Quy trình nhiệt nhanh
0102030405
01 xem chi tiết
Quy trình xử lý nhiệt nhanh bán tự động...
05/07/2024
GZ-RTP-SM-12 là hệ thống xử lý nhiệt nhanh bán tự động theo chiều dọc, được ứng dụng để gia nhiệt các tấm wafer đơn có kích thước từ 4 đến 12 inch.
Nhiệt độ tối đa: 1250℃
Tối đa 4 đường dẫn khí