Leave Your Message
Полуавтоматическая печь для быстрой термической обработки
Быстрый термический процесс
Категории продуктов
Рекомендуемые продукты

Полуавтоматическая печь для быстрой термической обработки

GZ-RTP-SM-12 — это полуавтоматическая вертикальная система быстрой термообработки, применяемая для нагрева отдельных пластин размером 4–12 дюймов.
Макс. температура 1250℃
Макс. 4 газовые линии

    ФУНКЦИИпродукт

    GZ-RTP-SM-12 — это полуавтоматическая вертикальная система быстрой термической обработки. Система использует высокоинтенсивное видимое излучение для нагрева отдельных пластин/образцов размером 4–12 дюймов в течение коротких периодов времени при точно контролируемой температуре. Продолжительность периодов обработки обычно составляет от 1 до 600 секунд, но может быть выбрана длительностью до 9999 секунд. Эти возможности в сочетании с конструкцией нагревательной камеры с холодными стенками и превосходной равномерностью нагрева обеспечивают значительные преимущества по сравнению с традиционной обработкой в ​​печи.

    1. Высокоинтенсивное видимое излучение галогенной лампы для нагрева с высокой скоростью нагрева
    2. Рассеянный ИК-свет специальной позолоченной алюминиевой поверхностью камеры
    3. Расширенный пакет программного обеспечения с технологиями управления в реальном времени и множеством полезных функций
    4.Атмосферные или вакуумные условия могут быть закрыты.
    5. Стандартно две газовые линии, можно расширить до шести линий с помощью МФК и запорных клапанов.
    6. Охлаждающий N2 (или CDA) протекает вокруг ламп и кварцевой изоляционной трубки, обеспечивая высокую скорость охлаждения.
    7. Применяет тройную меру безопасности: защиту от открывания двери, защиту от открывания термостата и защиту от аварийной остановки для обеспечения безопасности прибора.
    8. Макс. 12-дюймовая пластина (300*300 мм)

    Параметрыпродукт

    Модель

    ГЗ-РТП-СМ-12

    Макс. размер продукта

    12-дюймовая пластина, 300*300 мм

    Размер оборудования

    Д1050мм×Ш1680мм×В2080мм

    Диапазон температур

    RT~~800℃(термопары)

    800℃~1250℃(инфракрасный пирометр)

    Повышение температуры

    100℃/с для пластины

    20 ℃/с для дисков-носителей из карбида кремния

    Равномерность температуры

    ±1%

    Точность контроля температуры

    ±2℃

    Время нагрева

    Согласно программе

    Печь

    Специальная позолоченная поверхность камеры из алюминия

    Вакуумная камера

    Камера из кварца высокой чистоты

    Кронштейн

    Кварцевый кронштейн

    ПК

    12,5-дюймовый ПК с программным обеспечением

    Обогреватель

    Галогенные лампы

    МФЦ

    GN2/PN2 (с возможностью расширения до 4 газовых линий)

    Параметрыпродукт

    Чиллеры15н
    Чиллеры
    Вакуумные насосыjqk
    Вакуумные насосы
    Вакуумный калибр
    Вакуумметр
    MFC0wy
    МФЦ
    Пирометрhf3
    Пирометр

    Приложенияпродукт

    ■ Быстрый термический отжиг (БТО)
    ■ Рост оксидов и нитридов
    ■ Процесс арсенитизации
    ■ Отжиг имплантатов
    ■ Отжиг омических контактов (III-V и SiC)
    ■ Быстрое термическое окисление (RTO)
    ■ Быстрое термическое нитрирование (БТН)
    ■ Селенизация (солнечные элементы CIGS)
    ■ CVD графена и h-BN (гексагонального нитрида бора)
    ■ Термический отжиг полимеров и т.д.

    Настройкапродукт

    GMS может обеспечить различные уровни однородности, размера, диапазона температур, вакуума и автоматических функций; если у вас есть особые допуски или спецификации, которые необходимо соблюсти, свяжитесь с нами и сообщите о ваших требованиях, чтобы мы могли гарантировать, что оборудование будет спроектировано, испытано и настроено в соответствии с этими требованиями.

    Настройкагах

    Услугапродукт

    GMS Industrial располагает отделами маркетинга, продаж, технического обслуживания и сетевого взаимодействия, которые предоставляют клиентам и дилерам комплексное предпродажное, сервисное и послепродажное обслуживание. Свяжитесь с нами, если у вас есть вопросы или предложения.
    Круглосуточно онлайн. Ответы на сообщения будут отправлены сразу после получения.

    запрос сейчас