Pusiau automatinė greito terminio apdorojimo krosnis

GZ-RTP-SM-12 yra pusiau automatinė vertikali greito terminio apdorojimo sistema. Sistema naudoja didelio intensyvumo matomą spinduliuotę, kad trumpą laiką tiksliai kontroliuojamoje temperatūroje kaitintų vieną 4–12 colių plokštelę / pavyzdį. Proceso laikotarpis paprastai trunka 1–600 sekundžių, nors galima pasirinkti ir iki 9999 sekundžių trukmės laikotarpį. Šios galimybės kartu su kaitinimo kameros šaltų sienų konstrukcija ir puikiu kaitinimo vienodumu suteikia didelių pranašumų, palyginti su įprastiniu apdorojimu krosnyje.

1. Didelio intensyvumo matomos spinduliuotės halogeninė lempa, skirta greitam kaitinimui
2. Išsklaidyta IR šviesa specialiu paauksuotu Al kameros paviršiumi
3.Pažangus programinės įrangos paketas su realaus laiko valdymo technologijomis ir daugybe naudingų funkcijų
4. Atmosferos arba vakuumo sąlygos yra uždaromos
5. Standartinės dvi dujų linijos, galima išplėsti iki šešių dujų linijų su MFC ir uždarymo vožtuvais
6. Aušinamasis N2 (arba CDA) teka aplink lempas ir kvarco izoliacinį vamzdelį, kad būtų užtikrintas greitas aušinimo greitis
7. Priima trigubas saugos priemones: durų atidarymo apsaugą, termostato atidarymo įgaliojimo apsaugą ir avarinio stabdymo apsaugą, kad būtų užtikrintas prietaiso saugumas.
8. Maksimalus 12 colių vaflis (300 * 300 mm)

■ Greitas terminis atkaitinimas (RTA)
■ Oksido, nitrido augimas
■ Arsenitizacijos procesas
■ Implanto atkaitinimas
■ Ominis kontaktinis atkaitinimas (III-V ir SiC)
■ Greita terminė oksidacija (RTO)
■ Greitas terminis nitridavimas (RTN)
■ Selenizacija (CIGS saulės elementai)
■ Grafeno ir h-BN (šešiakampio boro nitrido) CVD
■ Polimerų ir kt. terminis atkaitinimas.