เตาอบก๊าซเฉื่อย

ตู้เก็บรักษาแบบสุญญากาศใช้สำหรับเก็บรักษาผลิตภัณฑ์ที่ต้องการป้องกันการเกิดออกซิเดชันระหว่างการเก็บรักษา นอกจากนี้ยังสามารถใช้แทนบรรจุภัณฑ์สุญญากาศได้อีกด้วย ตู้เก็บรักษาแบบสุญญากาศนี้ประกอบด้วยห้องสุญญากาศอิสระ 6 หรือ 9 ห้อง และแผงควบคุม โดยมีรูปแบบโดยทั่วไปแสดงในรูปต่อไปนี้ ห้องสุญญากาศแต่ละห้องสามารถควบคุมได้อย่างอิสระและใช้ระบบสุญญากาศร่วมกันชุดเดียว

เหมาะสำหรับการอบแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ (การอบโฟโตเรซิสต์ PI, PBO, BCB), การอบพื้นผิวแก้ว และการอบอ่อนที่มีความแม่นยำสูง เป็นต้น

อุณหภูมิใช้งานสูงสุด: 360℃, 600℃
ความเข้มข้นของออกซิเจนต่ำกว่า 20 ppm

เตาอบก๊าซเฉื่อย GMS ได้รับการออกแบบมาเพื่อความทนทานและประสิทธิภาพ เตาอบก๊าซเฉื่อยเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในเตาอบอุตสาหกรรมที่เกี่ยวข้องกับการแปรรูปวัสดุในสภาพแวดล้อมที่มีการควบคุมบรรยากาศ รวมถึงการอบแห้งความชื้น การอบแห้งเวเฟอร์ การอบอีพ็อกซี่ และการทดสอบความคงทนของชิ้นส่วนและอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ เตาอบก๊าซเฉื่อย GMS ใช้ระบบหมุนเวียนอากาศแนวนอนปริมาณสูง ซึ่งช่วยเพิ่มความสม่ำเสมอของอุณหภูมิและประสิทธิภาพสูงสุด

มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพในการให้ความร้อนพร้อมทั้งปกป้องตัวอย่างจากการเกิดออกซิเดชันด้วยเตาอบก๊าซเฉื่อยจาก GMS ทำงานทดสอบอุณหภูมิและการอบชุบความร้อนได้อย่างมั่นใจในสภาพแวดล้อมที่ไม่เกิดออกซิเดชัน ด้วยเตาอบก๊าซเฉื่อยที่จ่ายก๊าซไนโตรเจน (N2) ที่ควบคุมได้และไม่ติดไฟภายในห้อง