เตาอบสุญญากาศสูงอัตโนมัติแบบแผ่นเวเฟอร์เดี่ยว

2.1 โหมดควบคุม: สร้างสภาพแวดล้อมที่ปราศจากออกซิเจนโดยใช้ระบบดูดอากาศและเติมไนโตรเจน จัดวางส่วนประกอบทำความร้อนไว้ที่ผนังด้านนอกของเตาอบ และให้ความร้อนภายในเตาอบด้วยการแผ่รังสี เพื่อให้ได้ผลลัพธ์การอบที่ปราศจากออกซิเจนและฝุ่นละออง

2.2 ห้องต่างๆ ถูกควบคุมแยกกันและทำงานแยกจากกัน

2.3 ระบบสุญญากาศของระบบนี้ใช้ปั๊มแบบสกรูแห้ง

2.4 จำนวนห้อง

2.5 สภาวะสุญญากาศ

1) จำกัดสุญญากาศ:1ดี - 10^-4ดี.

2) ข้อกำหนดเกี่ยวกับความเร็วในการสูบ: ระดับสุญญากาศของห้องควรอยู่ที่ 10^-4ขนมปัง 25นาที

2.6 ระบบทำความร้อนและเกรดปลอดฝุ่น

1) ช่วงอุณหภูมิ: อุณหภูมิปกติ +25℃-250℃

2) ภายใน 30 นาที จากอุณหภูมิห้องถึง 200 ℃;

3) ในใช้ระบบระบายความร้อนด้วยน้ำ โดยมีอัตราการระบายความร้อน 40 นาทีหรือน้อยกว่า จากอุณหภูมิห้องลงมาจนเหลือไม่เกิน 60 องศาเซลเซียส

4) ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ ± 1 ℃, ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ ± 2% ℃;

5) ระดับปลอดฝุ่น: ระดับ 100;

2.7 มาตรการป้องกัน: อุปกรณ์จะแสดงและบันทึกอุณหภูมิและสุญญากาศของแต่ละห้องแบบเรียลไทม์ และสามารถเรียกดูข้อมูลย้อนหลังและส่งออกข้อมูลได้ โดยข้อมูลย้อนหลังไม่น้อยกว่า 30 วัน

2.8 ฟังก์ชันซอฟต์แวร์:

1) ช่องสำหรับเปิดและปิดประตู ควบคุมการทำงานของระบบทำความร้อนและสุญญากาศ

2) ด้วยประสิทธิภาพการเข้าเล่มด้วยบาร์โค้ดและการเข้าเล่มแบบมีช่องว่าง การตอบสนองต่อข้อมูลการอบเพื่อการเข้าเล่ม และการจัดเก็บ

3) บาร์โค้ดจะถูกป้อนด้วยตนเองหรือส่งผ่านระบบการสื่อสารในภายหลัง

4) การแสดงสถานะการทำงานของอุปกรณ์ การแสดงข้อมูลสัญญาณเตือน

5) การตั้งค่าสูตรอาหาร การเรียกใช้และการจัดเก็บ การตรวจสอบกราฟอุณหภูมิและบันทึกเวลาอุณหภูมิ การบันทึกสถานะสุญญากาศ การบันทึกข้อผิดพลาด การบันทึกการทำงาน ฯลฯ

6) การจัดการแบบลำดับชั้นอำนาจ (สามระดับ: ผู้ปฏิบัติงาน วิศวกร ผู้บริหาร)

2.9 การกำหนดค่าด้านความปลอดภัย

การออกแบบด้านความปลอดภัยทางไฟฟ้าและทางกลโดยรวม เป็นไปตามมาตรฐาน SEMI

1) การเชื่อมต่อกัน

กล่องไฟฟ้าใช้ระบบความปลอดภัยแบบกลไกเชื่อมต่อ และต้องตัดกระแสไฟก่อนเปิดกล่อง

2) สวิตช์หยุดฉุกเฉิน (EMS)

สวิตช์หยุดฉุกเฉินเป็นสวิตช์แบบกดรูปทรงคล้ายเห็ด สีแดง ตัวอักษรสีดำ วงแหวนนำทางสีเหลือง ไม่ว่าจะอยู่ในโหมดใดก็ตาม ควรใช้งานสวิตช์หยุดฉุกเฉินก่อนเสมอ สภาวะหยุดฉุกเฉินของอุปกรณ์นี้คือ เตาอบจะเปิดประตูเมื่อแรงดันลดลง และการทำความร้อนจะหยุดลง

