Piekarnik próżniowy
Automatyczny piec próżniowy do pojedynczego wafla
Mały sprzęt do wypieku, maksymalna temperatura 250°C, wykorzystujący połączenie próżni i azotu, aby uzyskać beztlenowy, pojedynczy wypiek wafla, odpowiedni do zastosowań w małych partiach. Typowe zastosowania tego systemu obejmują wyżarzanie SOG, wyżarzanie miedzi, wyżarzanie aluminium, wyżarzanie dielektryczne o niskiej temperaturze k oraz wypalanie fotorezystu, suszenie i tak dalej.
Piekarnik próżniowy wysokotemperaturowy
Piece próżniowe idealnie nadają się do usuwania resztek wody, rozpuszczalników i innych związków lotnych z produktów wrażliwych na temperaturę. Zasada działania polega zasadniczo na usuwaniu niepożądanych cząsteczek poprzez obniżenie ciśnienia w piecu (wytworzenie próżni). Gdy ciśnienie w piecu osiągnie pożądaną prężność par zanieczyszczeń, cząsteczki te odparowują, zamieniają się w parę i są usuwane z całej powierzchni produktu. Suszenie odbywa się bez użycia nadmiernego ciepła. Dzięki temu suszenie próżniowe nadaje się do materiałów, które ulegają uszkodzeniu lub zmianie pod wpływem wysokich temperatur. Suszenie próżniowe minimalizuje również ryzyko osadzania się kamienia i powstawania pozostałości utleniania. Piece próżniowe wysokotemperaturowe są zazwyczaj stosowane do produktów, które nie są odporne na ciepło i są wrażliwe na temperaturę. Ten typ pieca jest szeroko stosowany w przemyśle półprzewodnikowym, MEMS i elektronicznym.
Piekarnik o ultrawysokiej próżni
Piec wysokopróżniowy posiada bezpośrednio podgrzewane półki, które można zaprogramować do nagrzewania do 300°C. Komora wysokopróżniowa może z łatwością obniżyć ciśnienie do 10-6 Torr, pompując powietrze za pomocą pompy turbo, która jest wspomagana przez suchą pompę spiralną (bez obawy o cofanie się oleju). Chociaż nagrzewa się bardzo szybko, proces schładzania może być powolny (kilka godzin). Aby chronić powierzchnie wewnętrzne przed nadmiernym utlenianiem, komorę można odpowietrzyć dopiero po spadku temperatury półek poniżej 100°C. Komora jest odpowietrzana azotem. Częściowe odpowietrzenie jest możliwe, jeśli konieczne jest całkowite schłodzenie próbki do temperatury otoczenia w atmosferze azotu. Komora wyposażona jest w dwie półki o wymiarach około 11" x 11" (280 mm x 280 mm) oraz dwie aluminiowe tace wykonane na zamówienie. Piec może wypiekać jednocześnie osiem płytek o średnicy 4". Komora nie posiada okien, więc elementy wrażliwe na światło mogą być wypiekane pod warunkiem, że zostaną owinięte folią aluminiową przed włożeniem do komory.
Piec do suszenia próżniowego w wysokiej temperaturze
- ● Suszenie próżniowe w celu usunięcia wilgoci i rozpuszczalnika z materiałów elektrodowych.
- ● Maksymalna temperatura 300℃/400℃ jest opcjonalna
- ● Zakres podciśnienia roboczego 101 kPa - 1 Pa● Dostępne w 3 rozmiarach, duża pojemność
Piec do suszenia próżniowego w wysokiej temperaturze
Duży piec próżniowy przeznaczony do wszelkiego rodzaju suszenia próżniowego.
- ● Maksymalna temperatura 250℃
- ● Zakres podciśnienia roboczego 101 kPa -0,1 kPa
Ten piec idealnie nadaje się do usuwania resztek wody, rozpuszczalników i innych związków lotnych z produktów wrażliwych na temperaturę. Pompa próżniowa jest zamontowana w dolnej części pieca, co pozwala zaoszczędzić miejsce dzięki szybkozłączu kołnierzowemu. Ten typ pieca jest szeroko stosowany w laboratoriach, w przemyśle półprzewodnikowym, MEMS i elektronicznym.
Szafa do przechowywania w warunkach wysokiej próżni
Dziewięć komór jest niezależnie sterowanych i współpracuje z jednym systemem próżniowym. Nadaje się do wszystkich rodzajów materiałów metalowych, beztlenowych, surowców chemicznych, metali szlachetnych, proszków metalowych i innych produktów stałych, proszkowych, past, płynnych i elektronicznych.
- ● 9-komorowa, samodzielna kontrola
- ● Tymczasowe przechowywanie produktów podczas procesu produkcji urządzeń elektronicznych, urządzeń optoelektronicznych, układów scalonych półprzewodnikowych i innych urządzeń w celu zapobiegania utlenianiu
- ● Podciśnienie min. 50 do 5*10-5Pa
- ● Skaner kodów kreskowych do przechowywania informacji o produktach