สินค้า

เตาอบกันระเบิดเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับอุตสาหกรรมที่ต้องจัดการกับวัสดุไวไฟและเพื่อความปลอดภัยในสภาพแวดล้อมอันตราย เตาอบเหล่านี้ได้รับการออกแบบให้รองรับบรรยากาศที่ระเหยง่ายและจัดการกับวัสดุอันตราย เตาอบเหล่านี้มีคุณสมบัติด้านความปลอดภัยที่แนะนำไว้ใน NFPA Bulletin 86 ให้เป็นมาตรฐาน เช่น การรวมคุณสมบัติด้านความปลอดภัย เช่น วาล์วระบายความดันและส่วนประกอบไฟฟ้าที่ป้องกันเปลวไฟ เครื่องทำความร้อนแบบมีปลอกหุ้มสำหรับมวลสูง และช่องระบายควันระเบิด เพื่อให้มั่นใจถึงความปลอดภัยในการจัดการวัสดุไวไฟ

เตาอบเหล่านี้มีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น อวกาศ อุตสาหกรรมเคมี อุตสาหกรรมสี และวัสดุพื้นฐาน โดยให้สภาพแวดล้อมที่ปลอดภัยสำหรับการจัดการและขับไล่ไอระเหยที่ติดไฟได้

เตาอบแบบอุโมงค์นี้ได้รับการออกแบบให้มีสองชั้น พร้อมฟังก์ชันการโหลด/นำอุปกรณ์ติดตั้งในตัวและฟังก์ชันการส่งคืนอัตโนมัติ ที่ส่วนป้อนเข้า ระบบจะซิงโครไนซ์กับอุปกรณ์อัตโนมัติต้นทางเพื่อโหลดผลิตภัณฑ์ลงบนอุปกรณ์ติดตั้งอย่างแม่นยำ จากนั้นอุปกรณ์เหล่านี้จะลำเลียงผลิตภัณฑ์ผ่านอุโมงค์ความร้อนเพื่ออบภายใต้การควบคุม

ปลายท่อระบายประกอบด้วยระบบอัตโนมัติปลายน้ำสำหรับการขนถ่ายผลิตภัณฑ์ หลังจากนั้น อุปกรณ์ยึดจะถูกส่งไปยังสายพานลำเลียงกลับด้านล่างโดยอัตโนมัติ อุปกรณ์ยึดจะวนกลับไปยังทางเข้าอุโมงค์เพื่อขนถ่ายผลิตภัณฑ์ซ้ำอย่างมีประสิทธิภาพ ส่งผลให้วงจรการผลิตต่อเนื่องเสร็จสมบูรณ์

ระบบนี้เชื่อมต่อกระบวนการอบเข้ากับการจัดการวัสดุอัตโนมัติได้อย่างราบรื่น จึงทำให้สามารถบูรณาการสายการผลิตอัตโนมัติเต็มรูปแบบได้อย่างสมบูรณ์ ส่งผลให้ประสิทธิภาพดีขึ้นอย่างมีนัยสำคัญถึง 30-50% เมื่อเทียบกับระบบทั่วไป

เตาอบสแกนโค้ดอัตโนมัติเป็นอุปกรณ์อบอัตโนมัติแบบอเนกประสงค์ มีระบบเปิด-ปิดประตูอัตโนมัติ ช่วยให้สามารถทำงานร่วมกับ AGV หรือเครื่องจัดการแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างใกล้ชิด เพื่อการจัดการวัสดุอัตโนมัติ พร้อมรองรับการโหลดและขนถ่ายวัสดุด้วยตนเอง เตาอบนี้ประกอบด้วยห้องอบอิสระ 4 ห้อง แต่ละห้องมีหน้าจอสัมผัสสำหรับการตั้งค่าพารามิเตอร์ที่กำหนดเอง เพื่อตอบสนองความต้องการด้านการผลิตที่หลากหลาย มีห้องอบสแกนในตัวสำหรับผูกวัสดุระหว่างการโหลดและขนถ่ายวัสดุ ดึงสูตรอบโดยอัตโนมัติเพื่อรับประกันความแม่นยำของกระบวนการ ยิ่งไปกว่านั้น เตาอบยังสามารถเชื่อมต่อกับคอมพิวเตอร์โฮสต์เพื่อจัดเก็บและประมวลผลข้อมูลภายในเครื่อง และสื่อสารกับระบบ MES เพื่อควบคุมการผลิตอย่างชาญฉลาด ทำให้เตาอบนี้สามารถใช้งานได้อย่างแพร่หลายในสาขาเซมิคอนดักเตอร์และสาขาอื่นๆ ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตและคุณภาพของผลิตภัณฑ์

ตู้เก็บของสุญญากาศใช้สำหรับจัดเก็บผลิตภัณฑ์ที่ต้องการป้องกันการออกซิเดชั่นระหว่างการจัดเก็บ สามารถใช้แทนบรรจุภัณฑ์สุญญากาศได้ ตู้เก็บของสุญญากาศนี้ประกอบด้วยห้องสุญญากาศอิสระ 6 หรือ 9 ห้อง และแผงควบคุม รูปแบบโดยรวมแสดงไว้ในรูปด้านล่าง ห้องสุญญากาศแต่ละห้องควบคุมแยกกันและใช้ระบบสุญญากาศร่วมกันเป็นชุดเดียว

ส่วนใหญ่ใช้สำหรับการขึ้นรูปและการบ่ม การอบที่แม่นยำ เช่น การอบแห้ง การขึ้นรูป และการประมวลผลของ IC (DB/WB), FPD, วัสดุเซรามิกอิเล็กทรอนิกส์ และอื่นๆ

