
Автоматическая вакуумная печь для приготовления одной вафли
Небольшое оборудование для запекания, максимальная температура 250 ℃, использующее вакуум и азот для создания бескислородной среды при запекании отдельных пластин, подходит для мелкосерийного производства. Типичные области применения этой системы включают отжиг SOG, отжиг меди, отжиг алюминия, отжиг низкодиэлектрических материалов, а также запекание и сушку фоторезистов и т.д.
Краткое введениепродукт
Небольшое оборудование для запекания, максимальная температура 250 ℃, использующее вакуум и азот для создания бескислородной среды при однократном запекании пластин, подходит для мелкосерийного производства. Типичные области применения этой системы включают отжиг SOG, отжиг меди, отжиг алюминия, отжиг низкодиэлектрических материалов и запекание фоторезиста.сушка и так далее.
● Совместимые системы вакуумной очистки и контроля микроклимата.
● Диапазон рабочего вакуума 1Ну что ж - 10-4Па, лучший пылесос 10-5хорошо.
● Низкий остаточный уровень кислорода (
● Диапазон рабочих температур: комнатная температура +25°C -250°C.
● Простота в управлении, управление с фиксированным значением, программирование, быстрая автоматическая остановка, автоматическая остановка, автоматический запуск.
● Система управления температурой представляет собой сенсорный прибор с ПИД-регулятором, позволяющий осуществлять одноточечное или программное регулирование температуры, с возможностью автоматического расчета и одновременным отображением PV/SV, точечными настройками и функцией памяти (например, для температуры и времени).
● Сложные программы могут выполняться в соответствии с техническими требованиями.
● Оснащен схемой самодиагностики (обнаружение отклонений в показаниях датчика температуры, отключение нагревателя, автоматическая защита от перегрева, защита от короткого замыкания твердотельного реле), устройством защиты от перегрева, выключателем защиты от утечки тока, блокировкой ключом и другими функциями безопасности.
● Режим управления вакуумом: автоматическое управление, достижение необходимой степени вакуумирования прекращает работу; при снижении уровня вакуума ниже нижнего предела автоматический запуск, цикл работы завершается, время поддержания постоянной температуры завершается, работа прекращается; ручное нагнетание воздуха или заполнение азотом.

Базовая конфигурация и принцип работы системыпродукт
2.1 Режим управления: создание бескислородной среды путем вакуумирования и заполнения азотом, размещение нагревательных элементов на внешней стенке печи и нагрев внутренней части печи лучистым нагревом для достижения цели выпечки в бескислородной и беспыльной среде.
2.2 Камеры управляются и работают независимо друг от друга.
2.3 В вакуумной системе данной системы используется сухой спиральный насос;
2.4 Количество камер
| Компонент | Технические характеристики | Количество |
| Вакуумная камера | Рабочий размер:Ш400мм*В60мм*Г400мм | 1 |
2.5 Вакуумные условия
1) Ограничьте вакуум:1Ну что ж - 10-4Хорошо.
2) Требования к скорости откачки: степень вакуума в камере должна составлять 10.-4Хлеб 25мин.
2.6 Система отопления и беспыльный класс
1) Диапазон температур: Нормальная температура +25℃-250℃.
2) В течение 30 минут от комнатной температуры до 200 ℃;
3) Виспользуется водяное охлаждение, скорость охлаждения составляет 40 минут или менее, от комнатной температуры до 60 ℃;
4) Точность регулирования температуры ± 1 ℃, равномерность температуры ± 2% ℃;
5) Класс беспыльности: Класс 100;
2.7 Меры защиты: устройство отображает и записывает в режиме реального времени температуру и вакуум в каждой камере, а также позволяет запрашивать и экспортировать исторические данные, при этом объем исторических данных не должен превышать 30 дней;
2.8 Функции программного обеспечения:
1) Камера для открывания и закрывания двери, управления функциями обогрева и вакуумирования;
2) Обладает функциями штрихкодирования и скрепления ячеек, реагирует на данные о процессе скрепления и хранения;
3) Штрих-код вводится вручную или передается по системной связи на более позднем этапе;
4) Индикация рабочего состояния оборудования, индикация аварийной информации;
5) Настройка, вызов и сохранение рецептов, проверка температурной кривой и записи температуры во времени, запись состояния вакуума, запись неисправностей, запись работы и т. д.;
6) Иерархическое управление властью (три уровня: оператор, инженер, администратор)
2.9 Конфигурация безопасности
Общая конструкция, обеспечивающая электрическую и механическую безопасность, соответствует стандартам SEMI.
