Vacuum Oven
Single-Wafer Awtomatikong High Vacuum Oven
Maliit na kagamitan sa pagbe-bake, ang pinakamataas na temperatura na 250 ℃, gamit ang vacuum at nitrogen function na pinagsama upang lumikha ng oxygen-free, solong maghurno ng isang piraso ng ostiya, na angkop para sa mga maliliit na batch application. Kasama sa mga karaniwang aplikasyon para sa system na ito ang SOG annealing, copper annealing, aluminum annealing, low-k dielectric annealing at photoresist baking, drying at iba pa.
Mataas na Temperatura na Vacuum Oven
Ang mga vacuum oven ay mainam para sa pag-alis ng natitirang tubig, mga solvent o iba pang pabagu-bagong compound mula sa mga produktong sensitibo sa temperatura. Ang prinsipyo ng operasyon, mahalagang, ay alisin ang mga hindi gustong molecule sa pamamagitan ng pagpapababa ng presyon sa oven (paglikha ng vacuum). Kapag ang presyon ng oven ay umabot sa nais na presyon ng singaw ng mga kontaminant, ang mga kontaminadong molekula na ito ay sumingaw, nagiging singaw, at aalisin sa lahat ng bahagi ng produkto. Ang pagpapatayo na ito ay nagagawa nang hindi gumagamit ng labis na init. Ginagawa nitong angkop ang pagpapatuyo ng vacuum para sa mga materyales na nasira o nababago kung nalantad sa mataas na temperatura. Ang pagpapatuyo ng vacuum ay pinapaliit din ang panganib ng pag-scale at ang pagbuo ng mga nalalabi sa oksihenasyon. Karaniwang ginagamit ang mga vacuum high temperature oven para sa mga produktong hindi lumalaban sa init at sensitibo sa temperatura. Ang ganitong uri ng oven ay malawakang ginagamit sa semiconductor, MEMS, electronic area.
Napakataas na Vacuum Oven
Nagtatampok ang High Vacuum Oven ng mga istante na direktang pinainit na maaaring i-program para magpainit hanggang 300oC. Ang mataas na vacuum chamber ay madaling magbomba pababa sa 10-6 Torr, na nabomba ng turbo pump na sinusuportahan ng isang dry scroll pump (na walang oil back-streaming na dapat alalahanin). Bagama't napakabilis magpainit, maaaring mabagal ang proseso ng cooldown (ilang oras). Upang mapanatili ang panloob na mga ibabaw mula sa labis na oksihenasyon, ang silid ay maaari lamang mailabas kapag ang mga istante ay bumaba sa ibaba 100oC. Ang silid ay pinalalabas ng nitrogen. Posible ang partial vent kung kailangan mong payagan ang iyong sample na ganap na lumamig hanggang sa ambient temperature habang nasa nitrogen atmosphere. Mayroong dalawang tinatayang 11" x 11" (280 mm x 280 mm) na istante, at dalawang custom made na aluminum tray. Maaari itong maghurno ng walong 4" na wafer nang sabay-sabay. Walang mga bintana, kaya ang mga bahaging sensitibo sa liwanag ay maaaring lutuin hangga't nakabalot ang mga ito sa foil habang papasok sa silid.
Mataas na Temperatura na Vacuum Drying Oven
- ● Vacuum drying para alisin ang moisture at solvent sa mga electrode materials.
- ● Max. Ang temperaturang 300 ℃/400 ℃ ay opsyonal
- ● Operating vacuum range 101kPa -1Pa● Available sa 3 laki, malaking kapasidad
Mataas na Temperatura na Vacuum Drying Oven
Malaking vacuum drying oven na idinisenyo para sa lahat ng uri ng layunin ng vacuum drying.
- ● Max. temperatura 250 ℃
- ● Operating vacuum range 101kPa -0.1kPa
Ang oven na ito ay perpekto para sa pag-alis ng natitirang tubig, mga solvent o iba pang pabagu-bagong compound mula sa mga produktong sensitibo sa temperatura. Ang vacuum pump ay i-install sa downside ng oven upang makatipid ng espasyo sa pag-install na may mabilis na koneksyon flange piping. Ang ganitong uri ng oven ay malawakang ginagamit sa mga lab, semiconductor, MEMS, at electronic na lugar.
Mataas na Vacuum Storage Cabinet
Ang 9 na silid ay independiyenteng kinokontrol at nagbabahagi ng isang set ng vacuum system. Ito ay angkop para sa lahat ng uri ng metal na materyales, anaerobicanaerobic, kemikal na hilaw na materyales, mahalagang mga metal, metal na pulbos at iba pang solid, pulbos, i-paste, likido, mga produktong elektroniko
- ● 9-Chambers standalone na kontrol
- ● Pansamantalang mag-imbak ng mga produkto sa panahon ng proseso ng produksyon ng mga electronic device, optoelectronic device, semiconductor chips at iba pang device para maiwasan ang oxidation
- ● Min.50 hanggang 5*10-5Pa vacuum
- ● Barcode scanner upang mag-imbak ng impormasyon ng produkto