Mabilis na Proseso ng Thermal

Mga Kategorya ng Produkto

Mga Tampok na Produkto

Mga Teknikal na Detalye ng Dual-Chamber High-Temperature Vacuum Oven

1250L ESD Safe Nitrogen Cabinet

1020L ESD Safe Nitrogen Cabinet

500L Sustainless Steel Nitrogen Cabinet

500L ESD Safe Nitrogen Cabinet

Semi-Automatic Rapid Thermal Processing Furnace

Ang GZ-RTP-SM-12 ay isang semi-awtomatikong patayong mabilis na thermal processing system na inilapat para sa pagpainit ng solong 4-12 pulgadang wafer
Max. Temp. 1250 ℃
Max. 4 na linya ng gas

Makipag-ugnayan sa amin I-download

MGA TAMPOKprodukto

Ang GZ-RTP-SM-12 ay isang semi-awtomatikong patayong mabilis na thermal processing system. Gumagamit ang system ng mataas na intensity na nakikitang radiation upang magpainit ng nag-iisang 4-12 pulgadang wafer/specimen para sa maikling panahon ng proseso sa mga eksaktong kontroladong temperatura. Ang mga yugto ng proseso ay karaniwang 1-600 segundo ang tagal, bagama't ang mga yugto ng hanggang 9999 segundo ay maaaring mapili. Ang mga kakayahan na ito, na sinamahan ng cold-wall na disenyo ng heating chamber at superior heating uniformity, ay nagbibigay ng mga makabuluhang bentahe sa kumbensyonal na pagpoproseso ng furnace.

1. High-intensity visible radiation halogen lamp heating para sa mabilis na rate ng pag-init
2.Scattered IR light sa pamamagitan ng espesyal na gold-plated Al chamber surface
3.Advanced na software package na may mga real time control na teknolohiya at maraming kapaki-pakinabang na function
4. Ang mga kondisyon ng kapaligiran o vacuum ay maaaring isara
5. Karaniwang dalawang linya ng gas, maaaring palawakin hanggang anim na linya ng gas na may mga MFC at mga shut-off valve
6. Ang cooling N2 (O CDA) ay dumadaloy sa paligid ng mga lamp at quartz isolation tube para sa mabilis na paglamig.
7. Pinagtibay ang triple na mga hakbang sa kaligtasan ng proteksyon sa pagbubukas ng pinto, proteksyon ng awtoridad sa pagbubukas ng thermostat at proteksyon sa emergency stop upang matiyak ang kaligtasan ng instrumento.
8.Max. 12-pulgada na wafer (300*300mm)

Mga Parameterprodukto

Modelo	GZ-RTP-SM-12
Max. Laki ng Produkto	12inch wafer, 300*300mm
Laki ng Kagamitan	L1050mm×W1680mm×H2080mm
Saklaw ng Temperatura	RT~~800℃（mga thermocouple） 800℃~1250℃（infrared pyrometer）
Pagtaas ng Temperatura	100 ℃/s para sa wafer 20℃/s para sa Silicon Carbide Carrier Disks
Pagkakatulad ng Temperatura	±1%
Katumpakan ng Pagkontrol sa Temperatura	±2 ℃
Oras ng Pag-init	Ayon sa programa
Pugon	Espesyal na gold-plated na ibabaw ng Al chamber
Vacuum Chamber	Mataas na kadalisayan ng silid ng kuwarts
Bracket	bracket ng kuwarts
PC	12.5inch PC na may software
pampainit	Halogen lamp
MFC	GN2/PN2 (napapalawak sa 4 na linya ng gas)

Mga pagpipilianprodukto

Mga chiller

Mga vacuum pump

Vacuum Gauge

MFC

Pyrometer

Mga aplikasyonprodukto

■ Rapid thermal annealing (RTA)
■ Oxide, Paglago ng Nitride
■ Proseso ng Arsenitization
■ Pagsusubo ng implant
■ Ohmic contact annealing (III-V at SiC)
■ Rapid Thermal Oxidation (RTO)
■ Rapid Thermal Nitridation (RTN)
■ Selenization (CIGS solar cells)
■ CVD ng graphene at h-BN (hexagonal boron nitride)
■ Thermal annealing ng polymers atbp.

Pagpapasadyaprodukto

Ang GMS ay maaaring magbigay ng iba't ibang antas ng pagkakapareho, laki, hanay ng temperatura, vacuum at awtomatikong paggana; kung mayroon kang partikular na pagpapaubaya o detalye na dapat matugunan, mangyaring makipag-ugnayan sa amin para sa iyong mga kinakailangan upang matiyak naming ang kagamitan ay idinisenyo, nasubok, at inaayos upang matugunan ang mga kinakailangang iyon.

Serbisyoprodukto

Ang GMS Industrial ay may mga merkado, benta, teknikal na serbisyo at pangkat ng network upang magbigay sa mga customer at dealer ng komprehensibong pre-sales, in-sales at after-sales services. Maaari kang makipag-ugnayan sa amin kung mayroon kang anumang mga katanungan at kinakailangan.
24 na oras online. Ang mga mensahe ay sasagutin sa sandaling matanggap ang mga ito.

pagtatanong ngayon