3) ความปลอดภัย

กลไกการเปิดและปิดประตูถูกซ่อนอยู่ภายในช่องเตาอบ เพื่อลดกลไกที่อาจสัมผัสได้และหลีกเลี่ยงความเสี่ยงทางกล อุณหภูมิพื้นผิวของเตาอบไม่สูงกว่าอุณหภูมิห้อง +5℃ และอุณหภูมิที่ช่องว่างระหว่างประตูไม่สูงกว่าอุณหภูมิห้อง +15℃

4) มาตรการป้องกัน

ระบบป้องกันการรั่วไหล, ระบบป้องกันการโอเวอร์โหลด, ระบบป้องกันอุณหภูมิสูงเกินมาตรฐานแบบแยกอิสระ, ระบบตรวจจับและแจ้งเตือนแรงดันแก๊ส, ระบบตรวจจับและแจ้งเตือนแรงดันน้ำ เป็นต้น

ระบบควบคุมใช้แผงควบคุมแบบหน้าจอสัมผัสและตัวควบคุมแบบโปรแกรมได้ (PLC) สามารถควบคุมส่วนประกอบทางไฟฟ้าทั้งหมดจากส่วนกลางได้อย่างครบวงจร และมีโหมดควบคุมสองโหมด ได้แก่ โหมดแมนนวลและโหมดอัตโนมัติ

ระบบควบคุมสามารถตรวจสอบและควบคุมระดับสุญญากาศและอุณหภูมิของแต่ละห้อง รวมถึงทำการเติมและปล่อยลมออกจากแต่ละห้องโดยอัตโนมัติ ระบบควบคุมทั้งหมดติดตั้งอยู่ในตู้หลัก ทำให้สะดวกต่อการใช้งาน

4.1 พื้นที่ใช้สอย: ประมาณ 1200*1500*1200 (กว้าง*สูง*ลึก) มม.

4.2 แหล่งจ่ายไฟ: 380V, 50Hz, 9Kw, สามเฟสห้าสาย;

4.3 ไนโตรเจน: ข้อต่อทางเข้าแบบเร็ว 10 มม., อัตราการไหลขั้นต่ำ 40 ลิตร/นาที, แรงดันแก๊ส 0.3-0.5 MPa, ความบริสุทธิ์ 99.999%, ไนโตรเจนสะอาดปราศจากอนุภาค

4.4 น้ำเย็น: อัตราการไหล 20 ลิตร/นาที, ขนาดท่อภายนอก 1/2 นิ้ว, การระบายน้ำต้องราบรื่นโดยไม่มีแรงดัน

4.5 ก๊าซไอเสีย: ก๊าซไอเสียร้อนจัด ท่อขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 60 มม.

4.6 น้ำหนักโดยประมาณ: 350 กก.

4.7 การต่อลงดิน: ความต้านทานการต่อลงดินเพื่อป้องกันตัวเครื่อง ≤ 1โอ้

4.8 การขนถ่าย: ฝ่ายผู้บริโภคมีหน้าที่รับผิดชอบในการขนถ่ายและจัดเตรียมอุปกรณ์เพื่อแกะกล่อง

4.9 สภาพแวดล้อมการติดตั้ง: โรงงานสะอาด ระดับความสะอาด Class 10000 อุณหภูมิแวดล้อม: 20 ~ 30 องศาเซลเซียส ℃ความชื้นในอากาศโดยรอบ: ≤ ความชื้นสัมพัทธ์ 85% ไม่มีสารไวไฟหรือวัตถุระเบิดอยู่บริเวณใกล้เคียง ไม่มีแรงสั่นสะเทือนรุนแรง ไม่มีสนามแม่เหล็กไฟฟ้าแรงสูง และไม่มีผงแป้งที่มีความเข้มข้นสูงเก็บให้ห่างจากสารกัดกร่อน แสงแดดโดยตรง หรือรังสีความร้อนอื่นๆ ควรวางอุปกรณ์ในแนวนอนในห้องทดสอบที่มีการระบายอากาศดี โดยเว้นพื้นที่รอบๆ อย่างน้อย 1.5 เมตร เพื่อการบำรุงรักษา

5.1 ข้อมูลทางเทคนิค: เอกสารข้อมูลฉบับภาษาจีน (ทั้งแบบกระดาษและไฟล์อิเล็กทรอนิกส์ รวมถึงคู่มือการใช้งาน แนวทางการบำรุงรักษาประจำวัน และแผนผังวงจรไฟฟ้า)

5.2 รายงานการตรวจสอบ: รายงานการตรวจสอบโรงงาน (เอกสาร รวมถึงตัวชี้วัดพารามิเตอร์โดยละเอียดและข้อมูลจริง)