Полуавтоматическая печь для быстрой термической обработки

GZ-RTP-SM-12 — это полуавтоматическая вертикальная система быстрой термической обработки. Система использует высокоинтенсивное видимое излучение для нагрева отдельных пластин/образцов размером 4–12 дюймов в течение коротких периодов времени при точно контролируемой температуре. Продолжительность обработки обычно составляет от 1 до 600 секунд, хотя можно выбрать периоды до 9999 секунд. Эти возможности в сочетании с конструкцией нагревательной камеры с холодными стенками и превосходной равномерностью нагрева обеспечивают значительные преимущества по сравнению с традиционной обработкой в ​​печах.

1. Нагрев с помощью галогенной лампы с высокоинтенсивным видимым излучением для обеспечения высокой скорости нагрева.
2. Рассеивание ИК-излучения специальной поверхностью камеры из алюминия с золотым покрытием.
3. Усовершенствованный программный пакет с технологиями управления в реальном времени и множеством полезных функций.
4. Атмосфера или вакуум могут быть замкнуты.
5. Стандартная комплектация включает две газовые линии, с возможностью расширения до шести газовых линий при использовании MFC и запорных клапанов.
6. Охлаждающий азот (или CDA) циркулирует вокруг ламп и кварцевой изолирующей трубки для обеспечения высокой скорости охлаждения.
7. Для обеспечения безопасности прибора применяется тройная система мер безопасности: защита от открытия двери, защита от срабатывания термостата и защита от аварийной остановки.
8. Максимальный размер пластины: 12 дюймов (300*300 мм)

■ Быстрый термический отжиг (RTA)
■ Рост оксидов и нитридов
■ Процесс арсенитизации
■ Отжиг имплантатов
■ Отжиг омических контактов (III-V и SiC)
■ Быстрое термическое окисление (RTO)
■ Быстрое термическое нитрование (RTN)
■ Селенизация (солнечные элементы CIGS)
■ Получение графена и h-BN (гексагонального нитрида бора) методом химического осаждения из газовой фазы (CVD)
■ Термический отжиг полимеров и т. д.