Hızlı Termal İşlem

Ürün Kategorileri

Öne Çıkan Ürünler

V Bağlayıcı Madde Giderme İşlemi için Ultra Yüksek Sıcaklıkta İnert Gaz Fırını

Çift Odacıklı Yüksek Sıcaklık Vakum Fırını Teknik Özellikleri

1250 litre ESD güvenli azot kabini

1250 litre ESD güvenli kurutma dolabı

500 Litrelik Paslanmaz Çelik Azot Dolabı

Yarı Otomatik Hızlı Isıl İşlem Fırını

GZ-RTP-SM-12, 4-12 inçlik tek bir wafer'ı ısıtmak için kullanılan yarı otomatik dikey hızlı termal işlem sistemidir.
Maksimum Sıcaklık 1250℃
En fazla 4 gaz hattı

Bize Ulaşın İndirmek

ÖZELLİKLERürün

GZ-RTP-SM-12, yarı otomatik dikey hızlı termal işleme sistemidir. Sistem, tek bir 4-12 inçlik wafer/numuneyi kısa işlem süreleri boyunca hassas bir şekilde kontrol edilen sıcaklıklarda ısıtmak için yüksek yoğunluklu görünür radyasyon kullanır. İşlem süreleri tipik olarak 1-600 saniye arasındadır, ancak 9999 saniyeye kadar süreler de seçilebilir. Bu özellikler, ısıtma odasının soğuk duvar tasarımı ve üstün ısıtma homojenliği ile birleşerek, geleneksel fırın işlemine göre önemli avantajlar sağlar.

1. Hızlı ısıtma oranları için yüksek yoğunluklu görünür radyasyonlu halojen lamba ile ısıtma
2. Özel altın kaplama Al hazne yüzeyi tarafından dağıtılan kızılötesi ışık
3. Gerçek zamanlı kontrol teknolojileri ve birçok kullanışlı fonksiyona sahip gelişmiş yazılım paketi.
4. Atmosfer veya vakum koşulları kapatılabilir.
5. Standart iki gaz hattı, MFC'ler ve kapatma vanaları ile altı gaz hattına kadar genişletilebilir.
6. Soğutma amaçlı N2 (veya CDA) gazı, hızlı soğutma oranları için lambaların ve kuvars izolasyon tüpünün etrafında akar.
7. Cihazın güvenliğini sağlamak için kapı açma koruması, termostat açma yetkisi koruması ve acil durdurma koruması olmak üzere üçlü güvenlik önlemi alınmıştır.
8. Maksimum 12 inçlik wafer (300*300 mm)

Parametrelerürün

Model	GZ-RTP-SM-12
Maksimum Ürün Boyutu	12 inçlik wafer, 300*300 mm
Ekipman Boyutu	L1050mm×G1680mm×Y2080mm
Sıcaklık Aralığı	RT~~800℃ (termokupllar) 800℃~1250℃ (kızılötesi pirometre)
Sıcaklık Artışı	Yonga levha için 100℃/s Silisyum Karbür Taşıyıcı Diskler için 20℃/s
Sıcaklık Homojenliği	±%1
Sıcaklık Kontrol Doğruluğu	±2℃
Isıtma Süresi	Programa göre
Fırın	Özel altın kaplama Al hazne yüzeyi
Vakum Odası	Yüksek saflıkta kuvars hazne
Parantez	Kuvars braket
Bilgisayar	Yazılımlı 12,5 inç PC
Isıtıcı	Halojen lambalar
MFC	GN2/PN2 (4 gaz hattına kadar genişletilebilir)

Seçeneklerürün

Soğutucular

Vakum pompaları

Vakum Ölçer

MFC

Pirometre

Uygulamalarürün

■ Hızlı termal tavlama (RTA)
■ Oksit, Nitrür Büyümesi
■ Arsenitizasyon Süreci
■ İmplant tavlaması
■ Ohmik temas tavlaması (III-V ve SiC)
■ Hızlı Termal Oksidasyon (RTO)
■ Hızlı Termal Nitrürleme (RTN)
■ Selenizasyon (CIGS güneş pilleri)
■ Grafen ve h-BN'nin (heksagonal bor nitrür) CVD yöntemiyle üretimi
■ Polimerlerin vb. termal tavlanması

Özelleştirmeürün

GMS, farklı seviyelerde homojenlik, boyut, sıcaklık aralığı, vakum ve otomatik fonksiyonlar sağlayabilir; eğer karşılanması gereken belirli bir tolerans veya spesifikasyonunuz varsa, lütfen gereksinimlerinizi bize bildirin, böylece ekipmanın bu gereksinimleri karşılayacak şekilde tasarlanmasını, test edilmesini ve ayarlanmasını sağlayabiliriz.

Hizmetürün

GMS Industrial, müşterilerine ve bayilerine kapsamlı satış öncesi, satış ve satış sonrası hizmetler sunmak için pazarlama, satış, teknik servis ve ağ ekiplerine sahiptir. Herhangi bir sorunuz veya talebiniz varsa bizimle iletişime geçebilirsiniz.
24 saat çevrimiçi. Mesajlar alındığı anda yanıtlanacaktır.

şimdi sorgula