Vacuümoven
Automatische vacuümoven voor één wafer
Deze compacte bakapparatuur, met een maximale temperatuur van 250 ℃, maakt gebruik van een combinatie van vacuüm en stikstof om zuurstofvrij te bakken en één wafer per stuk te verwerken. Het systeem is geschikt voor kleine series. Typische toepassingen zijn onder andere SOG-gloeien, kopergloeien, aluminiumgloeien, gloeien van low-k diëlektrische materialen en het bakken en drogen van fotolakken.
Hogetemperatuur vacuümoven
Vacuümovens zijn ideaal voor het verwijderen van restwater, oplosmiddelen of andere vluchtige stoffen uit temperatuurgevoelige producten. Het werkingsprincipe is in essentie het verwijderen van ongewenste moleculen door de druk in de oven te verlagen (waardoor een vacuüm ontstaat). Wanneer de druk in de oven de gewenste dampdruk van de verontreinigingen bereikt, verdampen deze moleculen, veranderen in damp en worden ze van alle delen van het product verwijderd. Dit droogproces vindt plaats zonder gebruik van overmatige hitte. Dit maakt vacuümdrogen geschikt voor materialen die beschadigd raken of veranderen bij blootstelling aan hoge temperaturen. Vacuümdrogen minimaliseert ook het risico op kalkaanslag en de vorming van oxidatieresten. Vacuümovens voor hoge temperaturen worden doorgaans gebruikt voor producten die niet hittebestendig en temperatuurgevoelig zijn. Dit type oven wordt veel gebruikt in de halfgeleider-, MEMS- en elektronica-industrie.
Ultra hoge vacuümoven
De vacuümoven is voorzien van direct verwarmde schappen die geprogrammeerd kunnen worden om op te warmen tot 300 °C. De vacuümkamer kan gemakkelijk worden afgebouwd tot 10⁻⁶ Torr, dankzij een turbopomp die wordt ondersteund door een droge scrollpomp (waardoor er geen terugstroming van olie ontstaat). Hoewel de oven zeer snel opwarmt, kan het afkoelproces langzaam verlopen (enkele uren). Om de binnenoppervlakken te beschermen tegen overmatige oxidatie, kan de kamer pas worden geventileerd als de temperatuur van de schappen onder de 100 °C is gedaald. De kamer wordt geventileerd met stikstof. Gedeeltelijke ventilatie is mogelijk als u uw monster volledig wilt laten afkoelen tot omgevingstemperatuur in een stikstofatmosfeer. Er zijn twee schappen van circa 280 mm x 280 mm en twee op maat gemaakte aluminium trays. De oven kan acht wafers van 10 cm tegelijk bakken. Er zijn geen ramen, waardoor lichtgevoelige onderdelen kunnen worden gebakken, mits ze in folie worden gewikkeld voordat ze de kamer ingaan.
Hogetemperatuur vacuümdroogoven
- ● Vacuümdrogen om het vocht en oplosmiddel uit de elektrodematerialen te verwijderen.
- ● Maximale temperatuur 300℃/400℃ is optioneel
- ● Werkvacuümbereik 101 kPa - 1 Pa ● Verkrijgbaar in 3 maten, grote capaciteit
Hogetemperatuur vacuümdroogoven
Grote vacuümdroogoven, ontworpen voor allerlei vacuümdroogdoeleinden.
- ● Maximale temperatuur 250℃
- ● Werkvacuümbereik: 101 kPa - 0,1 kPa
Deze oven is ideaal voor het verwijderen van restwater, oplosmiddelen of andere vluchtige stoffen uit temperatuurgevoelige producten. De vacuümpomp wordt aan de onderkant van de oven gemonteerd om ruimte te besparen, met snelkoppelingen voor de leidingen. Dit type oven wordt veel gebruikt in laboratoria, de halfgeleiderindustrie, MEMS en de elektronicasector.
Hoogvacuüm opslagkast
De 9 kamers worden onafhankelijk van elkaar aangestuurd en delen één vacuümsysteem. Het is geschikt voor alle soorten metalen materialen, anaërobe omstandigheden, chemische grondstoffen, edelmetalen, metaalpoeder en andere vaste stoffen, poeders, pasta's, vloeistoffen en elektronische producten.
- ● Standalone bediening met 9 kamers
- ● Producten tijdelijk opslaan tijdens het productieproces van elektronische apparaten, opto-elektronische apparaten, halfgeleiderchips en andere apparaten om oxidatie te voorkomen.
- ● Minimaal 50 tot 5*10-5 Pa vacuüm
- ● Barcodescanner voor het opslaan van productinformatie