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2024년 7월 5일

웨이퍼 처리: BCB 경화/폴리이미드 PI 경화/소프트 베이킹 및 하드 베이킹

반도체 제조 공정에서 소프트 베이킹은 PAB(Post-Apply Bake) 또는 프리익스포셔 베이크(Pre-exposure Bake)라고도 하는 열처리 공정의 한 종류입니다. 소프트 베이킹에는 일반적으로 대류 오븐이나 핫 플레이트가 사용됩니다. 대류 오븐은 웨이퍼에 균일한 가열 환경을 제공하여 포토레지스트 층에서 용매를 증발시킵니다.
가열판은 정밀한 온도 제어와 직접 가열 방식을 통해 용매 제거 및 접착력 향상을 보장합니다.

반도체 제조에서 하드 베이크는 현상 후 베이킹(Post-Develop Bake, PDB) 또는 포스트 베이크(Post-Bake) 범주에 속하는 열처리 공정입니다. 하드 베이크 공정은 일반적으로 소프트 베이크에 사용되는 온도보다 높은 온도에 도달할 수 있는 제어된 환경을 갖춘 전용 가열판이나 특수 대류 오븐을 사용합니다.

관련 제품:
■ 고온 진공 건조 오븐
■ 360℃~600℃ 불활성 가스 오븐

부품 건조

반도체 제조 공정에서는 정밀 가공된 금속 부품, 계측기, 석영 고정구 및 용기 등을 세척하고 건조해야 합니다. 건조 오븐 내부의 공기는 지속적으로 순환되어 오븐의 효율을 크게 향상시킵니다. 모든 공기는 100등급 공기 필터를 통과하므로 깨끗하고 뜨거운 공기만 작업물에 공급됩니다.

관련 제품:

■ 수직형 클래스 100 클린룸 오븐

IC 패키징

IC 패키징 공정에서 다이 본딩과 언더필은 집적 회로(IC) 부품의 견고성과 신뢰성을 보장하는 데 매우 중요한 두 단계입니다. 열처리 또한 최종 전자 제품의 품질을 보장하는 핵심 단계입니다.

숙성 오븐: 접착제가 고르게 경화되도록 정확한 온도 제어 기능을 갖춘 경화 오븐을 사용하십시오.
경화실: 대규모 생산의 경우, 온도와 습도 조절이 가능한 경화 챔버를 사용하여 접착제를 일괄 경화할 수 있습니다.
진공 오븐: IC 패키징에 진공 오븐을 적용하는 것은 여러 가지 핵심적인 측면을 포함하며, 패키징 공정의 다양한 단계에서 IC 패키지의 품질, 신뢰성 및 성능을 보장하는 데 중요한 역할을 합니다.
탈기: 진공 오븐은 캡슐화 재료에서 공기와 기포를 제거하는 데 사용되어 IC 패키지에 성능에 영향을 줄 수 있는 공극이나 결함이 없도록 합니다.
건조: 진공 오븐은 최종 밀봉 공정 전에 캡슐화 재료를 건조하는 데 사용할 수 있습니다. 수분을 제거하는 것은 박리 또는 접착 불량과 같은 문제를 방지하는 데 매우 중요합니다.
치료: 일부 캡슐화 재료는 제어된 조건 하에서 경화 공정을 거쳐야 합니다. 진공 오븐은 효율적이고 균일한 경화가 이루어질 수 있는 환경을 제공합니다.
산화 방지: 진공 환경을 조성함으로써 산소 농도를 낮추어 포장 과정에서 민감한 부품의 산화를 방지하는 데 도움이 됩니다.
접착력 향상: 진공 오븐은 접착을 방해할 수 있는 불순물, 수분 및 기포를 제거하여 캡슐화 재료의 접착 특성을 향상시킬 수 있습니다.

관련 제품:

■ 불활성 가스 오븐

■ 스탠드형 진공 오븐

■ 다중 챔버 경화 오븐

■ 수직형 배치 오븐

■ 컨베이어 건조 오븐

깨끗한 보관

스테인리스 스틸 재질의 질소 캐비닛은 IPC(J-STD-033C) 규격을 충족하는 최소 1%RH의 초저습도를 일정하게 유지할 수 있으며, 집적 회로 및 실리콘 웨이퍼, 광학 부품, 정밀 기기 등의 방습 및 산화 방지 보관에 이상적입니다. 모든 캐비닛은 스테인리스 스틸로 제작되어 클린룸 환경에 특히 적합합니다.

전자 기기, 광전자 기기, 반도체 칩 등 생산 공정 중 산화 방지를 위해 제품을 일시적으로 보관해야 하는 경우 진공 보관함이 좋은 선택이 될 수 있습니다.

관련 제품:

■ 지속 가능한 질소 캐비닛

■ 진공 보관 캐비닛

접착력 증진/유기물 제거

반도체 공정에서 플라즈마 세척은 와이어 본딩 전에 웨이퍼 표면을 준비하는 데 일반적으로 사용됩니다. 오염 물질(플럭스)을 제거하면 본딩 접착력이 강화되어 소자의 신뢰성과 수명을 연장하는 데 도움이 됩니다.

관련 제품:

■ 진공 플라즈마 세척기