สินค้า

เตาอบสุญญากาศสูงมีชั้นวางที่ให้ความร้อนโดยตรงซึ่งสามารถตั้งโปรแกรมให้ร้อนได้ถึง 300 องศาเซลเซียส ห้องสุญญากาศสูงสามารถลดความดันลงได้ถึง 10⁻⁶ Torr ได้อย่างง่ายดาย โดยใช้ปั๊มเทอร์โบซึ่งทำงานร่วมกับปั๊มแบบแห้ง (ไม่ต้องกังวลเรื่องการไหลย้อนกลับของน้ำมัน) แม้ว่าจะร้อนเร็วมาก แต่กระบวนการทำให้เย็นลงอาจช้า (หลายชั่วโมง) เพื่อป้องกันพื้นผิวภายในจากการเกิดออกซิเดชันมากเกินไป ห้องสุญญากาศจะสามารถระบายอากาศได้ก็ต่อเมื่อชั้นวางลดลงต่ำกว่า 100 องศาเซลเซียสเท่านั้น ห้องสุญญากาศถูกระบายอากาศด้วยไนโตรเจน การระบายอากาศบางส่วนสามารถทำได้หากคุณต้องการให้ตัวอย่างเย็นลงจนถึงอุณหภูมิห้องอย่างสมบูรณ์ในขณะที่อยู่ในบรรยากาศไนโตรเจน มีชั้นวางขนาดประมาณ 11" x 11" (280 มม. x 280 มม.) สองชั้น และถาดอลูมิเนียมสั่งทำพิเศษสองถาด สามารถอบเวเฟอร์ขนาด 4 นิ้วได้ครั้งละแปดแผ่น ไม่มีหน้าต่าง ดังนั้นชิ้นส่วนที่ไวต่อแสงสามารถอบได้ตราบใดที่ห่อด้วยฟอยล์ก่อนนำเข้าห้องสุญญากาศ

เตาอบอุโมงค์นี้มีดีไซน์สองชั้น พร้อมระบบโหลด/ขนถ่ายชิ้นงานอัตโนมัติ และฟังก์ชันการส่งคืนอัตโนมัติ ในส่วนป้อนชิ้นงาน ระบบจะซิงโครไนซ์กับอุปกรณ์อัตโนมัติส่วนต้นทางเพื่อโหลดผลิตภัณฑ์ลงบนแท่นยึดอย่างแม่นยำ จากนั้นแท่นยึดเหล่านี้จะลำเลียงผลิตภัณฑ์ผ่านอุโมงค์ความร้อนเพื่ออบด้วยอุณหภูมิที่ควบคุมได้

ส่วนปลายของสายพานลำเลียงมีการทำงานอัตโนมัติเพื่อขนถ่ายผลิตภัณฑ์ จากนั้นอุปกรณ์ต่างๆ จะถูกส่งต่อไปยังสายพานลำเลียงกลับด้านล่างโดยอัตโนมัติ อุปกรณ์เหล่านั้นจะหมุนเวียนกลับไปยังทางเข้าอุโมงค์อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อทำการบรรจุใหม่ ทำให้เกิดวงจรการผลิตอย่างต่อเนื่อง

ด้วยการเชื่อมต่อกระบวนการอบเข้ากับการจัดการวัสดุแบบอัตโนมัติอย่างราบรื่น ระบบนี้จึงสามารถบูรณาการสายการผลิตแบบอัตโนมัติได้อย่างสมบูรณ์ ส่งผลให้ประสิทธิภาพดีขึ้นอย่างเห็นได้ชัดถึง 30-50% เมื่อเทียบกับระบบแบบดั้งเดิม

ข้อได้เปรียบที่สำคัญ:

• ระบบหมุนเวียนของเหลวในอุปกรณ์แบบวงปิด ช่วยลดการจัดการด้วยมือ
• การประสานงานที่สมบูรณ์แบบกับอุปกรณ์ต้นน้ำ/ปลายน้ำ
• ความสามารถในการทำงานต่อเนื่องตลอด 24 ชั่วโมง 7 วันต่อสัปดาห์
• กำลังการผลิต: 150-1200 ชิ้น/ชั่วโมง (สามารถปรับแต่งได้)

