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Forno de ultra alto vácuo
Forno a vácuo

Forno de ultra alto vácuo

A estufa de alto vácuo possui prateleiras com aquecimento direto que podem ser programadas para aquecer até 300 °C. A câmara de alto vácuo pode facilmente atingir 10⁻⁶ Torr, graças a uma bomba turboalimentada com o auxílio de uma bomba de vácuo de espiral seca (sem risco de refluxo de óleo). Embora o aquecimento seja muito rápido, o processo de resfriamento pode ser lento (várias horas). Para preservar as superfícies internas da oxidação excessiva, a câmara só pode ser ventilada quando a temperatura das prateleiras cair abaixo de 100 °C. A ventilação da câmara é feita com nitrogênio. Uma ventilação parcial é possível caso seja necessário permitir que a amostra esfrie completamente até a temperatura ambiente em atmosfera de nitrogênio. Há duas prateleiras de aproximadamente 280 mm x 280 mm (11" x 11") e duas bandejas de alumínio feitas sob medida. A estufa comporta oito wafers de 10 cm (4") por vez. Não há janelas, portanto, peças fotossensíveis podem ser aquecidas, desde que sejam embrulhadas em papel alumínio antes de entrarem na câmara.

    Característicasproduto

    ● Secagem de revestimentos poliméricos sensíveis a oxigênio ou vapor de água em ambiente de vácuo
    ●Remoção de películas metálicas por aquecimento sem oxidar a superfície
    ●Recozimento de contatos metálicos a baixa temperatura em alto vácuo
    ● Secagem dos materiais para remover a umidade
    ●Remoção do vapor de água adsorvido das superfícies do wafer
    ● Poliimida totalmente reticulada sob vácuo
    ●Conjuntos de cozimento que serão utilizados em outras estações de vácuo
    ●Refusão de solda flip chip

    Parâmetros do produtoproduto

    Apresentações

     

     

     

    Modelo

    GZ-BDT-VC-01

    Faixa de temperatura

    40-300ºC

    Faixa de pressão

    10-6Torre

    Tempo para atingir a temperatura máxima

    Cerca de 20 a 30 minutos

    Forma

     

     

     

     

     

    Precisão da regulação de temperatura

    ±1ºC

    Material interno

    Soldagem a arco de argônio completo em chapa de aço inoxidável de 1,5 mm

    Material externo

    Chapa laminada a frio com revestimento resistente a medicamentos na superfície.

    Material resistente ao calor

    Fibra de vidro

    Método de aquecimento

    Aquecimento direto da parede do tanque de pressão

    Potência Total

    8,5 kW

    Método de controle

     

     

     

     

     

     

     

    Operação e Status do Programa

    Controle por tela sensível ao toque LCD de 7 polegadas

    Método de controle de temperatura

    Algoritmo PID multissegmentado, precisão de controle de temperatura de ±0,1ºC

    Método de ajuste de temperatura

    Configuração digital utilizando teclas de menu de função dedicadas e teclas para cima/para baixo.

    Função Operacional

    Operação com valor fixo, operação programada, operação com parada automática, operação com partida automática

    Modo de Programação

    Personalizável mediante solicitação.

    Recurso adicional

    Função de correção de desvio, função de bloqueio de teclas, função de compensação de falha de energia

    Controle do circuito de aquecimento

    Motorista SSR + PIH

    Sensor

    Termopar PT100

    Equipamentos de segurança

    Circuito de autodiagnóstico (anormalidade na detecção de temperatura, desconexão do aquecedor, prevenção automática de sobretensão, curto-circuito no SSR). Prevenção de sobretensão, interruptor de proteção contra fuga de corrente e função de bloqueio de teclas.

    Tamanhos

     

     

    Dimensões internas (A*L*P/mm)

    320*320*320mm, tamanho da prateleira (280*280)mm

    Corrente de potência

    AC380V 23A (50Hz/60Hz)

    Peso

    Aproximadamente 426 kg

    Serviçoproduto

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