급속 열처리
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반자동 급속 열처리 공정...
2024년 7월 5일
GZ-RTP-SM-12는 단일 4-12인치 웨이퍼 가열에 적용되는 반자동 수직 급속 열처리 시스템입니다.
최대 온도 1250℃
최대 4개의 가스 라인