Cuptor semiautomat de procesare termică rapidă

GZ-RTP-SM-12 este un sistem semiautomat de procesare termică rapidă verticală. Sistemul utilizează radiații vizibile de înaltă intensitate pentru a încălzi napolitane/specimene individuale de 4-12 inch pentru perioade scurte de procesare la temperaturi controlate cu precizie. Perioadele de procesare au de obicei o durată de 1-600 de secunde, deși pot fi selectate perioade de până la 9999 de secunde. Aceste capacități, combinate cu designul cu pereți reci al camerei de încălzire și uniformitatea superioară a încălzirii, oferă avantaje semnificative față de procesarea convențională în cuptor.

1. Încălzire cu lămpi cu halogen de înaltă intensitate cu radiații vizibile pentru rate rapide de încălzire
2. Lumină IR împrăștiată de suprafața specială a camerei din aluminiu placat cu aur
3. Pachet software avansat cu tehnologii de control în timp real și multe funcții utile
4. Condițiile atmosferice sau de vid sunt închise
5. Două conducte de gaz standard, pot fi extinse până la șase conducte de gaz cu MFC-uri și robinete de închidere
6. Răcirea cu N2 (sau CDA) curge în jurul lămpilor și a tubului de izolare cu cuarț pentru rate rapide de răcire
7. Adoptă triple măsuri de siguranță: protecție la deschiderea ușii, protecție la autoritatea de deschidere a termostatului și protecție la oprirea de urgență pentru a asigura siguranța instrumentului.
8. Placă maximă de 12 inci (300 * 300 mm)

■ Recoacere termică rapidă (RTA)
■ Creștere cu oxid, nitrură
■ Procesul de arsenitizare
■ Recoacere implant
■ Recoacere prin contact ohmic (III-V și SiC)
■ Oxidare termică rapidă (RTO)
■ Nitrurare termică rapidă (RTN)
■ Selenizare (celule solare CIGS)
■ Depunerea chimică în stadiu incipient (CVD) a grafenului și h-BN (nitrură de bor hexagonală)
■ Recoacerea termică a polimerilor etc.