
Cuptor automat cu vid înalt, cu o singură napolitană
Echipamente mici de coacere, cu o temperatură maximă de 250 ℃, care utilizează funcția de vid și azot combinate pentru a crea o napolitană fără oxigen, coacere unică, potrivită pentru aplicații în loturi mici. Aplicațiile tipice pentru acest sistem includ recoacerea SOG, recoacerea cuprului, recoacerea aluminiului, recoacerea dielectrică low-k și coacerea cu fotorezist, uscarea și așa mai departe.
Scurtă introducereprodus
Echipamente mici de coacere, cu o temperatură maximă de 250 ℃, care utilizează funcția de vid și azot combinate pentru a crea o singură bucată de napolitană fără oxigen, potrivită pentru aplicații în loturi mici. Aplicațiile tipice pentru acest sistem includ recoacerea SOG, recoacerea cuprului, recoacerea aluminiului, recoacerea dielectrică cu k scăzut și coacerea fotorezistentului., uscare și așa mai departe.
● Compatibil cu controale de vid și de mediu
● Interval de vid de funcționare 1Ei bine - 10-4Pa, vid maxim 10-5bine.
● O2 rezidual scăzut (
● Intervalul temperaturii de funcționare: temperatura camerei +25°C - 250°C.
● Operare ușoară, operare cu valoare fixă, operare cu program, operare cu oprire automată rapidă, operare cu oprire automată, operare cu pornire automată.
● Controlul temperaturii este un instrument cu ecran tactil în mod PID, tip punct unic sau control al temperaturii prin program, poate fi calculat automat și poate afișa PV/SV în același timp, setare tactilă punctuală, cu funcție de memorie (de exemplu, temperatură, timp).
● Programele complexe pot fi executate în funcție de cerințele tehnice.
● Cu circuit de autodiagnosticare (anomalie de detectare a temperaturii, deconectare a încălzitorului, prevenire automată a supratensiunilor, scurtcircuit SSR), prevenitor de supratensiune, comutator de protecție împotriva scurgerilor pentru a preveni supracurentul, blocare cu cheie și alte funcții de siguranță.
● Modul de control al vidului controlează automat, se atinge gradul de vid pentru a opri aspirarea, sub limita inferioară a pornirii automate, astfel încât ciclul de lucru, timpul de temperatură constantă este finalizat, oprirea funcționării; presiune manuală fără umflare sau umplere cu azot.

Configurația de bază și principiul de funcționare al sistemuluiprodus
2.1 Mod de control: creați un mediu fără oxigen prin aspirare și ciclu de umplere cu azot, aranjați componentele de încălzire pe peretele exterior al cuptorului și încălziți interiorul cuptorului prin încălzire radiantă pentru a atinge scopul coacerii fără oxigen și praf.
2.2 Camerele sunt controlate independent și funcționează independent.
2.3 Sistemul de vid al acestui sistem adoptă o pompă cu spirală uscată;
2.4 Numărul de camere
| Componentă | Specificații | Cantitate |
| Cameră de vid | Dimensiune de lucru:Lățime 400 mm * Înălțime 60 mm * Amplitudine 400 mm | 1 |
2.5 Condiții de vid
1) Vid limită:1Ei bine - 10-4Bine.
2) Cerință privind viteza de pompare: gradul de vid al camerei trebuie să fie 10-4Pa in 25min.
2.6 Sistem de încălzire și grad fără praf
1) Interval de temperatură: Temperatură normală +25℃-250℃.
2) În termen de 30 de minute de la temperatura camerei la 200 ℃;
3) ÎNrăcire cu apă, viteză de răcire de 40 de minute sau mai puțin de la temperatura camerei până la 60 ℃;
4) precizia controlului temperaturii ± 1 ℃, uniformitatea temperaturii ± 2% ℃;
5) Grad fără praf: Clasa 100;
2.7 Măsuri de protecție: dispozitivul afișează și înregistrează în timp real temperatura și vidul fiecărei camere și poate interoga date istorice și exporta date, date istorice de cel puțin 30 de zile;
2.8 Funcția software-ului:
1) Cameră pentru deschiderea și închiderea ușii, controlul funcției de încălzire și vid;
2) Cu performanță de legare a codurilor de bare și a cavității, răspuns la datele de coacere pentru legare și depozitare;
3) Codul de bare este introdus manual sau trimis prin sistemul de comunicare într-o etapă ulterioară;
4) Afișajul stării de funcționare a echipamentului, afișajul informațiilor de alarmă;
5) Setarea rețetei, apelarea și stocarea, verificarea curbei de temperatură și a înregistrării timpului de temperatură, înregistrarea stării vidului, înregistrarea defecțiunilor, înregistrarea funcționării etc.;
6) management ierarhic al autorității (trei niveluri: operator, inginer, administrator)
2.9 Configurație de siguranță
Proiectare generală de siguranță electrică și mecanică, în conformitate cu standardele SEMI.
