Lò chân không
Lò chân không cao tự động một tấm wafer
Thiết bị nung nhỏ gọn, nhiệt độ tối đa 250 ℃, sử dụng kết hợp chức năng hút chân không và khí nitơ để tạo môi trường không oxy, nung từng miếng wafer riêng lẻ, phù hợp cho các ứng dụng sản xuất theo lô nhỏ. Các ứng dụng điển hình của hệ thống này bao gồm ủ SOG, ủ đồng, ủ nhôm, ủ chất điện môi có hằng số điện môi thấp và nung, sấy chất cản quang, v.v.
Lò chân không nhiệt độ cao
Lò sấy chân không lý tưởng để loại bỏ nước dư, dung môi hoặc các hợp chất dễ bay hơi khác khỏi các sản phẩm nhạy cảm với nhiệt độ. Về cơ bản, nguyên lý hoạt động là loại bỏ các phân tử không mong muốn bằng cách giảm áp suất trong lò (tạo chân không). Khi áp suất trong lò đạt đến áp suất hơi mong muốn của các chất gây ô nhiễm, các phân tử chất gây ô nhiễm này sẽ bay hơi, chuyển thành dạng hơi và được loại bỏ khỏi tất cả các khu vực của sản phẩm. Quá trình sấy này được thực hiện mà không cần sử dụng nhiệt độ quá cao. Điều này làm cho sấy chân không phù hợp với các vật liệu bị hư hại hoặc thay đổi nếu tiếp xúc với nhiệt độ cao. Sấy chân không cũng giảm thiểu nguy cơ đóng cặn và hình thành cặn oxy hóa. Lò sấy chân không nhiệt độ cao thường được sử dụng cho các sản phẩm không chịu nhiệt và nhạy cảm với nhiệt độ. Loại lò này được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực bán dẫn, MEMS và điện tử.
Lò chân không siêu cao
Lò chân không cao cấp có các giá đỡ được gia nhiệt trực tiếp, có thể lập trình để gia nhiệt lên đến 300oC. Buồng chân không cao cấp có thể dễ dàng hút chân không xuống đến 10-6 Torr, được bơm bởi một bơm turbo kết hợp với một bơm cuộn khô (không cần lo lắng về hiện tượng dầu chảy ngược). Mặc dù quá trình gia nhiệt rất nhanh, nhưng quá trình làm nguội có thể chậm (vài giờ). Để bảo vệ các bề mặt bên trong khỏi bị oxy hóa quá mức, buồng chỉ có thể được thông hơi khi nhiệt độ trên các giá đỡ đã giảm xuống dưới 100oC. Buồng được thông hơi bằng khí nitơ. Có thể thông hơi một phần nếu bạn cần cho phép mẫu của mình nguội hoàn toàn xuống nhiệt độ môi trường xung quanh trong môi trường nitơ. Có hai giá đỡ kích thước khoảng 11" x 11" (280 mm x 280 mm) và hai khay nhôm được làm theo yêu cầu. Nó có thể nung tám tấm wafer 4" cùng một lúc. Không có cửa sổ, vì vậy các bộ phận nhạy cảm với ánh sáng có thể được nung miễn là chúng được bọc bằng giấy bạc khi đưa vào buồng.
Lò sấy chân không nhiệt độ cao
- ● Sấy khô chân không để loại bỏ hơi ẩm và dung môi trong vật liệu điện cực.
- ● Nhiệt độ tối đa 300℃/400℃ là tùy chọn
- ● Phạm vi chân không hoạt động 101kPa - 1Pa ● Có 3 kích cỡ, dung tích lớn
Lò sấy chân không nhiệt độ cao
Lò sấy chân không cỡ lớn được thiết kế cho mọi mục đích sấy chân không.
- ● Nhiệt độ tối đa 250℃
- ● Phạm vi chân không hoạt động: 101kPa - 0.1kPa
Lò này lý tưởng để loại bỏ nước dư, dung môi hoặc các hợp chất dễ bay hơi khác khỏi các sản phẩm nhạy cảm với nhiệt độ. Bơm chân không sẽ được lắp đặt ở phía dưới lò để tiết kiệm không gian lắp đặt với đường ống mặt bích kết nối nhanh. Loại lò này được sử dụng rộng rãi trong các phòng thí nghiệm, ngành công nghiệp bán dẫn, MEMS và điện tử.
Tủ lưu trữ chân không cao
9 buồng được điều khiển độc lập và dùng chung một hệ thống hút chân không. Sản phẩm phù hợp cho tất cả các loại vật liệu kim loại, nguyên liệu hóa học, kim loại quý, bột kim loại và các chất rắn, bột, dạng sệt, dạng lỏng khác, cũng như các sản phẩm điện tử.
- ● Điều khiển độc lập 9 buồng
- ● Tạm thời bảo quản sản phẩm trong quá trình sản xuất các thiết bị điện tử, thiết bị quang điện tử, chip bán dẫn và các thiết bị khác để ngăn ngừa quá trình oxy hóa.
- ● Áp suất chân không tối thiểu 50 đến 5*10-5Pa
- ● Máy quét mã vạch để lưu trữ thông tin sản phẩm