เตาอบสแกนโค้ดอัตโนมัติเป็นอุปกรณ์อบอัตโนมัติอเนกประสงค์ มีคุณสมบัติการเปิดและปิดประตูอัตโนมัติ ช่วยให้ทำงานร่วมกับรถลำเลียงวัสดุอัตโนมัติ (AGV) หรือเครื่องจัดการเวเฟอร์ได้อย่างใกล้ชิดเพื่อการจัดการวัสดุแบบอัตโนมัติ ขณะเดียวกันก็รองรับการโหลดและขนถ่ายด้วยตนเอง ด้วยห้องอบอิสระสี่ห้อง แต่ละห้องติดตั้งหน้าจอสัมผัสสำหรับการตั้งค่าพารามิเตอร์ที่กำหนดเอง เตาอบจึงสามารถตอบสนองความต้องการการผลิตที่หลากหลาย มีห้องสแกนในตัวเพื่อผูกวัสดุระหว่างการโหลดและขนถ่าย และดึงสูตรการอบโดยอัตโนมัติเพื่อให้มั่นใจในความแม่นยำของกระบวนการ ยิ่งไปกว่านั้น ยังสามารถเชื่อมต่อกับคอมพิวเตอร์หลักเพื่อจัดเก็บและประมวลผลข้อมูลในพื้นที่ และสื่อสารกับระบบ MES เพื่อควบคุมการผลิตอย่างชาญฉลาด ทำให้สามารถใช้งานได้อย่างกว้างขวางในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และสาขาอื่นๆ ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตและคุณภาพของผลิตภัณฑ์

GZ-RTP-SM-12 เป็นระบบประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็วแบบแนวตั้งกึ่งอัตโนมัติ สำหรับให้ความร้อนแก่แผ่นเวเฟอร์ขนาด 4-12 นิ้วเพียงแผ่นเดียว
อุณหภูมิสูงสุด 1250℃
ท่อส่งแก๊สสูงสุด 4 ท่อ

ตู้กันความชื้น GZ รุ่นปรับปรุงใหม่ ใช้โมดูลลดความชื้นรุ่นใหม่ สามารถลดความชื้นได้ต่ำกว่า 5%RH ใช้งานง่าย เหมาะอย่างยิ่งสำหรับชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ทุกชนิด กล้องถ่ายรูป อุปกรณ์ห้องปฏิบัติการทั่วไป กล้องจุลทัศน์ วัสดุและสารเคมี ฯลฯ เพื่อป้องกันเชื้อราและราดำ

ตู้กันไฟฟ้าสถิต (ESD dry cabinet) เป็นอุปกรณ์สำคัญในทุกสภาพแวดล้อมที่มีการใช้งานชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่ไวต่อไฟฟ้าสถิต ช่วยยืดอายุการใช้งานและรักษาประสิทธิภาพการทำงานของชิ้นส่วนเหล่านั้นโดยการปกป้องจากผลกระทบที่อาจเป็นอันตรายของไฟฟ้าสถิต ภายในตู้มักบุด้วยวัสดุที่ปลอดภัยจากไฟฟ้าสถิต เช่น โฟมกันไฟฟ้าสถิตหรือกล่องพลาสติกนำไฟฟ้า เพื่อเพิ่มการป้องกันให้กับสิ่งของที่จัดเก็บ

ตู้ไนโตรเจนช่วยควบคุมการปนเปื้อนจากฝุ่นละออง อนุภาค และสิ่งสกปรกอื่นๆ ที่อาจส่งผลกระทบต่อประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ สภาพแวดล้อมไนโตรเจนที่สะอาดช่วยรักษาความบริสุทธิ์ของชิ้นส่วนและพื้นผิวระหว่างกระบวนการผลิต สำหรับกรณีที่ต้องการความสะอาดระดับ 100 (ISO 5) จะใช้ตู้แห้งสแตนเลสขัดเงาทั้งตู้เพื่อจัดเก็บชิ้นส่วนและเครื่องมือที่มีความแม่นยำสูง

