Permohonan
Semikonduktor
2024-07-05
Rawatan Wafer Pengawetan BCB/ Pengawetan PI Polimida/Pembakaran Lembut dan Pembakaran Keras
Pembakaran lembut dalam fabrikasi semikonduktor tergolong dalam kategori proses terma yang dikenali sebagai Pembakaran Pasca Guna (PAB) atau Pembakaran Pra-pendedahan. Untuk pembakaran lembut, ketuhar perolakan atau plat panas biasanya digunakan. Ketuhar perolakan menyediakan persekitaran pemanasan seragam untuk wafer menyejat pelarut daripada lapisan fotoresis.
Plat panas menawarkan kawalan suhu yang tepat dan pemanasan langsung bagi memastikan penyingkiran pelarut dan peningkatan lekatan.
Pembakaran keras dalam fabrikasi semikonduktor juga dianggap sebagai proses terma yang termasuk dalam kategori Pembakaran Pasca-Pembangunan (PDB) atau Pasca-Bakar. Proses pembakaran keras biasanya melibatkan penggunaan plat panas khusus atau ketuhar perolakan khusus dengan persekitaran terkawal yang boleh mencapai suhu yang lebih tinggi daripada yang digunakan untuk pembakaran lembut.
Produk Berkaitan:
■ Ketuhar Pengeringan Vakum Suhu Tinggi
■ Ketuhar Gas Lengai 360℃-600℃
Pengeringan Bahagian
Dalam fabrikasi semikonduktor, terdapat banyak bahagian logam, instrumen dan lekapan serta bekas kuarza yang dimesin dengan tepat hendaklah dibersihkan dan dikeringkan. Udara dalam ketuhar pengeringan diedarkan secara berterusan menjadikan ketuhar cekap dengan ketara. Semua udara melalui penapis udara kelas 100 jadi hanya udara panas yang bersih dihalakan ke bahan kerja.
Produk Berkaitan:
■ Ketuhar bilik bersih kelas 100 menegak
Pembungkusan IC
Dalam proses pembungkusan IC, ikatan acuan dan pengisian bawah adalah dua langkah penting yang digunakan untuk memastikan ketegasan dan kebolehpercayaan komponen litar bersepadu (IC). Pemprosesan terma juga merupakan langkah teras yang memastikan kualiti akhir elektronik.
Ketuhar Pengawetan: Gunakan ketuhar pengawet dengan kawalan suhu yang tepat untuk memastikan pengawetan pelekat yang seragam.
Ruang Pengawetan: Bagi pengeluaran berskala besar, ruang pengawetan yang dilengkapi dengan tetapan suhu dan kelembapan terkawal boleh digunakan untuk pengawetan pelekat secara kelompok.
Ketuhar Vakum: Penggunaan ketuhar vakum dalam pembungkusan IC melibatkan beberapa aspek utama: memainkan peranan penting dalam memastikan kualiti, kebolehpercayaan dan prestasi pakej IC untuk pelbagai peringkat proses pembungkusan.
Penyah-pengudaraan: Ketuhar vakum digunakan untuk membuang gelembung udara dan gas daripada bahan enkapsulasi, memastikan pakej IC bebas daripada lompang atau kecacatan yang boleh menjejaskan prestasinya.
Pengeringan: Ketuhar vakum boleh digunakan untuk mengeringkan bahan enkapsulasi sebelum proses pengedap akhir. Mengeluarkan kelembapan adalah penting untuk mengelakkan masalah seperti delaminasi atau lekatan yang lemah.
Pengawetan: Sesetengah bahan enkapsulasi memerlukan proses pengawetan di bawah keadaan terkawal. Ketuhar vakum menyediakan persekitaran di mana pengawetan boleh berlaku dengan cekap dan seragam.
Mencegah Pengoksidaan: Dengan mewujudkan persekitaran vakum, tahap oksigen dikurangkan, yang membantu mencegah pengoksidaan komponen sensitif semasa proses pembungkusan.
Meningkatkan Lekatan: Ketuhar vakum boleh meningkatkan sifat lekatan bahan enkapsulasi dengan membuang bendasing, kelembapan dan poket udara yang boleh menghalang ikatan.
Produk Berkaitan:
■ Ketuhar Gas Lengai
■ Ketuhar Vakum Jenis Berdiri
■ Ketuhar Pengawetan Berbilang Ruang
■ Ketuhar kelompok menegak
■ Ketuhar pengeringan penghantar
Penyimpanan Bersih
Kabinet nitrogen keluli lestari yang dilengkapi boleh sentiasa mengekalkan kelembapan ultra rendah kepada minimum 1% RH untuk memenuhi permintaan IPC (J-STD-033C), dan sesuai untuk penyimpanan kalis lembapan dan anti-pengoksidaan litar bersepadu dan wafer silikon, komponen optik dan instrumen yang tepat. Semua kabinet diperbuat daripada keluli tahan karat, amat sesuai untuk bilik yang bersih.
Bagi produk yang perlu disimpan sementara semasa proses pengeluaran peranti elektronik, peranti optoelektronik, cip semikonduktor dan peranti lain untuk mengelakkan pengoksidaan, kabinet penyimpanan vakum akan menjadi pilihan yang baik.
Produk Berkaitan:
■ Kabinet Nitrogen Lestari
■ Kabinet Penyimpanan Vakum
Promosi Lekatan / Penyingkiran Organik
Dalam pemprosesan semikonduktor, pembersihan plasma biasanya digunakan untuk menyediakan permukaan wafer sebelum ikatan wayar. Penyingkiran pencemaran (fluks) menguatkan lekatan ikatan, yang membantu memanjangkan kebolehpercayaan dan jangka hayat peranti.
Produk Berkaitan:
■ Mesin Pembersih Plasma Vakum