Çalt ýylylyk prosesi

Önümleriň kategoriýalary

Aýratyn önümler

Iki kameraly ýokary temperaturaly vakuum peçiniň tehniki aýratynlyklary

1510L ESD Howpsuz gury kabinet

1250L ESD Howpsuz azot kabineti

1250L ESD Howpsuz gury kabinet

1020L ESD Howpsuz azot kabineti

500L Durnuksyz polat azot şkafy

500L ESD Howpsuz azot kabineti

Autarym awtomatiki çalt ýylylyk gaýtadan işleýän peç

GZ-RTP-SM-12, ýekeje 4-12 dýuým wafli ýylatmak üçin ulanylýan ýarym awtomatiki dik çalt ýylylyk gaýtadan işlemek ulgamy
Maks. Temp. 1250 ℃
Maks. 4 gaz liniýasy

Biz bilen habarlaşyň Göçürip al

Aýratynlyklarönüm

GZ-RTP-SM-12 ýarym awtomat dik dik çalt ýylylyk gaýtadan işlemek ulgamy. Ulgam takyk gözegçilik edilýän temperaturalarda gysga wagtyň dowamynda 4-12 dýuým wafli / nusgalary gyzdyrmak üçin ýokary intensiwlikde görünýän radiasiýany ulanýar. Amal döwürleri, adatça, 1-600 sekunt dowam edýär, ýöne 9999 sekunt aralygyndaky döwürleri saýlap bolýar. Bu mümkinçilikler, ýyladyş kamerasynyň sowuk diwar dizaýny we ýokary ýyladyş birmeňzeşligi bilen bilelikde adaty ojagy gaýtadan işlemekden ep-esli artykmaçlygy üpjün edýär.

1. Çalt ýyladyş nyrhlary üçin ýokary güýçli görünýän radiasiýa halogen lampany ýylatmak
2. specialörite altyn çaýylan Al kameranyň üstünde dargadylan IR çyrasy
3. Hakyky wagt dolandyryş tehnologiýalary we köp peýdaly funksiýalary bilen ösen programma üpjünçiligi bukjasy
4.Atmosfera ýa-da wakuum şertleri ýakyn
5.Standard iki gaz liniýasyny, MFC we ýapyk klapanlar bilen alty gaz liniýasyna çenli giňeldip bolýar
6.Sowatmak N2 (ýa-da CDA) çalt sowatmak üçin lampalaryň we kwars izolýasiýa turbasynyň töwereginde akýar
7. Guralyň howpsuzlygyny üpjün etmek üçin gapyny açmagy goramak, termostaty açmak edarasyny goramak we gyssagly duralgany goramak boýunça üç howpsuzlyk çäresini kabul edýär.
8.Maks. 12 dýuým wafli (300 * 300mm)

Parametrlerönüm

Model	GZ-RTP-SM-12
Maks. Önümiň ululygy	12 dýuým wafli, 300 * 300mm
Enjamlaryň ululygy	L1050mm × W1680mm × H2080mm
Temperatura aralygy	RT ~~ 800 ℃（ termokupllar） 800 ℃ ~ 1250 ra infragyzyl pirometr）
Temperaturanyň ýokarlanmagy	Wafli üçin 100 ℃ / s Silikon karbid göteriji diskler üçin 20 ℃ / s
Temperaturanyň birmeňzeşligi	± 1%
Temperatura gözegçilik takyklygy	± 2 ℃
Atingyladyş wagty	Programma laýyklykda
Ojak	Goldörite altyn çaýylan Al kameranyň üstü
Wakuum palatasy	Purokary arassalyk kwars otagy
Garaşan	Kwars ýaýy
Kompýuter	Programma üpjünçiligi bilen 12.5 dýuým kompýuter
Ateryladyjy	Galogen lampalar
MFC	GN2 / PN2 (4 gaz liniýasyna çenli giňeldilip bilner)

Görnüşönüm

Çiller

Wakuum nasoslary

Wakuum ölçeýji

MFC

Pirometr

Goýmalarönüm

■ Çalt termiki anneal (RTA)
■ Oksid, Nitridiň ösüşi
■ Arsenizasiýa prosesi
Ant Implantasiýa annealing
■ Ohmic kontakt annealing (III-V we SiC)
■ Çalt ýylylyk okislenmesi (RTO)
■ Çalt ýylylyk nitridasiýasy (RTN)
■ Selenizasiýa (CIGS gün öýjükleri)
Graf Grafen we h-BN CVD (altyburçly bor nitridi)
Pol Polimerleriň ýylylyk bilen örtülmegi we ş.m.

Özbaşdaklaşdyrmaönüm

GMS dürli derejedäki deňlik, ululyk, temperatura aralygy, wakuum we awtomatiki funksiýalary üpjün edip biler; ýerine ýetirilmeli belli bir çydamlylyk ýa-da spesifikasiýaňyz bar bolsa, enjamlaryňyzyň şol talaplara laýyk dizaýn edilendigini, synagdan geçirilendigini we düzedilendigini anyklamak üçin talaplaryňyz bilen habarlaşyň.

Hyzmatönüm

GMS Industrial, müşderilere we dilerlere satuwdan öňki, satuwda we satuwdan soňky hyzmatlary hödürlemek üçin bazarlar, satuwlar, tehniki hyzmat we tor topary bar. Soraglaryňyz we talaplaryňyz bar bolsa, biziň bilen habarlaşyp bilersiňiz.
24 sagat onlaýn. Habarlar alnan badyna jogap berler.

Derňew