Полуавтоматическая печь для быстрой термической обработки

GZ-RTP-SM-12 — это полуавтоматическая вертикальная система быстрой термической обработки. Система использует высокоинтенсивное видимое излучение для нагрева отдельных пластин/образцов размером 4–12 дюймов в течение коротких периодов времени при точно контролируемой температуре. Продолжительность периодов обработки обычно составляет от 1 до 600 секунд, но может быть выбрана длительностью до 9999 секунд. Эти возможности в сочетании с конструкцией нагревательной камеры с холодными стенками и превосходной равномерностью нагрева обеспечивают значительные преимущества по сравнению с традиционной обработкой в ​​печи.

1. Высокоинтенсивное видимое излучение галогенной лампы для нагрева с высокой скоростью нагрева
2. Рассеянный ИК-свет специальной позолоченной алюминиевой поверхностью камеры
3. Расширенный пакет программного обеспечения с технологиями управления в реальном времени и множеством полезных функций
4.Атмосферные или вакуумные условия могут быть закрыты.
5. Стандартно две газовые линии, можно расширить до шести линий с помощью МФК и запорных клапанов.
6. Охлаждающий N2 (или CDA) протекает вокруг ламп и кварцевой изоляционной трубки, обеспечивая высокую скорость охлаждения.
7. Применяет тройную меру безопасности: защиту от открывания двери, защиту от открывания термостата и защиту от аварийной остановки для обеспечения безопасности прибора.
8. Макс. 12-дюймовая пластина (300*300 мм)

■ Быстрый термический отжиг (БТО)
■ Рост оксидов и нитридов
■ Процесс арсенитизации
■ Отжиг имплантатов
■ Отжиг омических контактов (III-V и SiC)
■ Быстрое термическое окисление (RTO)
■ Быстрое термическое нитрирование (БТН)
■ Селенизация (солнечные элементы CIGS)
■ CVD графена и h-BN (гексагонального нитрида бора)
■ Термический отжиг полимеров и т.д.