• มีให้เลือกใช้สำหรับการรวมกัน 2/3/4/6 ห้อง (ควบคุมแบบสแตนด์อโลนสำหรับแต่ละห้อง)
• วิธีการเปิดประตูแบบต่างๆ เพื่อปรับให้เข้ากับหุ่นยนต์ AGV
• ประหยัดพื้นที่ในการติดตั้ง
• ช่วงอุณหภูมิ: RT+30-300°C

คำอธิบายผลิตภัณฑ์

เตาอบที่สะอาดใช้กันอย่างแพร่หลายในการอบชุบด้วยความร้อนหรือการทำให้แห้งเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ คริสตัลเหลว แผ่นดิสก์ และส่วนประกอบและอุปกรณ์อื่นๆ ที่ต้องการสภาวะอากาศที่สะอาด

• ชั้น 100
• ความจุขนาดใหญ่ 350 ลิตร
• อุณหภูมิ 260℃

อุปกรณ์อบขนาดเล็ก อุณหภูมิสูงสุด 250 องศาเซลเซียส ใช้ระบบสุญญากาศและไนโตรเจนร่วมกันเพื่อสร้างแผ่นเวเฟอร์ที่ปราศจากออกซิเจน อบเพียงครั้งเดียว เหมาะสำหรับการใช้งานในปริมาณน้อย การใช้งานทั่วไปของระบบนี้ ได้แก่ การอบอ่อนแบบ SOG การอบอ่อนทองแดง การอบอ่อนอะลูมิเนียม การอบอ่อนไดอิเล็กทริกแบบ low k และการอบแบบโฟโตเรซิสต์ การอบแห้ง และอื่นๆ

ตู้เก็บของสุญญากาศใช้สำหรับจัดเก็บผลิตภัณฑ์ที่ต้องการป้องกันการออกซิเดชั่นระหว่างการจัดเก็บ สามารถใช้แทนบรรจุภัณฑ์สุญญากาศได้ ตู้เก็บของสุญญากาศนี้ประกอบด้วยห้องสุญญากาศอิสระ 6 หรือ 9 ห้อง และแผงควบคุม รูปแบบโดยรวมแสดงไว้ในรูปด้านล่าง ห้องสุญญากาศแต่ละห้องควบคุมแยกกันและใช้ระบบสุญญากาศร่วมกันเป็นชุดเดียว

เหมาะสำหรับการบ่มเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ (การบ่มโฟโตเรซิสต์ PI, PBO, BCB) การอบพื้นผิวแก้ว และการบำบัดด้วยการอบอ่อนที่มีความแม่นยำสูง เป็นต้น

อุณหภูมิในการทำงานสูงสุด: 360℃, 600℃
ความเข้มข้นของออกซิเจนต่ำกว่า 20 ppm.

เตาอบสุญญากาศเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการกำจัดน้ำ ตัวทำละลาย หรือสารระเหยอื่นๆ ตกค้างออกจากผลิตภัณฑ์ที่ไวต่ออุณหภูมิ หลักการทำงานโดยพื้นฐานคือการกำจัดโมเลกุลที่ไม่ต้องการโดยการลดความดันในเตาอบ (สร้างสุญญากาศ) เมื่อความดันในเตาอบถึงความดันไอของสารปนเปื้อนที่ต้องการ โมเลกุลของสารปนเปื้อนเหล่านี้จะระเหยกลายเป็นไอ และถูกกำจัดออกจากทุกส่วนของผลิตภัณฑ์ การอบแห้งนี้ทำได้โดยไม่ต้องใช้ความร้อนสูง ทำให้การอบแห้งแบบสุญญากาศเหมาะสำหรับวัสดุที่เสียหายหรือเปลี่ยนแปลงไปเมื่อสัมผัสกับอุณหภูมิสูง การอบแห้งแบบสุญญากาศยังช่วยลดความเสี่ยงของการเกิดตะกรันและการเกิดคราบออกซิเดชัน โดยทั่วไปแล้วเตาอบสุญญากาศอุณหภูมิสูงจะใช้กับผลิตภัณฑ์ที่ไม่ทนความร้อนและไวต่ออุณหภูมิ เตาอบประเภทนี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เมมส์ และอิเล็กทรอนิกส์

เตาอบแก๊สเฉื่อย GMS ออกแบบมาเพื่อความทนทานและประสิทธิภาพการทำงาน เตาอบแก๊สเฉื่อยเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในเตาอบอุตสาหกรรมที่เกี่ยวข้องกับการแปรรูปวัสดุในสภาพแวดล้อมที่มีการควบคุมบรรยากาศ รวมถึงการอบแห้งด้วยความชื้น การอบแห้งแผ่นเวเฟอร์ การบ่มด้วยอีพอกซี และการบ่มชิ้นส่วนและอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ เตาอบแก๊สเฉื่อย GMS ใช้ระบบหมุนเวียนอากาศแนวนอนปริมาตรสูง ซึ่งช่วยเพิ่มความสม่ำเสมอของอุณหภูมิและประสิทธิภาพการทำงานสูงสุด

มั่นใจได้ถึงการให้ความร้อนอย่างมีประสิทธิภาพ พร้อมปกป้องตัวอย่างจากการเกิดออกซิเดชันด้วยเตาอบแก๊สเฉื่อยที่ GMS คัดสรรมา มั่นใจได้ในการทดสอบอุณหภูมิและการอบด้วยความร้อนในสภาพแวดล้อมที่ไม่เกิดออกซิเดชัน ด้วยเตาอบแก๊สเฉื่อยที่จ่ายก๊าซไนโตรเจนที่ควบคุมได้และไม่ติดไฟภายในห้อง