1) Interblocare
Cutia electrică adoptă un design de siguranță mecanic pentru legături, iar alimentarea trebuie deconectată înainte de deschiderea cutiei.
2) Comutator de oprire de urgență EMS
Comutatorul de oprire de urgență este un comutator prin presare în formă de ciupercă, roșu, cu font negru, inel de ghidare galben; indiferent de modul de funcționare, comutatorul de oprire de urgență trebuie prioritizat. Starea de oprire de urgență a acestui echipament este aceea în care cuptorul deschide ușa cu eliberare de presiune, iar încălzirea se oprește.
3) Siguranță
Mecanismul de deschidere și închidere a ușii este ascuns în interiorul cavității cuptorului, reducând expunerea mecanismului pentru a evita riscurile mecanice. Temperatura suprafeței cuptorului nu trebuie să depășească temperatura camerei +5℃, iar temperatura la deschiderea ușii nu trebuie să depășească temperatura camerei +15℃.
4) Măsuri de protecție
Protecție la scurgeri, protecție la suprasarcină, protecție independentă la supraîncărcare, detectare și alarmă a presiunii gazului, detectare și alarmă a presiunii apei etc.
Sistem de controlprodus
Sistemul de control adoptă un panou de control cu ecran tactil și un controler programabil (PLC). Acesta poate realiza controlul central integrat al tuturor componentelor electrice și are două moduri de control: manual și automat.
Sistemul de control poate realiza monitorizarea și controlul informațiilor privind gradul de vid și temperatura fiecărei camere și poate realiza umflarea și dezumflarea automată a fiecărei camere. Întregul sistem de control este instalat în dulapul principal, ceea ce este convenabil pentru operare.
Condiții de instalare a echipamentuluiprodus
4.1 Suprafață la sol: estimată 1200*1500*1200 (L*Î*A) mm
4.2 Alimentare: 380V, 50Hz, 9Kw, trifazat cu cinci fire;
4.3 Azot: racord rapid de intrare 10 mm, min. 40 L/min, presiune gaz 0,3-0,5 MPa, puritate 99,999%, azotul curat nu conține particule;
4.4 Apă rece: debit 20L/min, calibru sârmă exterioară de 1/2 inch, drenajul trebuie să fie lin, fără descărcare de presiune.
4.5 Gaze de eșapament: gaze de eșapament fierbinți, diametrul țevii 60 mm;
4.6 Greutate estimată: 350 kg
4.7 Împământare: rezistența de împământare a carcasei de protecție ≤ 1Oh
4.8 Descărcare: partea de cerere este responsabilă pentru descărcare și pentru instalarea echipamentelor pentru despachetarea cutiei.
4.9 Mediu de instalare: instalație curată, grad curat, Clasa 10000, temperatură ambiantă: 20 ~ 30 ℃, umiditate ambientală: ≤ 85% RH Fără substanțe inflamabile sau explozive în jur, fără vibrații puternice, fără câmp electromagnetic puternic, fără concentrații mari de pulbere.ferit de substanțe corozive, fără expunere directă la lumina soarelui sau alte radiații termice directe. Echipamentul trebuie amplasat orizontal într-o cameră de testare bine ventilată, lăsând cel puțin 1,5 metri spațiu în jur pentru întreținere.
Informații tehniceprodus
5.1 Date tehnice: Versiunea în limba chineză a broșurii de date (fișiere pe hârtie + electronice, inclusiv manuale de instrucțiuni, instrucțiuni de întreținere zilnică, scheme electrice).
5.2 Raport de inspecție: raport de inspecție a fabricii (pe hârtie, inclusiv indicatori de parametri detaliați și date reale)
Serviciuprodus
GMS Industrial are o echipă de marketing, vânzări, servicii tehnice și o rețea pentru a oferi clienților și distribuitorilor servicii complete pre-vânzare, în timpul vânzării și post-vânzare. Ne puteți contacta dacă aveți întrebări sau cerințe.
Online 24 de ore. Mesajele vor primi un răspuns imediat ce sunt primite.
