ನಿಲುಗಡೆ ಸ್ವಿಚ್ ಇಎಂಎಸ್

ತುರ್ತು ನಿಲುಗಡೆ ಸ್ವಿಚ್ ಮಶ್ರೂಮ್ ಆಕಾರದ ಪ್ರೆಸ್ ಸ್ವಿಚ್ ಆಗಿದೆ, ಕೆಂಪು, ಕಪ್ಪು ಫಾಂಟ್, ಗೈಡ್ ರಿಂಗ್ ಹಳದಿ, ಯಾವುದೇ ರೀತಿಯ ಮೋಡ್ ತುರ್ತು ನಿಲುಗಡೆ ಸ್ವಿಚ್‌ಗೆ ಆದ್ಯತೆ ನೀಡಬೇಕು. ಈ ಉಪಕರಣದ ತುರ್ತು ನಿಲುಗಡೆ ಸ್ಥಿತಿಯೆಂದರೆ ಓವನ್ ಒತ್ತಡ ಪರಿಹಾರದೊಂದಿಗೆ ಬಾಗಿಲು ತೆರೆಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಾಪನವು ನಿಲ್ಲುತ್ತದೆ.

3) ಸುರಕ್ಷತೆ

ಬಾಗಿಲು ತೆರೆಯುವ ಮತ್ತು ಮುಚ್ಚುವ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನವನ್ನು ಓವನ್ ಕುಹರದೊಳಗೆ ಮರೆಮಾಡಲಾಗಿದೆ, ಯಾಂತ್ರಿಕ ಅಪಾಯವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ತೆರೆದ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಓವನ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈ ತಾಪಮಾನವು ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶ +5℃ ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿಲ್ಲ, ಮತ್ತು ಬಾಗಿಲಿನ ಅಂತರದಲ್ಲಿನ ತಾಪಮಾನವು ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶ +15℃ ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿಲ್ಲ.

4) ರಕ್ಷಣಾ ಕ್ರಮಗಳು

ಸೋರಿಕೆ ರಕ್ಷಣೆ, ಓವರ್‌ಲೋಡ್ ರಕ್ಷಣೆ, ಸ್ವತಂತ್ರ ಅಧಿಕ-ತಾಪಮಾನ ರಕ್ಷಣೆ, ಅನಿಲ ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದನೆ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚರಿಕೆ, ನೀರಿನ ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದನೆ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚರಿಕೆ, ಇತ್ಯಾದಿ.

ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಟಚ್ ಸ್ಕ್ರೀನ್ ನಿಯಂತ್ರಣ ಫಲಕ ಮತ್ತು ಪ್ರೋಗ್ರಾಮೆಬಲ್ ನಿಯಂತ್ರಕ (PLC) ಅನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಂಡಿದೆ.ಇದು ಎಲ್ಲಾ ವಿದ್ಯುತ್ ಘಟಕಗಳ ಕೇಂದ್ರೀಕೃತ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಬಹುದು ಮತ್ತು ಎರಡು ನಿಯಂತ್ರಣ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ: ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ಮತ್ತು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ.

ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಪ್ರತಿ ಕೋಣೆಯ ನಿರ್ವಾತ ಪದವಿ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನದ ಮಾಹಿತಿಯ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಬಹುದು ಮತ್ತು ಪ್ರತಿ ಕೋಣೆಯ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಹಣದುಬ್ಬರ ಮತ್ತು ಹಣದುಬ್ಬರವಿಳಿತವನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಬಹುದು. ಸಂಪೂರ್ಣ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಮುಖ್ಯ ಕ್ಯಾಬಿನೆಟ್‌ನಲ್ಲಿ ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾಗಿದೆ, ಇದು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗೆ ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ.