1) Блокировка
В электрощитке используется механическая система безопасности, поэтому перед открытием щитка необходимо отключить электропитание.
2) Аварийный выключатель EMS
Аварийный выключатель представляет собой кнопочный выключатель грибовидной формы, с красными и черными надписями, а направляющее кольцо желтого цвета. Независимо от режима работы, приоритет должен быть отдан аварийному выключателю. Состояние аварийной остановки данного оборудования означает, что дверца печи открывается с сбросом давления, и нагрев прекращается.
3) Безопасность
Механизм открывания и закрывания дверцы скрыт внутри камеры печи, что минимизирует количество открытых элементов и исключает механические риски. Температура поверхности печи не превышает комнатную температуру +5℃, а температура в зазоре дверцы не превышает комнатную температуру +15℃.
4) Меры защиты
Защита от утечек, защита от перегрузки, независимая защита от перегрева, датчик давления газа и сигнализация, датчик давления воды и сигнализация и т. д.
система управленияпродукт
Система управления включает в себя сенсорную панель управления и программируемый контроллер (ПЛК). Она обеспечивает централизованное интегрированное управление всеми электрическими компонентами и имеет два режима управления: ручной и автоматический.
Система управления позволяет осуществлять мониторинг и контроль степени вакуума и температуры в каждой камере, а также автоматическое надувание и сдувание каждой камеры. Вся система управления размещена в главном шкафу, что удобно в эксплуатации.
Условия установки оборудованияпродукт
4.1 Площадь помещения: ориентировочно 1200*1500*1200 (Ш*В*Г) мм
4.2 Электропитание: 380 В, 50 Гц, 9 кВт, трехфазное пятипроводное;
4.3 Азот: быстроразъемный соединитель на входе 10 мм, мин. 40 л/мин, давление газа 0,3-0,5 МПа, чистота 99,999%, чистый азот не содержит твердых частиц;
4.4 Холодная вода: расход 20 л/мин, диаметр внешней проволоки 1/2 дюйма, слив должен быть беспрепятственным, без сброса под давлением.
4.5 Выхлопные газы: раскаленные выхлопные газы, диаметр трубы 60 мм;
4.6 Ориентировочный вес: 350 кг
4.7 Заземление: сопротивление заземления защитного кожуха ≤ 1Ой
4.8 Разгрузка: сторона спроса отвечает за разгрузку и наличие оборудования для распаковки коробки.
4.9 Условия установки: чистая производственная площадка класса чистоты 10000, температура окружающей среды: 20–30 °C. ℃влажность окружающей среды: ≤ 85% относительной влажности. Отсутствие легковоспламеняющихся и взрывоопасных веществ, отсутствие сильной вибрации, сильного электромагнитного поля, высокой концентрации порошка.Избегайте воздействия коррозионных веществ, прямых солнечных лучей и другого прямого теплового излучения. Оборудование следует размещать горизонтально в хорошо проветриваемом помещении для испытаний, оставляя вокруг него не менее 1,5 метров свободного пространства для технического обслуживания.
Техническая информацияпродукт
5.1 Технические данные: Китайская версия справочника (бумажный + электронный файлы, включая инструкции по эксплуатации, рекомендации по ежедневному техническому обслуживанию, электрические схемы).
5.2 Протокол проверки: протокол заводской проверки (бумажный, включающий подробные показатели параметров и фактические данные)
Услугапродукт
Компания GMS Industrial располагает командами по маркетингу, продажам, техническому обслуживанию и развитию сети, чтобы предоставлять клиентам и дилерам комплексное предпродажное, продажное и послепродажное обслуживание. Вы можете связаться с нами, если у вас возникнут какие-либо вопросы или пожелания.
Круглосуточно онлайн. На сообщения отвечаем сразу после получения.