ตู้ไนโตรเจนสแตนเลสเป็นโซลูชันการจัดเก็บเฉพาะทางที่ออกแบบมาเพื่อปกป้องชิ้นส่วนและวัสดุที่ไวต่อความเสียหายจากปฏิกิริยาออกซิเดชันและความชื้น โดยการรักษาสภาพแวดล้อมที่เป็นบรรยากาศไนโตรเจนเฉื่อย ตู้สแตนเลสผลิตจากสแตนเลส 304 คุณภาพสูง ซึ่งทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยมและทำความสะอาดง่าย พื้นผิวขัดเงาไม่เพียงแต่ให้รูปลักษณ์ที่ทันสมัย ​​แต่ยังช่วยให้ทำความสะอาดและบำรุงรักษาได้ง่ายอีกด้วย พื้นผิวที่เรียบเนียนและทำความสะอาดง่ายทำให้ตู้เหล่านี้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมห้องปลอดเชื้อ โดยบางรุ่นยังสามารถตรงตามมาตรฐานความสะอาดระดับ Class 100 ได้อีกด้วย

ตู้ไนโตรเจนสแตนเลสเป็นที่นิยมใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โฟโตนิกส์ และจอแสดงผลแบบแบน (FPD) รวมถึงการจัดเก็บวัสดุพิเศษและภาคส่วนอิเล็กทรอนิกส์ เพื่อป้องกันการเกิดออกซิเดชัน การกัดกร่อนจากสิ่งแปลกปลอม และควบคุมความชื้นในสภาพแวดล้อมที่สะอาด

ตู้ถูกออกแบบมาเพื่อรองรับน้ำหนักบรรทุกสูงสุดและมีความทนทาน ตู้ไนโตรเจนสแตนเลสติดตั้งช่องสำหรับเติมไนโตรเจนเพื่อไล่อากาศออกจากพื้นที่ทำงาน เพื่อป้องกันสิ่งของที่จัดเก็บไม่ให้เกิดการออกซิเดชัน ตู้ไนโตรเจนแห้งทั้งตู้ทำจากสแตนเลส SUS#304

ตู้ไนโตรเจนช่วยลดความชื้นในระดับสูง ลดการสัมผัสกับความชื้นระหว่างการจัดเก็บและการประมวลผลชิ้นส่วน IC ช่วยปรับปรุงคุณภาพของรอยเชื่อมบัดกรีโดยลดการเกิดออกซิเดชันและทำให้มั่นใจได้ว่าการเชื่อมต่อสะอาดและเชื่อถือได้ ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญในการป้องกันการกัดกร่อน การแยกชั้น หรือข้อบกพร่องอื่นๆ ที่เกี่ยวข้องกับความชื้นซึ่งอาจส่งผลต่อความน่าเชื่อถือของแพ็คเกจ IC

• ● ช่วงความชื้นสัมพัทธ์: 1-60%RH
• ● ความจุ: 500/1020/1250/1510 ลิตร
• ● ปลอดภัยจากไฟฟ้าสถิต (ESD Safe)

เตาอบสะอาดถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในการอบชุบความร้อนหรือการอบแห้งแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ คริสตัลเหลว แผ่นดิสก์ และส่วนประกอบและอุปกรณ์อื่นๆ ที่ต้องการสภาพอากาศที่สะอาด

• ● ชั้นเรียนที่ 100
• ● ความจุขนาดใหญ่ 350 ลิตร
• ● อุณหภูมิสูงสุด 260℃

เตาอบที่มีความแม่นยำสูงนั้นมีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการให้ความร้อนทั่วไป ตั้งแต่การอบแห้งตัวอย่างไปจนถึงการบ่มไมโครชิป เตาอบแบบเคลื่อนที่ได้ของ GMS รองรับการใช้งานด้านกระบวนการให้ความร้อนได้หลากหลาย โดยมีอุณหภูมิสูงถึง 250℃ เตาอบแบบนี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการให้ความร้อนแก่ถัง การบ่ม การชุบแข็งแกน การอบแห้ง การอุ่นก่อน การบ่ม และการทดสอบชิ้นส่วน นอกจากนี้ เตาอบแบบเคลื่อนที่ได้เหล่านี้ยังสามารถใช้สำหรับการใช้งานอื่นๆ เช่น การอบสี การบ่มพลาสติก การอบวานิช การฆ่าเชื้อ และการบ่มยาง ซิลิกาเจล และอีพ็อกซี่ รถบรรทุกช่วยให้การขนถ่ายผลิตภัณฑ์เป็นไปอย่างรวดเร็วและมีประสิทธิภาพ มีรถบรรทุกแบบช่องเดียว สองช่อง สามช่อง และสี่ช่องให้เลือกใช้เพื่อให้เหมาะสมกับปริมาณสินค้าที่บรรทุก