Вакуумная печь
Автоматическая вакуумная печь для приготовления одной вафли
Небольшое оборудование для запекания, максимальная температура 250 ℃, использующее вакуум и азот для создания бескислородной среды при запекании отдельных пластин, подходит для мелкосерийного производства. Типичные области применения этой системы включают отжиг SOG, отжиг меди, отжиг алюминия, отжиг низкодиэлектрических материалов, а также запекание и сушку фоторезистов и т.д.
Высокотемпературная вакуумная печь
Вакуумные печи идеально подходят для удаления остаточной воды, растворителей или других летучих соединений из термочувствительных продуктов. Принцип работы, по сути, заключается в удалении нежелательных молекул путем снижения давления в печи (создания вакуума). Когда давление в печи достигает желаемого давления паров загрязняющих веществ, эти молекулы испаряются, превращаются в пар и удаляются со всех участков продукта. Эта сушка осуществляется без использования чрезмерного нагрева. Это делает вакуумную сушку подходящей для материалов, которые повреждаются или изменяются при воздействии высоких температур. Вакуумная сушка также минимизирует риск образования накипи и оксидных отложений. Высокотемпературные вакуумные печи обычно используются для продуктов, которые не являются термостойкими и чувствительны к температуре. Этот тип печей широко используется в полупроводниковой, микроэлектромеханической и электронной промышленности.
Сверхвысоковакуумная печь
Высоковакуумная печь оснащена полками с прямым нагревом, которые можно запрограммировать на нагрев до 300°C. Высоковакуумная камера легко откачивается до 10⁻⁶ Торр с помощью турбонасоса, работающего в паре с сухим спиральным насосом (без риска обратного потока масла). Хотя нагрев происходит очень быстро, процесс охлаждения может быть медленным (несколько часов). Для защиты внутренних поверхностей от чрезмерного окисления, вентиляцию камеры можно производить только после того, как температура полок опустится ниже 100°C. Камера вентилируется азотом. Частичная вентиляция возможна, если необходимо полностью охладить образец до комнатной температуры в атмосфере азота. Имеется две полки размером примерно 11 x 11 дюймов (280 x 280 мм) и два изготовленных на заказ алюминиевых подноса. Одновременно можно запекать восемь 4-дюймовых пластин. В камере отсутствуют окна, поэтому светочувствительные детали можно запекать, предварительно обернув их фольгой перед помещением в камеру.
Высокотемпературная вакуумная сушильная печь
- ● Вакуумная сушка для удаления влаги и растворителя из электродных материалов.
- ● Максимальная температура 300℃/400℃ (опционально)
- ● Диапазон рабочего вакуума: 101 кПа - 1 Па ● Доступны в 3 типоразмерах, большая вместимость
Высокотемпературная вакуумная сушильная печь
Большая вакуумная сушильная печь, предназначенная для всех видов вакуумной сушки.
- ● Максимальная температура 250℃
- ● Диапазон рабочего вакуума: 101 кПа - 0,1 кПа
Эта печь идеально подходит для удаления остаточной воды, растворителей или других летучих соединений из термочувствительных продуктов. Вакуумный насос устанавливается в нижней части печи для экономии места при монтаже, а также используются быстроразъемные фланцевые соединения для трубопроводов. Печи этого типа широко используются в лабораториях, полупроводниковой, микроэлектромеханической и электронной промышленности.
Шкаф для хранения с высоким вакуумом
Девять камер управляются независимо друг от друга и используют одну общую вакуумную систему. Подходит для обработки различных металлических материалов, анаэробных смесей, химического сырья, драгоценных металлов, металлического порошка и других твердых, порошкообразных, пастообразных, жидких материалов, а также электронных изделий.
- ● Автономное управление 9 камерами
- ● Временно хранить продукцию в процессе производства электронных устройств, оптоэлектронных устройств, полупроводниковых микросхем и других устройств для предотвращения окисления.
- ● Минимальный вакуум от 50 до 5*10⁻⁵ Па
- ● Сканер штрихкодов для хранения информации о товаре