เตาอบสุญญากาศ

เตาอบสุญญากาศสูงมีชั้นวางที่ให้ความร้อนโดยตรงซึ่งสามารถตั้งโปรแกรมให้ร้อนได้ถึง 300 องศาเซลเซียส ห้องสุญญากาศสูงสามารถลดความดันลงได้ถึง 10⁻⁶ Torr ได้อย่างง่ายดาย โดยใช้ปั๊มเทอร์โบซึ่งทำงานร่วมกับปั๊มแบบแห้ง (ไม่ต้องกังวลเรื่องการไหลย้อนกลับของน้ำมัน) แม้ว่าจะร้อนเร็วมาก แต่กระบวนการทำให้เย็นลงอาจช้า (หลายชั่วโมง) เพื่อป้องกันพื้นผิวภายในจากการเกิดออกซิเดชันมากเกินไป ห้องสุญญากาศจะสามารถระบายอากาศได้ก็ต่อเมื่อชั้นวางลดลงต่ำกว่า 100 องศาเซลเซียสเท่านั้น ห้องสุญญากาศถูกระบายอากาศด้วยไนโตรเจน การระบายอากาศบางส่วนสามารถทำได้หากคุณต้องการให้ตัวอย่างเย็นลงจนถึงอุณหภูมิห้องอย่างสมบูรณ์ในขณะที่อยู่ในบรรยากาศไนโตรเจน มีชั้นวางขนาดประมาณ 11" x 11" (280 มม. x 280 มม.) สองชั้น และถาดอลูมิเนียมสั่งทำพิเศษสองถาด สามารถอบเวเฟอร์ขนาด 4 นิ้วได้ครั้งละแปดแผ่น ไม่มีหน้าต่าง ดังนั้นชิ้นส่วนที่ไวต่อแสงสามารถอบได้ตราบใดที่ห่อด้วยฟอยล์ก่อนนำเข้าห้องสุญญากาศ

• ● การอบแห้งด้วยระบบสุญญากาศเพื่อกำจัดความชื้นและตัวทำละลายในวัสดุอิเล็กโทรด
• ● อุณหภูมิสูงสุด 300℃/400℃ (เลือกได้)
• ● ช่วงแรงดันสุญญากาศใช้งาน 101kPa - 1Pa ● มีให้เลือก 3 ขนาด ความจุสูง

เตาอบสุญญากาศขนาดใหญ่ ออกแบบมาสำหรับการอบแห้งแบบสุญญากาศทุกประเภท

• ● อุณหภูมิสูงสุด 250℃
• ● ช่วงแรงดันสุญญากาศใช้งาน 101kPa - 0.1kPa

เตาอบนี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการกำจัดน้ำตกค้าง สารละลาย หรือสารประกอบระเหยอื่นๆ ออกจากผลิตภัณฑ์ที่ไวต่ออุณหภูมิ ปั๊มสุญญากาศจะถูกติดตั้งไว้ด้านล่างของเตาอบเพื่อประหยัดพื้นที่ติดตั้ง โดยใช้ท่อต่อแบบหน้าแปลนเชื่อมต่อเร็ว เตาอบประเภทนี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในห้องปฏิบัติการ อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ MEMS และอิเล็กทรอนิกส์

ห้องทั้ง 9 ห้องควบคุมแยกอิสระและใช้ระบบสุญญากาศร่วมกันชุดเดียว เหมาะสำหรับวัสดุโลหะทุกชนิด วัสดุไร้อากาศ วัตถุดิบเคมี โลหะมีค่า ผงโลหะ และผลิตภัณฑ์ของแข็ง ผง สารละลาย ของเหลว และผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ

• ● ระบบควบคุมแบบแยกอิสระ 9 ห้อง
• ● เก็บรักษาผลิตภัณฑ์ชั่วคราวในระหว่างกระบวนการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ อุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ ชิปเซมิคอนดักเตอร์ และอุปกรณ์อื่นๆ เพื่อป้องกันการเกิดออกซิเดชัน
• ● สุญญากาศขั้นต่ำ 50 ถึง 5*10-5Pa
• ● เครื่องสแกนบาร์โค้ดสำหรับจัดเก็บข้อมูลผลิตภัณฑ์