4.1 ಮಹಡಿ ಜಾಗ: ಅಂದಾಜು 1200*1500*1200(W*H*D)ಮಿಮೀ

4.2 ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು: 380V, 50Hz, 9Kw, ಮೂರು-ಹಂತದ ಐದು-ತಂತಿ;

4.3 ಸಾರಜನಕ: ಇನ್ಲೆಟ್ ಕ್ವಿಕ್ ಕನೆಕ್ಟರ್ 10mm, ಕನಿಷ್ಠ 40L/ನಿಮಿಷ, ಅನಿಲ ಒತ್ತಡ 0.3-0.5Mpa, ಶುದ್ಧತೆ 99.999%, ಶುದ್ಧ ಸಾರಜನಕವು ಕಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವುದಿಲ್ಲ;

4.4 ತಣ್ಣೀರು: ಹರಿವು 20L/ನಿಮಿಷ, ಕ್ಯಾಲಿಬರ್ 1/2 ಇಂಚಿನ ಹೊರ ತಂತಿ, ಒತ್ತಡದ ವಿಸರ್ಜನೆ ಇಲ್ಲದೆ ಒಳಚರಂಡಿ ಸುಗಮವಾಗಿರಬೇಕು.

4.5 ನಿಷ್ಕಾಸ ಅನಿಲ: ಬೇಕಿಂಗ್ ಬಿಸಿ ನಿಷ್ಕಾಸ ಅನಿಲ ನಿಷ್ಕಾಸ, ಪೈಪ್ ವ್ಯಾಸ 60 ಮಿಮೀ;

4.6 ತೂಕ ಅಂದಾಜು: 350KG

4.7 ಗ್ರೌಂಡಿಂಗ್: ಶೆಲ್ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಗ್ರೌಂಡಿಂಗ್ ಪ್ರತಿರೋಧ ≤ (ಅಂದರೆ) 1ಓಹ್

4.8 ಇಳಿಸುವಿಕೆ: ಬೇಡಿಕೆಯ ಭಾಗವು ಇಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಪೆಟ್ಟಿಗೆಯನ್ನು ಬಿಚ್ಚಲು ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಸ್ಥಳದಲ್ಲಿ ಇಡುವುದಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಿದೆ.

4.9 ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ಪರಿಸರ: ಸ್ವಚ್ಛವಾದ ಸಸ್ಯ ಸ್ವಚ್ಛ ದರ್ಜೆಯ ವರ್ಗ 10000, ಸುತ್ತುವರಿದ ತಾಪಮಾನ: 20 ~ 30 ℃ ℃, ಸುತ್ತುವರಿದ ಆರ್ದ್ರತೆ: ≤ (ಅಂದರೆ) 85% RH ಸುತ್ತಲೂ ಸುಡುವ, ಸ್ಫೋಟಕ ವಸ್ತುಗಳು ಇಲ್ಲ, ಬಲವಾದ ಕಂಪನವಿಲ್ಲ, ಬಲವಾದ ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರವಿಲ್ಲ, ಪುಡಿಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯಿಲ್ಲ ಮತ್ತುನಾಶಕಾರಿ ವಸ್ತುಗಳು, ನೇರ ಸೂರ್ಯನ ಬೆಳಕು ಅಥವಾ ಇತರ ನೇರ ಶಾಖ ವಿಕಿರಣವಿಲ್ಲ. ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಚೆನ್ನಾಗಿ ಗಾಳಿ ಇರುವ ಪರೀಕ್ಷಾ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ಅಡ್ಡಲಾಗಿ ಇರಿಸಬೇಕು, ನಿರ್ವಹಣೆಗಾಗಿ ಕನಿಷ್ಠ 1.5 ಮೀಟರ್ ಜಾಗವನ್ನು ಬಿಡಬೇಕು.

5.1 ತಾಂತ್ರಿಕ ದತ್ತಾಂಶ: ದತ್ತಾಂಶ ಕಿರುಪುಸ್ತಕದ ಚೀನೀ ಆವೃತ್ತಿ (ಕಾಗದ + ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಫೈಲ್‌ಗಳು, ಸೂಚನಾ ಕೈಪಿಡಿಗಳು, ದೈನಂದಿನ ನಿರ್ವಹಣಾ ಮಾರ್ಗಸೂಚಿಗಳು, ವಿದ್ಯುತ್ ಸ್ಕೀಮ್ಯಾಟಿಕ್ ರೇಖಾಚಿತ್ರಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ).

5.2 ತಪಾಸಣೆ ವರದಿ: ಕಾರ್ಖಾನೆ ತಪಾಸಣೆ ವರದಿ (ವಿವರವಾದ ನಿಯತಾಂಕ ಸೂಚಕಗಳು ಮತ್ತು ವಾಸ್ತವಿಕ ಡೇಟಾವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ಕಾಗದ)