Forno automático de alto vácuo para wafer único

2.1 Modo de controle: cria-se um ambiente livre de oxigênio por meio de ciclo de vácuo e preenchimento com nitrogênio, e os componentes de aquecimento são dispostos na parede externa do forno, enquanto o interior do forno é aquecido por radiação, atingindo o objetivo de assar em um ambiente livre de oxigênio e poeira.

2.2 As câmaras são controladas e funcionam de forma independente.

2.3 O sistema de vácuo deste sistema adota uma bomba de espiral seca;

2.4 Número de câmaras

2.5 Condições de vácuo

1) Limitar o vácuo:1Bem - 10^-4Bem.

2) Requisito de velocidade de bombeamento: o grau de vácuo da câmara deve ser de 10^-4Pão 25min.

2.6 Sistema de aquecimento e classificação livre de poeira

1) Faixa de temperatura: Temperatura normal +25℃-250℃.

2) Em 30 minutos, da temperatura ambiente até 200 ℃;

3) EMresfriamento por água, taxa de resfriamento de 40 minutos ou menos da temperatura ambiente até 60 ℃;

4) Precisão do controle de temperatura ± 1 ℃, uniformidade da temperatura ± 2% ℃;

5) Grau de ausência de poeira: Classe 100;

2.7 Medidas de proteção: o dispositivo exibe e registra em tempo real a temperatura e o vácuo de cada câmara, e pode consultar dados históricos e exportar dados, sendo que os dados históricos devem ter no mínimo 30 dias;

2.8 Função do software:

1) Câmara para abertura e fechamento da porta, controle das funções de aquecimento e vácuo;

2) Com desempenho de vinculação de código de barras e cavidade, resposta aos dados de cozimento para vinculação e armazenamento;

3) O código de barras é inserido manualmente ou enviado pela comunicação do sistema em um estágio posterior;

4) Exibição do status de funcionamento do equipamento, exibição de informações de alarme;

5) Configuração, chamada e armazenamento de receitas, verificação da curva de temperatura e registro de tempo de temperatura, registro de status de vácuo, registro de falhas, registro de operação, etc.;

6) gestão hierárquica de autoridade (três níveis: operador, engenheiro, administrador)

2.9 Configuração de segurança

Projeto geral de segurança elétrica e mecânica, em conformidade com as normas SEMI.

1) Intertravamento

A caixa elétrica adota um design de segurança com ligação mecânica, sendo necessário desligar a energia antes de abrir a caixa.

2) Botão de Parada de Emergência EMS

O botão de parada de emergência é um interruptor de pressão em formato de cogumelo, com letras vermelhas e pretas e anel guia amarelo. Independentemente do modo de operação, a prioridade deve ser dada ao botão de parada de emergência. A parada de emergência deste equipamento ocorre quando a porta do forno se abre com alívio de pressão e o aquecimento é interrompido.

3) Segurança

O mecanismo de abertura e fechamento da porta fica oculto dentro da cavidade do forno, reduzindo a exposição dos componentes e evitando riscos mecânicos. A temperatura da superfície do forno não ultrapassa 5 °C a mais que a temperatura ambiente, e a temperatura na fresta da porta não ultrapassa 15 °C a mais que a temperatura ambiente.

4) Medidas de proteção

Proteção contra vazamentos, proteção contra sobrecarga, proteção independente contra superaquecimento, sensor e alarme de pressão de gás, sensor e alarme de pressão de água, etc.

O sistema de controle adota um painel de controle com tela sensível ao toque e um controlador lógico programável (CLP). Ele permite o controle centralizado e integrado de todos os componentes elétricos e possui dois modos de controle: manual e automático.

O sistema de controle permite o monitoramento e controle do nível de vácuo e da temperatura de cada câmara, além de realizar o enchimento e esvaziamento automático de cada uma delas. Todo o sistema de controle está instalado no painel principal, o que facilita a operação.

4.1 Área útil: estimada em 1200*1500*1200 (L*A*P) mm

4.2 Alimentação: 380V, 50Hz, 9Kw, trifásica de cinco fios;

4.3 Nitrogênio: conector rápido de entrada de 10 mm, mín. 40 L/min, pressão do gás de 0,3 a 0,5 MPa, pureza de 99,999%, nitrogênio limpo não contém partículas;

4.4 Água fria: vazão de 20 L/min, diâmetro externo do fio de 1/2 polegada, a drenagem deve ser suave e sem descarga sob pressão.

4.5 Gases de escape: gases de escape extremamente quentes, diâmetro do tubo 60mm;

4.6 Estimativa de peso: 350 kg

4.7 Aterramento: resistência de aterramento de proteção da carcaça ≤ 1Oh

4.8 Descarregamento: o lado da demanda é responsável pelo descarregamento e pelo equipamento necessário para desembalar a caixa.

4,9 Ambiente de instalação: fábrica limpa, classe de limpeza 10000, temperatura ambiente: 20 ~ 30 ℃, umidade ambiente: ≤ 85% de umidade relativa. Ausência de substâncias inflamáveis ​​ou explosivas nas proximidades, sem vibrações intensas, sem campos eletromagnéticos fortes e sem alta concentração de pó.O equipamento deve ser mantido longe de substâncias corrosivas, da luz solar direta ou de outras radiações de calor diretas. Deve ser colocado na horizontal em uma sala de testes bem ventilada, deixando pelo menos 1,5 metros de espaço ao redor para manutenção.

5.1 Dados técnicos: Versão em chinês do folheto de dados (impresso + arquivos eletrônicos, incluindo manuais de instruções, diretrizes de manutenção diária e diagramas esquemáticos elétricos).

5.2 Relatório de inspeção: relatório de inspeção de fábrica (em papel, incluindo indicadores de parâmetros detalhados e dados reais)