Automatische hoogvacuümoven voor één wafer

2.1 Regelmodus: creëer een zuurstofvrije omgeving door middel van een vacuüm- en stikstofgevulde cyclus, plaats verwarmingselementen op de buitenwand van de oven en verwarm de binnenkant van de oven door stralingsverwarming om het doel van zuurstofvrij en stofvrij bakken te bereiken.

2.2 De kamers worden onafhankelijk aangestuurd en werken onafhankelijk van elkaar.

2.3 Het vacuümsysteem van dit systeem maakt gebruik van een droge scrollpomp;

2.4 Aantal kamers

2.5 Vacuümomstandigheden

1) Beperk vacuüm:1Nou - 10^-4Goed.

2) Vereiste van pompsnelheid: de vacuümgraad van de kamer moet 10 zijn^-4Brood 25minuten

2.6 Verwarmingssysteem en stofvrije klasse

1) Temperatuurbereik: Normale temperatuur +25℃-250℃.

2) Binnen 30 minuten van kamertemperatuur naar 200 ℃;

3) INwatergekoelde koeling, koelsnelheid van 40 minuten of minder van kamertemperatuur tot 60 ℃;

4) nauwkeurigheid van de temperatuurregeling ± 1 ℃, temperatuuruniformiteit ± 2% ℃;

5) Stofvrij: klasse 100;

2.7 Beschermingsmaatregelen: het apparaat geeft in realtime de temperatuur en het vacuüm van elke kamer weer en registreert deze. Het kan historische gegevens opvragen en exporteren, met dien verstande dat de historische gegevens niet ouder zijn dan 30 dagen.

2.8 Softwarefunctie:

1) Kamer voor het openen en sluiten van de deur, verwarming en vacuümfunctieregeling;

2) Met barcode- en holtebindingsprestaties, reactie op de bakgegevens voor binding en opslag;

3) De barcode wordt handmatig ingevoerd of op een later tijdstip via de systeemcommunicatie verzonden;

4) Weergave van de werkstatus van de apparatuur, weergave van alarminformatie;

5) Recepten instellen, oproepen en opslaan, controleren van de temperatuurcurve en temperatuurtijdregistratie, vacuümstatusregistratie, storingsregistratie, bedrijfsregistratie, enz.;

6) hiërarchisch beheer van bevoegdheden (drie niveaus: operator, engineer, administrator)

2.9 Veiligheidsconfiguratie

Algemeen elektrisch en mechanisch veiligheidsontwerp, in overeenstemming met SEMI-normen.

1) In elkaar grijpend

De elektrische doos is voorzien van een mechanisch veiligheidssysteem en de stroom moet worden losgekoppeld voordat de doos wordt geopend.

2) Noodstopschakelaar EMS

De noodstopschakelaar is een paddenstoelvormige drukknop, rood, zwarte letters, gele geleider. Ongeacht de modus moet de noodstopschakelaar prioriteit krijgen. De noodstopstand van dit apparaat houdt in dat de ovendeur opengaat met drukontlasting en de verwarming stopt.

3) Veiligheid

Het openings- en sluitmechanisme van de deur is verborgen in de ovenruimte, waardoor het mechanisme minder zichtbaar is en mechanische risico's worden vermeden. De oppervlaktetemperatuur van de oven is niet hoger dan kamertemperatuur +5 °C en de temperatuur bij de deuropening is niet hoger dan kamertemperatuur +15 °C.

4) Beschermingsmaatregelen

Lekkagebeveiliging, overbelastingsbeveiliging, onafhankelijke oververhittingsbeveiliging, gasdrukdetectie en -alarm, waterdrukdetectie en -alarm, etc.

Het besturingssysteem maakt gebruik van een touchscreen-bedieningspaneel en een programmeerbare controller (PLC). Het kan de centrale, geïntegreerde besturing van alle elektrische componenten realiseren en heeft twee besturingsmodi: handmatig en automatisch.

Het besturingssysteem kan de vacuümgraad en temperatuurinformatie van elke kamer bewaken en regelen, en zorgt voor het automatisch opblazen en leeglopen van elke kamer. Het volledige besturingssysteem is in de hoofdkast geïnstalleerd, wat handig is voor de bediening.

4.1 Vloeroppervlak: geschat 1200*1500*1200(B*H*D)mm

4.2 Voeding: 380V, 50Hz, 9Kw, driefasig vijfaderig;

4.3 Stikstof: inlaat snelkoppeling 10mm, min. 40L/min, gasdruk 0,3-0,5Mpa, zuiverheid 99,999%, schone stikstof bevat geen deeltjes;

4.4 Koud water: doorstroming 20 l/min, kaliber 1/2 inch buitendraad, de afvoer moet soepel zijn zonder dat er druk ontstaat.

4.5 Uitlaatgas: bakkende hete uitlaatgasafvoer, pijpdiameter 60mm;

4.6 Geschat gewicht: 350 kg

4.7 Aarding: beschermende aardingsweerstand van de behuizing ≤ 1Oh

4.8 Lossen: de vraagzijde is verantwoordelijk voor het lossen en de apparatuur is aanwezig om de doos uit te pakken

4.9 Installatieomgeving: schone installatie, klasse 10000, omgevingstemperatuur: 20 ~ 30 ℃, omgevingsvochtigheid: ≤ 85% RV Geen brandbare, explosieve stoffen in de buurt, geen sterke trillingen, geen sterk elektromagnetisch veld, geen hoge concentratie poeder enBijtende stoffen, geen direct zonlicht of andere directe warmtestraling. De apparatuur moet horizontaal worden geplaatst in een goed geventileerde testruimte, met minimaal 1,5 meter ruimte rondom voor onderhoud.

5.1 Technische gegevens: Chinese versie van het gegevensboekje (papieren + elektronische bestanden, inclusief instructiehandleidingen, richtlijnen voor dagelijks onderhoud, elektrische schema's).

5.2 Inspectierapport: fabrieksinspectierapport (papier, inclusief gedetailleerde parameterindicatoren en actuele gegevens)