Programma
Ýarymgeçiriji
2024-07-05
Wafer bilen işlemek BCB gutujygy / Poliimid PI gutujygy / Ýumşak bişirme we gaty bişirme
Ýarymgeçiriji önümçilikde ýumşak bişirme, ulanylandan soňky bişirme (PAB) ýa-da ekspozisiýadan öňki bişirme diýlip atlandyrylýan termal prosesleriň kategoriýasyna degişlidir. Ýumşak bişirme üçin konweksion peçler ýa-da gyzgyn plitalar giňden ulanylýar. Konweksion peçler plastina üçin fotorezist gatlagyndan erginleri bugartmak üçin birmeňzeş gyzdyryjy gurşawy üpjün edýär.
Gyzgyn plitalar erginleriň aýrylmagyny we ýelmeşmeginiň gowulanmagyny üpjün etmek üçin takyk temperatura gözegçiligini we gönüden-göni gyzdyrmagy üpjün edýär.
Ýarymgeçirijileri öndürmekde gaty bişirmek, şeýle hem, işläp düzenden soň bişirmek (PDB) ýa-da bişirenden soň bişirmek kategoriýasyna girýän termal proses hasaplanýar. Gaty bişirmek prosesleri, adatça, ýumşak bişirmek üçin ulanylýanlardan has ýokary temperatura ýetip bilýän gözegçilik edilýän gurşawlary bolan ýöriteleşdirilen gyzgyn plitalary ýa-da ýöriteleşdirilen konweksiýa peçlerini ulanmagy öz içine alýar.
Baglanyşykly önümler:
■ Ýokary temperaturaly wakuum guradyjy peç
■ 360℃-600℃ Inert gaz peçi
Bölekleri guratmak
Ýarymgeçirijileri öndürmekde köp sanly takyk işlenen metal bölekleri, gurallar we kwars enjamlary we gaplar arassalanyp, guradylmalydyr. Guradyjy peçdäki howa yzygiderli aýlanylýar, bu bolsa peçleriň netijeli işlemegini üpjün edýär. Ähli howa 100-nji synp howa süzgüjinden geçýär, şonuň üçin diňe arassa, gyzgyn howa iş bölegine gönükdirilýär.
Baglanyşykly önümler:
■ Dik 100 klasly arassa otag peçi
IC gaplama
IC gaplama prosesinde, integral mikrosxemalaryň (IC) bölekleriniň berkligini we ygtybarlylygyny üpjün etmek üçin ulanylýan iki möhüm ädim şemala birikdirme we doldurmadyr. Termiki gaýtadan işlemek hem elektronikanyň soňky hilini üpjün edýän esasy ädimlerdir.
Guýdurma peçleri: Ýelimleýji maddanyň deň derejede berklenmegini üpjün etmek üçin takyk temperatura gözegçiligi bolan berkidiji peçleri ulanyň.
Gutaryş kameralary: Giň möçberli önümçilik üçin, ýelmeşdiriji maddalary tapgyrlaýyn gatadmak üçin gözegçilik edilýän temperatura we çyglylyk sazlamalary bilen enjamlaşdyrylan gatadyjy kameralar ulanylyp bilner.
Wakuum peç: Wakuum peçleriniň IC gaplamasynda ulanylmagy birnäçe esasy taraplary öz içine alýar: gaplama prosesiniň dürli tapgyrlarynda IC gaplamalarynyň hilini, ygtybarlylygyny we işini üpjün etmekde möhüm rol oýnaýar.
Deaerasiýa: Wakuum peçleri kapsula materialyndan howa we gaz köpürjiklerini aýyrmak üçin ulanylýar, bu bolsa IC gaplamasynyň onuň işine täsir edip biljek boşluklaryň ýa-da kemçilikleriň ýokdugyny üpjün edýär.
Guratmak: Wakuum peçleri kapsula materialyny soňky möhürleme prosesinden öň guratmak üçin ulanylyp bilner. Çyglylygy aýyrmak, delaminasiýa ýa-da ýaramaz ýelmeşme ýaly meseleleriň öňüni almak üçin örän möhümdir.
Gutaryş: Käbir kapsula materiallary gözegçilik edilýän şertlerde berkitme prosesini talap edýär. Wakuum peçleri berkitmegiň netijeli we deň derejede bolup biljek gurşawyny üpjün edýär.
Oksidleşmegiň öňüni almak: Wakuum gurşawyny döretmek arkaly kislorod derejesi peselýär, bu bolsa gaplama prosesinde duýgur komponentleriň oksidlenmeginiň öňüni almaga kömek edýär.
Ýelimleşmegi güýçlendirmek: Wakuum peçleri birleşmäge päsgel berip biljek hapaçylyklary, çyglylygy we howa böleklerini aýyrmak arkaly kapsula materiallarynyň ýelmeşme häsiýetlerini gowulandyryp biler.
Baglanyşykly önümler:
■ Inert gaz peçi
■ Stend görnüşli wakuum peç
■ Köp kameraly gatadyjy peç
■ Dik tapgyrly peç
■ Konweýer guradyjy peç
Arassa ammar
Dat almaýan polatdan ýasalan azot şkaflary IPC (J-STD-033C) talaplaryny kanagatlandyrmak üçin örän pes çyglylygy azyndan 1% RH çenli saklap bilýär we integral mikrosxemalaryň we kremniý plitalarynyň, optiki bölekleriň we takyk gurallaryň çyglylyga garşy we oksidlenmä garşy saklanmagy üçin ajaýypdyr. Ähli şkaflar, esasanam arassa otaglar üçin amatly bolan dat almaýan polatdan ýasalýar.
Elektron enjamlaryň, optoelektron enjamlaryň, ýarymgeçiriji çipleriň we oksidlenmegiň öňüni almak üçin beýleki enjamlaryň önümçilik prosesinde wagtlaýyn saklanmaly önümler üçin. Wakuum saklaýyş şkafy gowy saýlaw bolar.
Baglanyşykly önümler:
■ Datdan daşary azot şkafy
■ Wakuum saklaýyş şkafy
Ýelimleşmegi höweslendirmek / Organiki maddalary aýyrmak
Ýarymgeçirijileri gaýtadan işlemekde, simleri birikdirmezden öň plastili arassalamak adatça plastinkanyň ýüzüni taýýarlamak üçin ulanylýar. Hapalanmany (fluksy) aýyrmak birikdirmäniň ýelmeşmegini güýçlendirýär, bu bolsa enjamyň ygtybarlylygyny we ömrüni uzaltmaga kömek edýär.
Baglanyşykly önümler:
■ Wakuum plazma arassalaýjy maşyn