Semi-automatische snelle thermische verwerkingsoven

De GZ-RTP-SM-12 is een semi-automatisch verticaal snel thermisch verwerkingssysteem. Het systeem gebruikt zichtbare straling met hoge intensiteit om afzonderlijke wafers/monsters van 4 tot 12 inch gedurende korte procesperioden te verwarmen bij nauwkeurig gereguleerde temperaturen. De procesperioden duren doorgaans 1 tot 600 seconden, hoewel perioden tot 9999 seconden kunnen worden geselecteerd. Deze mogelijkheden, in combinatie met het ontwerp van de verwarmingskamer met koude wanden en de superieure verwarmingsuniformiteit, bieden aanzienlijke voordelen ten opzichte van conventionele ovenprocessen.

1. Verwarming met halogeenlampen met hoge intensiteit zichtbare straling voor snelle opwarming.
2. Verstrooid infrarood licht door een speciaal verguld aluminium kameroppervlak
3. Geavanceerd softwarepakket met realtime besturingstechnologieën en vele handige functies.
4. Onder atmosferische of vacuümomstandigheden kan het apparaat worden afgesloten.
5. Standaard twee gasleidingen, uitbreidbaar tot maximaal zes gasleidingen met MFC's en afsluitkleppen.
6. Koelende N2 (of CDA) stroomt rond de lampen en de kwartsisolatiebuis voor snelle koeling.
7. Het apparaat is voorzien van drievoudige veiligheidsmaatregelen: beveiliging tegen het openen van de deur, beveiliging tegen onbedoelde toegang tot de thermostaat en noodstopbeveiliging.
8. Maximale wafergrootte: 12 inch (300*300 mm)

■ Snelle thermische gloeibehandeling (RTA)
■ Oxide-, nitridegroei
■ Arsenitisatieproces
■ Implantaat gloeien
■ Ohmse contactgloeien (III-V en SiC)
■ Snelle thermische oxidatie (RTO)
■ Snelle thermische nitrering (RTN)
■ Selenisatie (CIGS-zonnecellen)
■ CVD van grafeen en h-BN (hexagonaal boornitride)
■ Thermische gloeiing van polymeren enz.