Igbale adiro
Nikan-Wafer Aifọwọyi Giga Igbale adiro
Awọn ohun elo yan kekere, iwọn otutu ti o pọju ti 250 ℃, lilo igbale ati iṣẹ nitrogen ni idapo lati ṣẹda ti ko ni atẹgun, beki ẹyọkan ti wafer kan, o dara fun awọn ohun elo ipele kekere. Awọn ohun elo ti o wọpọ fun eto yii pẹlu SOG annealing, annealing Ejò, annealing aluminiomu, kekere-k dielectric annealing ati photoresist yan, gbigbe ati bẹbẹ lọ.
Igbale Igba otutu giga
Awọn adiro igbale jẹ apẹrẹ fun yiyọ omi to ku, awọn nkanmimu tabi awọn agbo ogun miiran ti o le yipada lati awọn ọja ti o ni iwọn otutu. Ilana ti iṣiṣẹ, pataki, ni lati yọ awọn ohun elo ti a kofẹ kuro nipa gbigbe titẹ silẹ ni adiro (ṣẹda igbale). Nigbati titẹ adiro ba de titẹ oru ti o fẹ ti awọn contaminants, awọn ohun elo idoti wọnyi yọ kuro, yipada si oru, ati yọkuro lati gbogbo awọn agbegbe ti ọja naa. Gbigbe yii jẹ aṣeyọri laisi lilo ooru ti o pọ ju. Eyi jẹ ki gbigbẹ igbale dara fun awọn ohun elo ti o bajẹ tabi ti yipada ti o ba farahan si awọn iwọn otutu giga. Gbigbe igbale tun dinku eewu ti iwọn ati dida awọn iṣẹku ifoyina. Awọn adiro ti o ga ni igbale jẹ igbagbogbo lo fun awọn ọja ti ko ni sooro ooru ati pe o ni itara iwọn otutu. Iru adiro yii ni lilo pupọ ni semikondokito, MEMS, agbegbe itanna.
Ultra High igbale adiro
Ibile Igbale giga jẹ awọn selifu igbona taara ti o le ṣe eto lati gbona si 300oC. Iyẹwu igbale giga le ni irọrun fifa silẹ si 10-6 Torr, fifa nipasẹ fifa turbo eyiti o ṣe atilẹyin nipasẹ fifa yiyi gbigbẹ (laisi ṣiṣan epo-pada lati ṣe aniyan nipa). Lakoko ti o yara pupọ lati gbona, ilana itutu agbaiye le lọra (awọn wakati pupọ). Lati ṣe itọju awọn oju inu inu lati ifoyina ti o pọ ju, iyẹwu naa le yọ jade ni kete ti awọn selifu ba ti lọ silẹ ni isalẹ 100oC. Iyẹwu ti wa ni vented pẹlu nitrogen. Afẹfẹ apa kan ṣee ṣe ti o ba nilo lati gba ayẹwo rẹ laaye lati tutu patapata si iwọn otutu ibaramu lakoko ti o wa ni afẹfẹ nitrogen. Awọn selifu meji isunmọ 11 "x 11" (280 mm x 280 mm) wa, ati aṣa meji ti a ṣe aluminiomu atẹ. O le ṣe awọn wafers mẹjọ 4 "ni akoko kan. Ko si awọn ferese, nitorinaa awọn ẹya ifarabalẹ ina le jẹ ndin niwọn igba ti wọn ba ti we ni bankanje ni ọna sinu iyẹwu naa.
Ibile Gbigbe Igba otutu giga
- ● Gbigbe igbale lati yọ ọrinrin ati epo kuro ninu awọn ohun elo elekiturodu.
- ● O pọju. otutu 300 ℃ / 400 ℃ jẹ iyan
- ● Iwọn igbale ti nṣiṣẹ 101kPa -1Pa● Wa ni awọn titobi 3, agbara nla
Ibile Gbigbe Igba otutu giga
Lọla gbigbẹ igbale nla ti a ṣe apẹrẹ fun gbogbo iru idi gbigbẹ igbale.
- ● O pọju. iwọn otutu 250 ℃
- ● Ṣiṣẹ igbale ibiti 101kPa -0.1kPa
Lọla yii jẹ apẹrẹ fun yiyọ omi ti o ku, awọn nkanmimu tabi awọn agbo ogun iyipada miiran lati awọn ọja ifamọ iwọn otutu. fifa fifa yoo wa ni fi sori ẹrọ ni isalẹ ti adiro lati ṣafipamọ aaye fifi sori ẹrọ pẹlu fifi ọpa flange asopọ iyara. Iru adiro yii jẹ lilo pupọ ni awọn laabu, semikondokito, MEMS, ati agbegbe itanna.
Ga Igbale Ibi Minisita
Awọn iyẹwu 9 naa ni iṣakoso ominira ati pin ipin kan ti eto igbale. O dara fun gbogbo iru awọn ohun elo irin, anaerobicanaerobic, awọn ohun elo aise kemikali, awọn irin iyebiye, lulú irin ati awọn ohun elo miiran ti o lagbara, lulú, lẹẹ, omi, awọn ọja itanna
- ● 9-Chambers adaduro iṣakoso
- ● Fipamọ awọn ọja fun igba diẹ lakoko ilana iṣelọpọ ti awọn ẹrọ itanna, awọn ẹrọ optoelectronic, awọn eerun semikondokito ati awọn ẹrọ miiran lati ṣe idiwọ ifoyina.
- ● Min.50 si 5 * 10-5Pa igbale
- ● Ayẹwo kooduopo lati tọju alaye ọja