Cuptor automat cu vid înalt, cu o singură napolitană
Echipamente mici de coacere, cu o temperatură maximă de 250 ℃, care utilizează funcția de vid și azot combinate pentru a crea o napolitană fără oxigen, coacere unică, potrivită pentru aplicații în loturi mici. Aplicațiile tipice pentru acest sistem includ recoacerea SOG, recoacerea cuprului, recoacerea aluminiului, recoacerea dielectrică low-k și coacerea cu fotorezist, uscarea și așa mai departe.
Cuptor cu vid la temperatură înaltă
Cuptoarele cu vid sunt ideale pentru îndepărtarea apei reziduale, a solvenților sau a altor compuși volatili din produsele sensibile la temperatură. Principiul de funcționare, în esență, este de a îndepărta moleculele nedorite prin scăderea presiunii din cuptor (crearea unui vid). Când presiunea cuptorului atinge presiunea de vapori dorită a contaminanților, aceste molecule de contaminanți se evaporă, se transformă în vapori și sunt îndepărtate din toate zonele produsului. Această uscare se realizează fără utilizarea căldurii excesive. Acest lucru face ca uscarea în vid să fie potrivită pentru materialele care se deteriorează sau se modifică dacă sunt expuse la temperaturi ridicate. Uscarea în vid minimizează, de asemenea, riscul de depunere a crustei și formarea reziduurilor de oxidare. Cuptoarele cu vid la temperatură înaltă sunt de obicei utilizate pentru produse care nu sunt rezistente la căldură și sunt sensibile la temperatură. Acest tip de cuptor este utilizat pe scară largă în domeniul semiconductorilor, MEMS și electronicii.
Cuptor cu vid ultra-înalt
Cuptorul cu vid înalt dispune de rafturi încălzite direct, care pot fi programate să se încălzească până la 300°C. Camera de vid înalt poate pompa cu ușurință până la 10-6 Torr, pompată de o pompă turbo care este susținută de o pompă scroll uscată (fără a vă face griji pentru refluxul de ulei). Deși se încălzește foarte rapid, procesul de răcire poate fi lent (câteva ore). Pentru a proteja suprafețele interioare de oxidarea excesivă, camera poate fi ventilată doar după ce rafturile au scăzut sub 100°C. Camera este ventilată cu azot. O ventilație parțială este posibilă dacă trebuie să permiteți probei să se răcească complet la temperatura ambiantă în timp ce se află într-o atmosferă de azot. Există două rafturi de aproximativ 280 mm x 280 mm și două tăvi de aluminiu personalizate. Poate coace opt napolitane de 10 cm simultan. Nu există ferestre, așa că piesele sensibile la lumină pot fi coapte atâta timp cât sunt învelite în folie în drum spre cameră.
Cuptor de uscare în vid la temperatură înaltă
- ● Uscare în vid pentru a îndepărta umezeala și solventul din materialele electrozilor.
- ● Temperatura maximă 300℃/400℃ este opțională
- ● Interval de vid de funcționare 101kPa -1Pa● Disponibil în 3 dimensiuni, capacitate mare
Cuptor de uscare în vid la temperatură înaltă
Cuptor mare de uscare în vid, conceput pentru toate tipurile de scopuri de uscare în vid.
- ● Temperatură maximă 250℃
- ● Interval de vid de funcționare 101kPa -0.1kPa
Acest cuptor este ideal pentru îndepărtarea apei reziduale, a solvenților sau a altor compuși volatili din produsele sensibile la temperatură. Pompa de vid va fi instalată în partea inferioară a cuptorului pentru a economisi spațiu de instalare, cu ajutorul flanșelor de conectare rapidă. Acest tip de cuptor este utilizat pe scară largă în laboratoare, în domeniul semiconductorilor, MEMS și electronic.
Dulap de depozitare în vid înalt
Cele 9 camere sunt controlate independent și folosesc același sistem de vid. Este potrivit pentru toate tipurile de materiale metalice, anaerobe, anaerobe, materii prime chimice, metale prețioase, pulberi metalice și alte produse solide, pulberi, paste, lichide și electronice.
- ● Control independent cu 9 camere
- ● Depozitați temporar produsele în timpul procesului de producție a dispozitivelor electronice, a dispozitivelor optoelectronice, a cipurilor semiconductoare și a altor dispozitive pentru a preveni oxidarea.
- ● Vid de la min. 50 la 5*10-5Pa
- ● Scaner de coduri de bare pentru stocarea informațiilor despre produs

